способ термокомпенсации тензомоста
Классы МПК: | G01B7/16 для измерения деформации твердых тел, например проволочными тензометрами |
Автор(ы): | Белозубов Е.М. |
Патентообладатель(и): | Научно-исследовательский институт физических измерений |
Приоритеты: |
подача заявки:
1984-07-10 публикация патента:
20.03.1995 |
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использованно в тензометрии. Повышение точности термокомпенсации тензомоста в интегрально-схемном исполнении достигается измерением его выходных сигналов при включенном компенсационном резисторе в виде "змейки", расположенной в зоне максимальной термодеформации. Эти измерения производят также и при воздействии жидкого азота. Расчетом получают точное значение указанного резистора. 1 ил.
Рисунок 1
Формула изобретения
СПОСОБ ТЕРМОКОМПЕНСАЦИИ ТЕНЗОМОСТА, заключающийся в том, что на тензомост воздействуют перепадами температур, измеряют выходные сигналы тензомоста и корректируют расчетные значения термокомпенсирующих резисторов эмпирическим путем, отличающийся тем, что, с целью повышения точности компенсации интегрально-схемного тензомоста, расположенного на мембране при термоударе, один из термокомпенсирующих резисторов располагают на этой мембране в зоне максимального градиента термодеформации, перепад температур создают потоком жидкого азота на мембрану, а корректировку термокомпенсирующего резистора на мембране выполняют путем "короткого замыкания" его части.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в тензометрии. Известен способ термокомпенсации тензомоста, заключающийся в том, что на тензомост воздействуют перепадами температур, измеряют выходные сигналы тензомоста и корректируют расчетные значения термокомпенсирующих резисторов эмпирическим путем. Однако точность компенсации этим способом недостаточная. Для повышения точности компенсации интегрально-схемного тензомоста, расположенного на мембране при термоударе, один из термокомпенсирующих резисторов располагают на этой мембране в зоне максимального градиента термодеформации, перепад температур создают потоком жидкого азота на мембрану, а корректировку термокомпенсирующего резистора на мембране выполняют путем короткого замыкания его части. На чертеже представлена схема тензомоста в интегральном исполнении. Он содержит контактные площадки 1-6, установленные на мембране 7 с диэлектрическим слоем (на чертеже не показан). На этом слое расположены тензорезисторы 8-11, компенсационный резистор 12 в виде змейки. Кроме того, располагают в расчетном месте этой змейки перемычку 13 для получения короткого замыкания. Способ реализуется следующим образом. Посpедством контактных площадок 1-6 тензомост включается в измерительную схему. При нормальных климатических условиях. Измеряют его выходные сигналы при полностью закороченном компенсирующем резисторе 12 и при полностью включенном этом резисторе. Затем воздействуют на тензомост жидким азотом и измеряют при этом его выходной сигнал. С учетом указанных значений выходных сигналов тензомоста расчетом получают значение компенсационного резистора 12, которое достигается закорачиванием части змейки перемычкой 13.Класс G01B7/16 для измерения деформации твердых тел, например проволочными тензометрами