способ изготовления деталей электронных приборов из пиролитического графита
Классы МПК: | H01J9/02 изготовление электродов или электродных систем H01J1/46 управляющие электроды, например сетка; вспомогательные электроды |
Автор(ы): | Коньков Н.В., Парилова Г.А., Земчихин Е.М., Чепюк Л.И. |
Патентообладатель(и): | Государственное научно-производственное предприятие "Исток" |
Приоритеты: |
подача заявки:
1991-03-06 публикация патента:
30.11.1994 |
Использование: электронная техника, управляющие сетки, коллекторы с антидинатронными свойствами. Сущность изобретения: детали из пиролитического графита обрабатывают в увлажненной восстановительной среде с точкой росы +10 - +25°С при температуре 1100 - 1200°С в течение 20 - 30 мин.
Формула изобретения
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ ИЗ ПИРОЛИТИЧЕСКОГО ГРАФИТА, предусматривающий обработку поверхности для придания ей антидинатронных свойств, отличающийся тем, что, с целью снижения коэффициента вторичной электронной эмиссии, термообработку проводят в восстановительной среде с точкой росы +10...+25oС при температуре 1100 - 1200oС в течение 20 - 30 мин.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к электронной технике, а именно к способам получения текстурированных поверхностей таких изделий электронной техники, как коллекторы и управляющие сетки, изготовленные из пирографита. Проведенные исследования показали, что пиролитический анизотропный графит (типа УПВ-1, УПВ-2) по своим вакуумным свойствам (большое газосодержание, сильное газоотделение, высокая температура обезгаживания в вакууме), низкой механической прочности не может быть использован в качестве конструкционного материала для изготовления коллекторов мощных ЛБВ, а также управляющих сеток. Оптимальным материалом, удовлетворяющим предъявляемым к электронным приборам такого класса требованиям, является пиролитический изотропный графит, выпускаемый как отечественной промышленностью, так и некоторыми зарубежными фирмами с достаточно сопоставимыми свойствами. Пиролитический графит - высокопрочный материал с хорошей теплопроводностью, высокой излучательной способностью (![способ изготовления деталей электронных приборов из пиролитического графита, патент № 2024095](/images/patents/449/2024095/949.gif)
![способ изготовления деталей электронных приборов из пиролитического графита, патент № 2024095](/images/patents/449/2024003/8776.gif)
C+2H2O
![способ изготовления деталей электронных приборов из пиролитического графита, патент № 2024095](/images/patents/449/2024095/2024095t.gif)
![способ изготовления деталей электронных приборов из пиролитического графита, патент № 2024095](/images/patents/449/2024095/2024095-2t.gif)
![способ изготовления деталей электронных приборов из пиролитического графита, патент № 2024095](/images/patents/449/2024095/2024095-3t.gif)
и улетучивании полученных окислов углерода. Так как основным элементом надкристаллитной структуры изотропного пирографита являются образования сфероидальной формы размерами 1-10 мкм, состоящие из концентрических слоев углерода, то после термического окисления происходит частичное раскрытие сфероидальных образований, напоминающих капустный кочан, с выходом слоев наружу, тем самым уменьшается КВЭЭ при работе изделия из текстурированного пирографита в составе прибора, причем данная обработка позволяет обрабатывать изделия любой геометрической формы и любых размеров (соответствующих размерам оборудования) без каких-либо ограничений, что нельзя сделать другими способами, где используется фотолитография, обработка ионным пучком, пескоструйка и т.д. Восстановительная газовая среда является защитной от излишнего окисления и разрушения материала, тем самым сохраняя чистоту поверхности обрабатываемых изделий. Предлагаемый способ отличает простота и технологичность, так как процесс текстурирования можно совмещать с такими операциями, как вжигание металлизации или пайки. Поверхности, не подлежащие текстурированию, легко защитить с помощью металлической оправки или нанесения защитных покрытий. П р и м е р 1. Берут подложку из пиролитического изотропного графита, помещают в нагревательную печь типа ЦЭП-2, проводят термическую обработку в увлажненной (точка росы +10оС) смеси газов, например Н2:N2 = 2:1, и термообрабатывают при Т=1100оС в течение 20 мин. П р и м е р 2. Аналогично обработан пиролитический изотропный графит с целью текстурирования, но с точкой росы +25оС при Т=1200оС в течение 30 мин. П р и м е р 3. Текстурирование проведено по способу-прототипу. Предлагаемый способ текстурирования пиролитического графита по сравнению с прототипом позволяет снизить КВЭЭ, расширить геометрию обрабатываемых поверхностей. КВЭЭ снижен с 0,38 - 0,34 до 0,3. Предлагаемый способ отличает простота и технологичность - процесс текстурирования можно совместить с такими операциями, как вжигание металлизации или пайки. Поверхности, не подлежащие текстурированию, легко защитить с помощью металлической оправки или нанесения защитных покрытий.
Класс H01J9/02 изготовление электродов или электродных систем
Класс H01J1/46 управляющие электроды, например сетка; вспомогательные электроды