Вспомогательные средства, служащие для облегчения или улучшения применения методов или устройств сканирующего зонда, например дисплеи или устройства обработки данных: .дисплеи или устройства обработки данных – G01Q 30/04

Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а именно к устройствам, обеспечивающим управление сканирующими зондовыми микроскопами. Блок управления для сканирующих зондовых микроскопов, включающих вибрационный зондовый датчик, вертикальный привод для взаимного перемещения датчика и образца перпендикулярно плоскости сканирования и измерительный преобразователь сигналов от вибрационного зондового датчика, содержит первую цепь обратной связи, включающую цифровой процессор сигналов, связывающий выход измерительного преобразователя сигналов от вибрационного зондового датчика и вертикальный привод, программируемую вентильную матрицу, запрограммированную для выполнения прямого цифрового синтеза переменного сигнала с первой частотой, блок USB для связи с компьютером, средства обработки сигнала от измерительного преобразователя сигналов от вибрационного зондового датчика с использованием сдвоенного фазового синхронного смесителя и сигнала с первой частотой и НЧ фильтров. Сдвоенный фазовый синхронный смеситель выполнен автономным и аналоговым с последующей оцифровкой. НЧ фильтрация является цифровой и выполняется с помощью цифрового процессора сигналов. Перед блоком USB вставлен блок гальванической развязки. Технический результат - повышение точности отслеживания рельефа. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.