состав для пьезорезистивного материала
Классы МПК: | C08L61/10 продукты феноло-формальдегидной конденсации C08K5/13 фенолы; феноляты H01L41/18 для пьезоэлектрических или электрострикционных приборов |
Автор(ы): | Корсаков В.С., Трутнев Н.Ф., Плавич Л.А., Максимов С.И., Самсонов Н.С., Мазуренко С.Н., Золотухин М.Г., Лачинов А.Н., Новиков В.И., Тимофеев С.В., Московенко Е.А. |
Патентообладатель(и): | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им.Ф.В.Лукина |
Приоритеты: |
подача заявки:
1991-09-16 публикация патента:
15.05.1994 |
Использование: в электронике в качестве пьезорезистивного материала, используемого в устройствах, преобразующих давление в электрический сигнал - датчики давления, тензометрические элементы и т. п. Сущность: состав для пьезорезистивного материала включает 80 - 95% полидифениленфталида или полифлуоренфталида и 5 - 20 мас. % молекулярного пьезоэлектрика (модифицирующая добавка), выбранного из группы, включающей фенофталеин, флуоресцеин, тетрабромфлуоресцеин. Полимер в виде порошка и порошкообразную модифицирующую добавку растворяют в хлороформе или циклогексаноне, выливают на стеклянную подложку и удаляют растворитель испарением; получают прозрачную, однородную пленку пьезорезистивного материала. 7 табл.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4
Формула изобретения
СОСТАВ ДЛЯ ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНОГО МАТЕРИАЛА, включающий полидифениленфталид или полифлуоренилфталид и модифицирующую добавку, отличающийся тем, что в качестве модифицирующей добавки он содержит молекулярный пьезоэлектрик, выбранный из группы, включающей фенолфталеин, флуоресцеин, тетрабромфлуоресцеин, при следующем соотношении компонентов состава, мас. % :Полидифениленфталид или полифлуоренилфталид 80 - 95
Модифицирующая добавка 5 - 20
Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к электронике, в частности к материалам для использования в устройствах, преобразующих давление в электрический сигнал: датчики давления, тензометрические элементы, элементы коммутации электрических сигналов и т. п. Известны металлы, обладающие способностью изменять сопротивление при приложении давления, в них при увеличении давления до 10000 МПа электрическое сопротивление уменьшается в 2 раза (1). Недостатком таких металлов является низкая пъезочувствительность, т. е. малое изменение удельного сопротивления при большом изменении давления. Кроме того, известны полимерные материалы на основе антрацена, трифенилхлорметана, пирена, 1-гидроксиантрахинона и кислотного компонента - пиромелитового диангидрида или 1,8-нафталинангидрида, сопротивление которых при нагрузке не более чем 10000 МПа уменьшается не менее чем в 100 раз (2). Применение этих материалов целесообразно только в области высоких давлений, в области низких давлений их использование требует значительных затрат и сложно в техническом исполнении. Известен также материал, содержащий полимер и мелкодисперсную добавку, в качестве полимера использовались полиэтилен или виливиниленфторид, в качестве добавки - халькогениды редкоземельных элементов (3). Наибольшая чувствительность





Полидифениленфталид или
полифлуоренилфталид 80-95
Модифицирующая добавка 5-20
Ввиду того, что молекулярный пьезоэлектрик растворяется в тех же растворителях, что и полимерная матрица, а также имеет аналогичную ей молекулярную структуру, удается получить гомогенные, термодинамически совместимые системы. Возможность достижения положительного эффекта обусловлена тем, что неионные кристаллы проявляют достаточно сильный пьезоэффект при низких давлениях. В этой связи введение в полидифениленфталиды, полифлуорениленфталиды таких добавок в количестве до 20 мас. % позволяет снизить область рабочих давлений до 0,05 МПа и повысить чувствительность до 14. Выбор пределов концентраций компонентов обусловлен тем, что при содержании добавки менее 5% положительный эффект не наблюдается, а при содержании выше 20% удельное изменение чувствительности незначительно. П р и м е р. Материал получают следующим образом. Полимер в виде порошка в количестве 0,1 г и порошкообразную пьезоэлектрическую добавку, например эозин, в количестве 0,02 г смешивают и растворяют в 10 мл хлороформа или циклогексана. Раствор выливают на стеклянную подложку и удаляют растворитель испарением. После чего получают прозрачную однородную пленку пьезорезистивного материала, которая в дальнейшем используется в различных электротехнических изделиях. Состав и свойства пьезорезистивного материала приведены в табл. 1-7. Испытания проводят по следующей методике. Исследуемые образцы представляют собой сэндвич структуру металл - пьезорезистивный материал - металл с размерами в плане 10 мм х 10 мм. Толщина пленки пьезорезистивного материала равна 5-0,2 мкм. Нагружение структур производится на установке М-1000Е в диапазоне 0,1-100 кг, что обеспечивало удельное давление 0,01-10 МПа при площади образца 1 см2. Для измерения сопротивления сэндвич структур используют вольтметр электрометрический В7Э-42 и усилитель постоянного тока У5-9. Сопротивление рассчитывают по формуле
Rcc = (U - RL x I)/I , (1) где Rcс - сопротивление сэндвич структуры;
RL - нагрузочное сопротивление. Чувствительность пьезорезистивного материала определяется как

R * - удельное сопротивление при давлении Р. В процессе испытания получают данные по воспроизводимости параметров. Воспроизводимость определяется для серии образцов, изготовленных в одних и тех же технологических условиях как средне-квадратичное отклонение (3) от среднего значения чувствительности (4).




Как видно из приведенных данных изобретение позволяет повысить пьезочувствительность до 14 при малых делениях 0,05 МПа, улучшить воспроизводимость параметров пьезорезистивного материала
. Кроме того, использование заявляемого технического решения позволит повысить технологичность пьезорезистивного материала.
Класс C08L61/10 продукты феноло-формальдегидной конденсации
Класс C08K5/13 фенолы; феноляты
Класс H01L41/18 для пьезоэлектрических или электрострикционных приборов