способ формирования изображения в растровом оптическом микроскопе
Классы МПК: | G02B21/00 Микроскопы |
Автор(ы): | Дорожко Е.В., Иващенко К.А., Средин В.Г. |
Патентообладатель(и): | Средин Виктор Геннадиевич, Дорожко Евгений Владимирович, Иващенко Константин Анатольевич |
Приоритеты: |
подача заявки:
1991-04-15 публикация патента:
15.08.1994 |
Использование: оптоэлектроника и может быть использовано при испытаниях изделий оптоэлектроники. Сущность изобретения: способ включает в себя освещение объекта сканирования, ограничение спектрального состава излучения от объекта сканирования, регистрацию отраженного излучения в пределах углов 90
10
, преобразование оптического сигнала в электрический, согласование линейных соотношений - размеров растров ЭЛТ зондирующего излучения и видеоконтрольного устройства, усиление электрического сигнала и преобразование его в управляющий сигнал отклоняющих систем ЭЛТ видеоконтрольного устройства. 1 ил.
Рисунок 1


Формула изобретения
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ В РАСТРОВОМ ОПТИЧЕСКОМ МИКРОСКОПЕ, при котором исследуемый объект освещают сканирующим излучением электронно-лучевой трубки, регистрируют излучение от объекта сканирования с помощью фотоприемника, усиливают и преобразовывают электрический сигнал в оптический, отличающийся тем, что, с целью повышения качества изображения, отраженное от объекта сканирования излучение регистрируют под углами (90
Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к оптоэлектронике и может быть использовано при разработке конструкции растровых оптических микроскопов (РОМ). Известен способ формирования излучения в РОМ, в котором предлагают использование рекомбинационного излучения полупроводниковых монокристаллов, возбуждаемых электронным лучом (катодолюминесценция). Преимуществом данного способа является электронное управление законом сканирования и достаточно широкий диапазон длин волн, в котором возбуждают зондирующее излучение. Недостатки способа - потребность в использовании источников высокого напряжения, быстрая деградация полупроводниковых монокристаллов с излучателем, низкая оптическая однородность полупроводниковых монокристаллов с гексагональной кристаллической структурой, что приводит к неоднородности (низкой контрастности) получаемого изображения. Наиболее близким к данному является способ формирования изображения, реализованный в РОМ, в котором в качестве источника излучения используют электронно-лучевую трубку (ЭЛТ) с монокристаллическим экраном. В РОМ двумерный растр формируют путем электронного сканирования монокристаллического экрана ЭЛТ на основе иттрий-алюминиевого граната, содержащим в качестве активатора 8% церия. Основным недостатком такого способа формирования изображения является недостаточное качество изображения объекта сканирования, заключающееся в понижении контрастности изображения и разрешающей способности устройства как следствия способа фокусировки излучения от объекта сканирования, так как при регистрации по способу, предложенному в прототипе, регистрируют зекальную и диффузную составляющие отраженного сигнала, а также люминесцентное свечение, возбуждаемое в объекте сканирования зондирующим излучением. Кроме того, искажении угловых размеров изображения объекта сканирования исключает возможность проведения количественных измерений на изображении исследуемого объекта. Целью изображения является повышение качества изображения в РОМ, использующих в качестве источника излучения ЭЛТ. Это достигается тем, что объект сканирования освещают излучением ЭЛТ по избранному закону сканирования, ограничивают спектральный состав излучения от объекта сканирования диапазоном длин волн, соответствующих основной полосе излучения ЭЛТ, путем введения в оптический тракт регистрации оптического фильтра, регистрируют зеркальную составляющую излучения, отраженную от объекта сканирования, для чего осуществляют регистрацию отраженного излучения только в интервале углов 90
