накопитель для постоянного запоминающего устройства
Классы МПК: | G11C17/00 Постоянные запоминающие устройства с однократным программированием; полупостоянные запоминающие устройства, например с ручной заменой информационных карт |
Автор(ы): | Емельянов А.В., Портнов С.М. |
Патентообладатель(и): | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им.Ф.В.Лукина |
Приоритеты: |
подача заявки:
1990-12-06 публикация патента:
30.01.1994 |
Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к постоянным запоминающим устройствам, в накопителе которых в качестве логических ячеек используют ячейки упорядоченных поверхностных структур. Целью изобретения является повышение надежности накопителя. Накопитель содержит графитовую подложку 1, верхний приповерхностный слой 2 которой интеркалирован щелочными металлами (K, Pb, Cs), покрытую, в том числе с торцов, углеродным слоем 3 толщиной до 1 нм. 3 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3
Формула изобретения
НАКОПИТЕЛЬ ДЛЯ ПОСТОЯННОГО ЗАПОМИНАЮЩЕГО УСТРОЙСТВА, содержащий графитовую подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности накопителя, он содержит углеродный слой, расположенный на поверхности графитовой подложки, причем приповерхностный слой графитовой подложки интеркалирован щелочными металлами в стехиометрическом соотношении С8nМ, где М - один из щелочных металлов, а n = 1 или 2.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к постоянным запоминающим устройствам (ПЗУ), накопитель которых в качестве логических ячеек имеет ячейки упорядоченных поверхностных структур. Известен накопитель для ПЗУ, представляющий собой атомарно-чистую поверхность монокристаллов полупроводников (кремний, арсенид галлия и др. ), содержащую упорядоченные структуры с защитным покрытием из слоя диэлектрика или углеродной пленки [1] . Недостатком такого накопителя является низкая надежность хранения информации, обусловленная химическим взаимодействием покрытия с подложкой, приводящим к деградации сформированного поверхностного рельефа. Известен накопитель для ПЗУ, представляющий собой атомно-гладкую поверхность графита, биты информации в который в виде "дырок" диаметром порядка 4 нм и глубиной до 1 нм записываются путем кратковременного повышения потенциала на зонде сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) [2] . Минимальное расстояние, на котором можно расположить биты информации, составляет 6 нм. Недостатком такого накопителя является низкая надежность, обусловленная необходимостью применения высоких потенциалов на зонде (не менее 5 В) при записи информации, что приводит к быстрой деградации зонда. Целью изобретения является повышение надежности хранения информации в ПЗУ. Цель достигается в накопителе для ПЗУ, содержащем графитовую подложку, причем последняя интеркалирована щелочными металлами (K, Rb, Cs) в стехиометрическом соотношении C8nM (М - один из вышеназванных металлов, n = 1 или 2) и, кроме того, поверхность ее покрыта защитным углеродным слоем. На фиг. 1 схематично представлены поверхности интеркалированного графита, отвечающие стехиометрическому соотношению C8nM и характеризующиеся образованием упорядоченной структуры 2х2, вид сбоку и вид сверху; на фиг. 2 показан рельеф такой поверхности, наблюдаемый с помощью СТМ; на фиг. 3 - накопитель ПЗУ. Накопитель представляет собой графитовую подложку 1, верхний слой 2 которой интеркалирован щелочными металлам (K, Rb, Cs), покрытую и с торцов защитным углеродным слоем 3 толщиной до 1 нм. В предлагаемом накопителе используется свойство щелочных металлов (K, Rb, Cs) упорядоченно располагаться в поверхностных слоях графита при интеркалировании в кислороднесодержащей атмосфере. При стехиометрическом соотношении C8nM металл образует гексагональную сверхструктуру 2х2, при соотношении C16nM - негексагональные структуры![накопитель для постоянного запоминающего устройства, патент № 2006968](/images/patents/467/2006968/2006968-2t.gif)
![накопитель для постоянного запоминающего устройства, патент № 2006968](/images/patents/467/2006968/2006968-3t.gif)
![накопитель для постоянного запоминающего устройства, патент № 2006968](/images/patents/467/2006968/2006968-4t.gif)
Класс G11C17/00 Постоянные запоминающие устройства с однократным программированием; полупостоянные запоминающие устройства, например с ручной заменой информационных карт