способ определения кривизны зеркально-отражающей поверхности

Формула изобретения

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КРИВИЗНЫ ЗЕРКАЛЬНО-ОТРАЖАЮЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ, заключающийся в том, что направляют лазерный пучок на поверхность, фиксируют положение центра отраженного пятна и определяют кривизну с учетом положения центра пятна, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, производят направление на поверхность второго пучка параллельно первому, пропускают каждый из пучков через соответствующую диафрагму так, чтобы один из пучков падал перпендикулярно на поверхность, фиксацию центра второго отраженного пучка производят относительно центра его диафрагмы.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано при контроле формы плоских зеркальных поверхностей оптических элементов.

Известен способ измерения кривизны поверхности посредством кольцевого сферометра, посредством которого определяется высота шарового сегмента, основанием которого является плоскость рабочей кромки кольца сферометра [1]

Недостатком известного способа является невозможность измерения сферичности поверхностей, когда механический контакт с поверхностью недопустим.

Наиболее близким к изобретению является способ определения кривизны зеркально-отражающей поверхности, заключающийся в том, что направляют лазерный пучок на поверхность, фиксируют положение центра отраженного пятна и определяют кривизну с учетом положения центра пятна [2]

Недостатком известного способа является недостаточная производительность, обусловленная тем, что, кроме установки эталонной поверхности перпендикулярно лазерному пучку, производится сканирование лазерным пучком всей измеряемой поверхности.

Цель изобретения повышение производительности.

На чертеже представлена схема устройства, реализующего способ.

Устройство содержит лазер 1, полупрозрачное зеркало 2, диафрагму 3, поз. 4 обозначена исследуемая поверхность, вторую диафрагму 5, отражающую поверхность призму 6, плоскость 7 фиксации пучков.

Способ заключается в следующем.

Пучок, выходящий из лазера 1, при помощи полупрозрачного зеркала 2 и призмы 6 делится на два параллельных пучка, которые через диафрагмы 3 и 5 направляются на исследуемую поверхность 4. Если один пучок падает на поверхность 4 перпендикулярно, то при наличии сферичности поверхности отраженные пучки будут отклоняться от нормали.

Зная расстояние между падающими пучками D, расстояние от зеркала до исследуемой поверхности L и измерив значение смещения центра светового пята от центра диафрагмы 5l, может быть определена стрелка кривизны поверхности h по формуле:

h D При нанесении в плоскости 7 фиксации пучков сетки в виде концентрических колец, отградуированных в значениях h, возможно визуально снимать отсчет.