Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие – C23C 14/00

Изобретение относится к области ионно-лучевой вакуумной обработки материалов и может быть использовано в машиностроении для повышения эксплуатационных свойств деталей машин и механизмов. Способ включает обработку поверхности деталей из конструкционной стали потоком ионов меди и свинца с использованием катода-имплантера, изготовленного из монотектического сплава меди со свинцом, в который контактным легированием вводят 5-11% алюминия, а имплантацию осуществляют с дозой (4,5-6,5)·10¹⁷ ион/см ². Изобретение направлено на повышение коррозионной стойкости деталей из конструкционной стали, работающих в условиях трения с приложением внешней нагрузки к трущимся деталям в коррозионной среде. 4 ил., 1 табл.

Изобретение относится к области деталей с покрытием и их получению. Многослойное покрытие содержит по меньшей мере один слой типа А, причем слой типа А, по существу, состоит из (Al_yCr_1-y)X, где Х - один элемент группы, состоящей из N, CN, BN, NO, CNO, CBN, BNO и CNBO, y описывает стехиометрический состав фракции металлической фазы, по меньшей мере один слой типа В, причем слой типа В, по существу, состоит из (Al_uCr_1-u-v-wSi_vMe_w )X, где Х означает один элемент группы, состоящей из N, CN, BN, NO, CNO, CBN, BNO или CNBO, причем Me обозначает один элемент группы, состоящей из W, Nb, Mo и Та, или смесь двух или более составляющих этой группы, u, v и w описывают стехиометрический состав фракции металлической фазы, причем отношение толщины указанного слоя типа А к толщине указанного слоя типа В больше 1. Способ получения детали с упомянутым многослойным покрытием, характеризующийся тем, что осаждают на указанную поверхность детали по меньшей мере один слой типа А и осаждают на указанную деталь по меньшей мере один слой типа В. Указанный по меньшей мере один слой типа А осаждают с использованием n_x мишеней. Указанный по меньшей мере один слой типа В осаждают с использованием n _y мишеней, причем одновременно используют n_Xy мишеней, используемых для осаждения слоя типа А, при этом n _x, n_y и n_Xy являются целыми числами 1, и по меньшей мере одна из указанных мишеней, используемых для осаждения слоя типа А, активна на обоих этапах а) и b). Получается многослойное покрытие, имеющее улучшенные износостойкость, механические и термические свойства, в частности твердость при высоких температурах и стойкость к окислению. 3 н.з. и 20 з.п. ф-лы, 9 ил., 1 табл.

Изобретение относится к технологии получения стабильных при высоких температурах оксидных слоев. Способ осуществляют посредством испарения мишени из сплава металлических и/или полуметаллических компонентов электрической дугой с формированием оксида, содержащего три или более компонентов. При этом температуру образования оксида регулируют посредством выбора состава сплава мишени, содержащей два или более указанных компонентов на основании фазовой диаграммы двойной системы или системы с большим количеством компонентов. Указанная система характеризует переход из полностью жидкой фазы в содержащую твердые компоненты фазу при температуре, соответствующей требуемой температуре образования оксида. Технический результат - повышение качества осаждаемых слоев. 4 н. и 12 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к плазменной технике, в частности к конструкции магнитного блока распылительной системы, и может быть использовано в планарных магнетронах для вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок металлов и их соединений на поверхность твердых тел. Магнитный блок включает в себя центральный цилиндрический и внешний кольцевой магниты, коаксиально установленные с зазором на магнитопроводе из магнитомягкого материала. Магнитопровод выполнен с кольцевым выступом, равным по высоте магнитам, при этом выступ выполнен с возможностью фиксации центрального магнита. Поверхность выступа, обращенная к центральному магниту, может быть выполнена конической. Технический результат использования изобретения заключается в повышении равномерности напряженности магнитного поля и уменьшении габаритов блока. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий, а именно износостойких защитных покрытий на инструменты, такие как фрезы, режущие пластинки, литьевые формы и аналогичные инструменты. Покрытие общего состава AINbX, где Х представляет собой N, C, B, CN, BN, CBN, NO, CO, BO, CNO, BNO, CNCO, наносят конденсацией из паровой фазы. В качестве алюминийсодержащего компонента мишени используют алюминиевый порошок, смешанный с цирконием в количестве от 10 до 50 ат.% в пересчете на алюминий, а относительное содержание ниобия в мишени составляет менее 40 ат.%. Обеспечиваются высокие трибохимические и механические свойства покрытия. 3 н. и 9 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к металлообработке. Режущая пластина содержит основу из твердого сплава и нанесенный на нее износостойкий слой из наноструктурного карбида вольфрама и наноструктурного карбида ниобия с размером зерен 20-50 нм, при их следующем соотношении, мас.%: наноструктурный карбид вольфрама 90, наноструктурный карбид ниобия остальное. Обеспечивается повышение износостойкости режущих пластин, особенно при тяжелых режимах резания. 1 ил., 1 табл.

Изобретение относится к области металлообработки, в частности к созданию покрытий для режущих инструментов. В двухслойном износостойком покрытии на рабочей части режущего инструмента верхний слой выполнен из твердого аморфного алмазоподобного углерода толщиной 0,3-0,5 мкм и твердостью 70-100 ГПа, а нижний слой, расположенный на поверхности рабочей части инструмента, выполнен из карбида титана с содержанием углерода 30-45 ат.% толщиной 1-1,5 мкм и твердостью 25-40 ГПа. Обеспечивается высокая термическая стабильность покрытия при высоких скоростях резания и износостойкость инструмента, что позволяет повысить рабочий ресурс режущего инструмента. 1 табл.

Изобретение относится к области металлургии, в частности к высокопрочным прецизионным сплавам на основе никеля для получения покрытий микроплазменным или холодным сверхзвуковым напылением. Сплав содержит, мас.%: хром 18,0-40,0, молибден 30,0-40,0, алюминий 0,45-0,63, цирконий 4,5-6,4, карбид кремния 1,4-2,6, церий 0,2-0,6, иттрий 0,1-0,5, лантан 0,5-0,8, никель - остальное. Алюминий и цирконий присутствуют в сплаве в виде интерметаллида AlZr ₃, содержание которого составляет 5-7 мас.%. Сплав характеризуется повышенной коррозионной стойкостью и улучшенными прочностными характеристиками. 2 пр.

Группа изобретений относится к покрытиям. Cпособ включает вакуумную лазерную абляцию в реакционной камере с испарением мишени твердотельным лазером и последующим осаждением аморфного алмазоподобного покрытия в виде пленки на лезвие хирургического скальпеля. Используют мишень из пиролитического графита и твердотельный лазер на основе алюмоиттриевого граната с неодимом, имеющий длину волны 532 нм, мощность 15-25 Дж, выходную энергию лазерного импульса 80-160 мДж, частоту следования импульсов излучения 50 Гц и длительность одного импульса 15·10^-9. Лезвие хирургического скальпеля размещают на расстоянии 10-25 см от мишени под углом 15-45º. Осаждение покрытия ведут в течение 10-40 минут при давлении в реакционной камере 6×10^-4 Па. Хирургический скальпель с полученным аморфным алмазоподобным покрытием на лезвии имеет среднюю шероховатость поверхности лезвия не более 60 нм и спектр комбинационного рассеяния света с пиками, локализованными в области 1600 см^-1 и 1355 см^-1. Обеспечивается улучшение качества хирургических скальпелей путем нанесения углеродного биосовместимого покрытия. Режущая поверхность более ровная и гладкая, что обеспечивает более легкое протекание послеоперационного периода. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к ионной очистке поверхности изделий из диэлектрического материала или проводящего материала с диэлектрическими включениями. Изделия размещают на проводящем держателе, генерируют плазму с импульсно-периодическим ускорением ее ионов путем прохождения плазменного потока через ускоряющий зазор и с обеспечением поочередного облучения поверхности изделий потоком ускоренных ионов и плазмой при подаче на проводящий держатель высокочастотных короткоимпульсных потенциалов смещения. Длительность импульсов 0,1-10 мкс, коэффициент заполнения импульсов 50-99% и амплитуда потенциала 1-10 кВ. При этом облучение поверхности изделий ведут при длительности импульса потенциала смещения, которая меньше времени зарядки емкости конденсатора, образованного проводящим держателем и эмиссионной границей плазмы, и при длительности паузы между импульсами ускоряющего напряжения, которая меньше времени прохождения плазменного потока через ускоряющий зазор. Обеспечивается повышение эффективности короткоимпульсной, высокочастотной ионной обработки материалов. 7 з.п. ф-лы, 6 ил., 2 пр.

Изобретение относится к люминесцентным материалам - конвертерам вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона, выполненным в виде аморфной пленки оксида кремния SiO_X на кремниевой подложке, предназначенным для создания функциональных элементов фотонных приборов нового поколения, а также для контроля жесткого ультрафиолетового излучения в вакуумных технологических процессах. Толщина аморфной пленки оксида кремния SiO_X конвертера составляет 20÷70 нм. Содержание ионов кислорода в упомянутой пленке соответствует количеству, при котором стехиометрический коэффициент Х находится в пределах от 2,01 до 2,45. Увеличиваются интенсивности красного излучения конвертера, а также обеспечивается красное свечение при сохранении конверсии вакуумного ультрафиолетового излучения в видимое. 6 ил., 1 табл., 4 пр.

Изобретение относится к способу изготовления термического барьера, содержащего, по меньшей мере, подслой и керамический слой, покрывающие металлическую подложку из жаропрочного сплава. Согласно способу сглаживают состояние поверхности подслоя посредством по меньшей мере одного физико-химического и/или механического процесса перед осаждением керамического слоя таким образом, что число дефектов в виде углублений и выступов, обладающих расстоянием между дном углубления и вершиной выступа, большим или равным 2 мкм, составляет самое большее пять на любом расстоянии в 50 мкм, а затем осаждают керамический слой. Повышается срок службы изготавливаемых деталей, содержащих подложку из жаропрочного сплава с нанесенным на нее термическим барьером. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 11 ил.

Группа изобретений относится к нанесению покрытий. Устройство по варианту 1 содержит два коаксиально размещенных электрода и цилиндрический межэлектродный изолятор. Торец центрального электрода заглублен относительно торца внешнего электрода с образованием канала для плазменного потока, на выходе из которого установлена подложка. Торец межэлектродного изолятора выполнен с возможностью размещения на нем взрываемой фольги и заглублен относительно торца центрального электрода с образованием коаксиального ускорительного канала для плазменного разряда в продуктах взрыва фольги. Устройство по варианту 2 содержит два электрода с изолятором между ними. Электроды выполнены с линейной геометрией, размещены на расстоянии друг от друга и разделены плоским изолятором, выполненным с возможностью размещения на его поверхности основной взрываемой фольги в форме прямоугольника или квадрата. Вдоль боковых сторон основной взрываемой фольги размещены дополнительно две полоски фольги, а над взрываемой фольгой расположена подложка. Электроды соединены с плоскими токопроводами. Обеспечивается повышение качества покрытия за счет квазиоднородного электрического взрыва фольги, а также снижается эрозия электродов. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к способу изготовления оксидных слоев посредством напыления конденсацией из паровой фазы (PVD), прежде всего посредством катодного испарения электрической дугой, и может быть использовано для защиты деталей от износа, при изготовлении запирающих слоев, сегнетоэлектриков, сверхпроводников или топливных элементов. Осуществляют испарение порошково-металлургической мишени, состоящей по меньшей мере из двух металлических и/или полуметаллических элементов. Состав металлических и/или полуметаллических элементов, или мишени выбирают таким образом, что во время нагрева при переходе от комнатной температуры в жидкую фазу не пересекается граница раздела чисто твердых фаз соответствующей фазовой диаграммы расплавленной смеси упомянутых элементов. Осаждаются слои заданной кристаллической структуры, при этом исключается образование оксидных островков и уменьшается интеграция металлических брызг в слой. 5 н. и 14 з.п. ф-лы, 14 ил.

Изобретение относится к области металлургии, в частности к высокопрочным сплавам на основе никеля для получения износостойких покрытий на металлические конструктивные элементы. Нанокомпозит на основе никеля для нанесения покрытий методами гетерофазного напыления содержит, мас.%: хром - 10,0-20,0, молибден - 25,0-45,0, кремний - 6,0-9,0, алюминий - 7,5-10,0, цинк - 1,5-2,0, TiC - 2,0-4,0, никель - остальное. Нанокомпозит получен при введении Al и Zn в виде лигатуры при соотношении компонентов 5:1 соответственно, а TiC - в виде наночастиц размером 60-80 нм. Повышается микротвердость и адгезионная прочность сплава на основе никеля. 1 з.п. ф-лы, 2 пр.

Изобретение относится к области получения и производства фильтрующих материалов для очистки воздуха промышленных помещений на основе полимерных волокон, обладающих антибиотическими свойствами. Осуществляют синтез полимера на фильтрующем материале в низкотемпературной плазме тлеющего разряда в парах адамантана. Вначале камеру с фильтрующим материалом вакуумируют, подают аргон и проводят газоразрядную очистку материала. После очистки камеру вновь вакуумируют и напускают пары адамантана с последующим зажиганием тлеющего разряда для получения тонкого покрытия на поверхности материала. Изобретение позволяет придать поверхности фильтрующего материала антибиотические (антифунгальные) свойства. 1 пр.

Изобретение относится к испарителю для испарения органических материалов, в частности меламина, а также к способу нанесения покрытия из органического материала на гибкий субстрат с помощью этого испарителя. Испаритель для испарения органических материалов содержит первую камеру, имеющую сопло, выполненное с возможностью направления на подлежащий покрытию гибкий субстрат, по меньшей мере, одну вторую камеру для испарения органического материала, по меньшей мере, один испарительный трубопровод для направления испаренного органического материала по меньшей мере из одной второй камеры в первую камеру. Первая камера выполнена для обеспечения сопла испаренным органическим материалом, соответствующим первой виртуальной поверхности сублимации. Одна или более камер по меньшей мере из одной второй камеры выполнена с обеспечением во время испарения органического материала объединенной площади второй поверхности сублимации, соответствующей по меньшей мере 70% площади первой виртуальной поверхности сублимации. Упомянутый испаритель, в котором одна или более камер по меньшей мере из одной второй камеры имеет объединенную площадь поверхности сублимации 0,34 м² или более, используют для испарения меламина. Обеспечивается равномерное или однородное покрытие из органического материала при использовании упомянутого испарителя. 4 н. и 14 з.п. ф-лы, 8 ил.

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ -SIC НА КРЕМНИИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ

Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано для получения слоев карбида кремния при изготовлении микроэлектромеханических устройств, фотопреобразователей с широкозонным окном 3С-SiC, ИК-микроизлучателей. Способ получения тонких эпитаксиальных слоев -SiC на кремнии монокристаллическом включает распыление керамической мишени SiC путем сканирования по ее поверхности лазерным лучом в условиях высокого вакуума без добавок газообразных реагентов на нагретую подложку. Распыление осуществляют лазером с длиной волны излучения =1,06 мкм и выходной энергией излучения 0,1÷0,3 Дж при остаточном давлении в ростовой камере 10^-4-10 ^-6 Па и при температуре подложки 950÷1000°C. Обеспечивается получение эпитаксиальных слоев карбида кремния кубической модификации ( -SiC) на подложках кремния монокристаллического (Si) кристаллографической ориентации (111) и (100). 4 ил.

Изобретение относится к способу формирования микроструктурированного слоя нитрида титана. Формирование микроструктурированного слоя нитрида титана осуществляют путем воздействия на титановую подложку фемтосекундным лазерным излучением с энергией в импульсе порядка 100 мкДж и с плотностью мощности в импульсе порядка 10¹³ Вт/см² в среде жидкого азота. Обеспечиваются износостойкие и коррозионно-стойкие покрытия на изделиях из титана и его сплавов, а также улучшаются антифрикционные свойства их поверхностей. 2 ил.

Изобретение относится к области машиностроения. Способ получения защитного металлического покрытия на поверхности изделия из алюминия и сплавов на его основе включает размещение изделия в зоне обработки, создание вакуума в зоне обработки, очистку поверхности пучком ионов и осаждение металлического покрытия с одновременной подачей на изделие отрицательного напряжения смещения. Очистку поверхности осуществляют пучком ионов инертного газа с энергией в диапазоне 1-5 кэВ. Осаждение покрытия осуществляют в два этапа. Вначале на поверхность осаждают промежуточный слой покрытия из меди толщиной от 0,5 мкм до 3 мкм в магнетронном разряде постоянного тока, горящем в среде инертного газа, с твердым катодом из меди при мощности разряда 1-2,5 кВт. Затем расплавляют катод из меди при мощности разряда 3-6 кВт с повышением температуры катода до величины, обеспечивающей достаточное давление паров меди для поддержания магнетронного разряда, прекращают подачу инертного газа и осаждают основной слой покрытия из меди толщиной 2-10 мкм в магнетронном разряде, горящем в парах меди. Слои покрытия осаждают при отрицательном напряжении смещения на изделии до 300 В и температуре поверхности 100-300°C. Обеспечивается защита изделий из алюминия и сплавов на его основе от коррозии в водных растворах щелочей. 1 ил., 1 пр.

Изобретение относится к области получения материалов, пригодных для формирования высокотемпературных эрозионно-стойких защитных покрытий на особожаропрочные конструкционные материалы (углерод-углеродные и углерод-керамические композиционные материалы, графиты, сплавы на основе тугоплавких металлов), широко применяемые в авиакосмической, ракетной и других отраслях промышленности. Для осуществления предлагаемого способа сначала приготавливают многокомпонентную смесь, содержащую (мас.%): Ti - 15,0÷40,0, Мо - 5,0÷30,0, Y - 0,1÷1,5, В - 0,5÷2,5, Cr - 0,2÷6,0, один или несколько элементов VIII группы - 7,0÷10,0, Si -остальное, или Ti - 15,0÷40,0, Мо - 5,0÷30,0, Y - 0,1÷1,5, В - 0,5÷2,5, Cr - 0,2÷6,0, один или несколько элементов VIII группы - 7,0÷10,0, Mn - 1,5, Si - остальное, или Ti - 15,0÷40,0, Мо - 5,0÷30,0, Y - 0,1÷1,5, В - 0,5÷2,5, Si - остальное. Из полученной смеси выплавляют сплав, измельчают в порошок дисперсностью 43÷100 мкм и вводят нитевидные кристаллы SiC в количестве 2,0÷15,0 мас.% совместным диспергированием до наиболее пригодной для последующего формирования покрытия размерности. SiC берут в виде длинноволокнистых нитевидных кристаллов с отношением длины к диаметру L/D 1000. Технический результат изобретения - повышение эрозионной стойкости покрытий с одновременным сохранением самозалечивающей способности защитного слоя. 2 з.п. ф-лы, 2 табл.

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения пленок в крупногабаритных изделиях остекления самолетов. Устройство для ионно-плазменного нанесения многокомпонентных пленок в вакууме содержит рабочую камеру, в которой размещены анод, катод с мишенью, расположенной на основании, магнитная система, установленная с нерабочей стороны мишени, средство охлаждения мишени и подложкодержатель с изделием. Устройство дополнительно снабжено двумя экранирующими элементами, расположенными над боковыми рабочими сторонами мишени, установленными с возможностью регулирования их положения относительно мишени, при этом подложкодержатель с изделием установлен на корпусе камеры с возможностью вращения вокруг мишени, а аноды, основание и подложкодержатель электрически изолированы от корпуса камеры и друг от друга. Обеспечивается равномерность покрытий по оптической толщине. 1 ил.

Изобретение относится к способу обеспечения защитного, пассивирующего или герметизирующего слоя на органическом электронном устройстве или его компоненте путем осаждения слабо ускоренных частиц методом распыления пучка ионов или плазмы либо методом прямого осаждения пучка ионов или плазмы. Способ характеризуется тем, что на органическое электронное устройство или компонент воздействуют пучком частиц с преобладающей энергией частиц от 0,1 до 30 электронвольт, осаждая таким образом слой указанных частиц на электронном устройстве или компоненте. Также изобретение относится к способу герметизации органического электронного устройства, защитному слою, органическому электронному устройству, содержащему указанный слой. Предлагаемое изобретение предоставляет слой, который не повреждает органический слой и не оказывает или оказывает только незначительное негативное воздействие на характеристики устройства. 5 н. и 11 з.п. ф-лы, 2 табл., 3 пр., 5 ил.

Изобретение относится к устройствам вакуумного нанесения покрытий на рулонные материалы. Может использоваться для получения функциональных покрытий при производстве материалов электронной техники. Устройство для получения электродного материала содержит модуль напыления с системой испарения с механизмом подачи испаряемого материала, систему перемотки, систему откачки, пневмосистему, систему охлаждения, систему управления и устройство перемещения, выполненное с возможностью стыковки-расстыковки с модулем напыления. Система перемотки выполнена в виде жесткого блока, состоящего из двух плит, передней и задней, скрепленных между собой опорами, и содержит водоохлаждаемые направляющие ролики, неохлаждаемые отклоняющие ролики и ролики натяжения. Жесткий блок крепится задней плитой к внешней плите, расположенной на устройстве перемещения посредством крепящих блоков с обеспечением независимости от прогиба внешней плиты. Для передачи вращения от приводов и исполнительных механизмов на водоохлаждаемые направляющие установлен магнитожидкостной ввод вращения с обеспечением компенсации прогиба внешней плиты, который надевают на водоохлаждаемый направляющий ролик. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д. Износостойкое наноструктурное покрытие выполнено из нанокомпозиционного металл-керамического материала, полученного на ситалловой подложке ионно-лучевым распылением, и имеет структуру, состоящую из гранул металлической фазы со средним диаметром 2-4 нм, изолированных металлической фазой, при этом концентрация металлической фазы составляет 30-56 ат.%. Техническим результатом изобретения является создание наноструктурного металл-керамического покрытия, обладающего высокой износостойкостью и стабильностью параметров. 1 пр., 1 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике. Устройство для защиты смотрового окна вакуумной камеры содержит ленту, протягиваемую вдоль окна ведущим и ведомым роликами. Тонкая упругая металлическая лента выполнена шире и в 2,5 раза длиннее окна. Лента уложена и закреплена в проточке каждого ролика. По ширине в ленту вставлена прямоугольная рамка со съемным стеклом шириной в три раза меньше его длины, по краям каждого ролика выполнены канавки, в которых закреплены и натянуты между роликами ниже ленты два тросика длиной не меньше длины окна, выполненные в виде пружины. Возле каждого ролика установлен упор для рамки. Когда рамка упирается в упор возле ведомого ролика, тросики намотаны на ведущий ролик, а лента на ведомый ролик. Когда рамка упирается в упор возле ведущего ролика, тросики намотаны на ведомый ролик, а лента на ведущий ролик. С каждой стороны ленты установлены, по меньшей мере, две направляющие. Обеспечивается защита увеличенного по длине смотрового окна вакуумной камеры от запыления при визуальном контроле за процессами термического испарения. 1 ил., 1 пр.

Изобретение относится к скользящему элементу, в частности поршневому кольцу, имеющему покрытие по меньшей мере на одной поверхности скольжения, и к способу получения скользящего элемента. Скользящий элемент, в частности поршневое кольцо, для использования в двигателе внутреннего сгорания имеет по меньшей мере на одной поверхности скольжения в направлении изнутри наружу покрытие, содержащее металлосодержащий адгезионный слой и слой алмазоподобного углерода DLC типа тетраэдрического углерода ta-C толщиной по меньшей мере 10 мкм. Слой типа тетраэдрического углерода ta-C имеет содержание sp³-гибридизованных атомов углерода по меньшей мере 40 ат.% и водород в количестве менее 0,5 ат.%, при этом содержание sp³-гибридизованных атомов углерода в наружных 1-3 мкм слоя снижено. Полученный скользящий элемент обладает улучшенной комбинацией коэффициента трения и износостойкости. 2 н. и 14 з.п. ф-лы, 1 табл.

Изобретение относится к обработке поверхностей заготовок в установке вакуумирования с выполненным в виде мишени первым электродом, являющимся частью источника испарения электрической дугой, и с выполненным в виде держателя заготовок вторым электродом. Через первый электрод подают дуговой разряд с импульсным током дугового разряда, посредством которого с мишени испаряется материал, который, по меньшей мере, частично и периодически осаждается на заготовках. Второй электрод вместе с заготовками образует электрод смещения. На электрод смещения посредством электропитания подают напряжение смещения, при этом напряжение смещения подают в согласовании с током дугового разряда с обеспечением ионной бомбардировки поверхности подложки при достижении равновесного состояния между образованием на поверхности слоя и его удалением. Способ позволяет осуществлять различные виды обработки поверхностей заготовок при обеспечении нулевого прироста слоя на поверхности от испаряющейся мишени. 14 з.п. ф-лы, 10 ил.

Изобретение относится к скользящему элементу двигателя внутреннего сгорания, в частности поршневому кольцу. Указанный скользящий элемент выполнен с покрытием, которое представляет собой алмазоподобное покрытие типа ta-C с изменяющимися по его толщине внутренними напряжениями и тем самым с, по меньшей мере, одним градиентом внутреннего напряжения. Покрытие в обращенной к основному материалу области (IV) выполнено в направлении вовнутрь с отрицательным градиентом внутреннего напряжения, в расположенной снаружи области (II) - с положительным градиентом внутреннего напряжения, а в средней области (III) - с чередующимися зонами высоких и низких внутренних напряжений. Обеспечивается увеличение срока службы покрытия при сохранении заданных фрикционных свойств. 7 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к керамическому термобарьерному покрытию, которое имеет наноструктурный и микроструктурный слой. Керамическое термобарьерное покрытие на подложке из жаропрочного сплава на основе никеля или кобальта, или железа содержит необязательно металлическое связующее покрытие (7) и два наслоенных керамических слоя (16) с внутренним керамическим (10) и внешним керамическим (13) слоем. Внутренний керамический слой (10) является наноструктурным и имеет пористость между 3 об.% и 14 об.%, в частности между 9 об.% и 14 об.%, а внешний слой (13) имеет пористость более высокую, чем пористость внутреннего слоя (10), в частности по меньшей мере на 10% более высокую, наиболее предпочтительно по меньшей мере на 20% более высокую. Материал двух керамических слоев (10, 13) является одинаковым, в частности стабилизированным диоксидом циркония, наиболее предпочтительно диоксидом циркония, стабилизированным оксидом иттрия. Улучшается вязкость керамического термобарьерного покрытия. 11 з.п. ф-лы, 5 ил.