способ получения защитного слоя на тонкопленочном носителе информации магнитного диска
Классы МПК: | G11B5/62 носители записи, отличающиеся по материалу |
Автор(ы): | Кулик П.П., Иванов В.В., Гребенщикова О.М., Отставнов Ю.Д. |
Патентообладатель(и): | Инженерный центр "Плазмодинамика" |
Приоритеты: |
подача заявки:
1992-02-12 публикация патента:
20.05.1995 |
Изобретение относится к производству информационной техники, в частности к способам производства магнитных дисков. Сущность изобретения заключается в том, что перед формированием зоны реакции наносят рабочий материал на поверхность диска. Зону реакции формируют в виде плазменной струи атмосферного давления из смеси инертных и окислительных газов. При этом защитный слой получают при n-разовом (где n
1) пересечении диском плазменной струи.
![способ получения защитного слоя на тонкопленочном носителе информации магнитного диска, патент № 2035771](/images/patents/438/2035005/8805.gif)
Формула изобретения
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАЩИТНОГО СЛОЯ НА ТОНКОПЛЕНОЧНОМ НОСИТЕЛЕ ИНФОРМАЦИИ МАГНИТНОГО ДИСКА, при котором формируют плазменную зону реакции между поверхностью диска, окислителем, рабочим материалом и окисляют рабочий материал в среде плазмы инертных и окислительных газов с получением защитного слоя на диске, расположенном в зоне реакции, отличающийся тем, что перед формированием зоны реакции наносят рабочий материал на поверхность диска, зону реакции формируют в виде плазменной струи атмосферного давления, а защитный слой получают окислением слоя рабочего материала при n-разовом (где n![способ получения защитного слоя на тонкопленочном носителе информации магнитного диска, патент № 2035771](/images/patents/438/2035005/8805.gif)
Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к производству информационной техники, в частности к способам производства магнитных дисков. Известны способы получения защитного тонкопленочного носителя информации магнитного диска, при котором на поверхности формируется защитный слой в вакууме, путем напыления [1]Однако известные способы не позволяют получить защитный слой тонкопленочного носителя информации при атмосферном давлении. Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является способ получения защитного слоя тонкопленочного носителя информации, при котором формируют плазменную зону реакции между поверхностью диска, окислителем, рабочим материалом и окисляют рабочий материал в среде плазмы с получением защитного слоя на диске, расположенном в зоне реакции [2]
Данный способ получения защитного слоя предполагает использование сложной вакуумной техники, кроме того, адгезия защитного слоя к рабочему не достаточно прочна. Целью изобретения является упрощение технологии, увеличение износостойкости защитного покрытия. Цель достигается за счет того, что в способе, при котором формируют плазменную зону реакции между поверхностью диска, окислителем и рабочим материалом и окисляют рабочий материал в среде плазмы инертных и окислительных газов с получением защитного слоя на диске, расположенном в зоне реакции, перед формированием зоны реакции наносят рабочий материал на поверхность диска, зону реакции формируют в виде плазменной струи атмосферного давления, а защитный слой получают окислением слоя рабочего материала при n-разовом (где n
![способ получения защитного слоя на тонкопленочном носителе информации магнитного диска, патент № 2035771](/images/patents/438/2035005/8805.gif)
![способ получения защитного слоя на тонкопленочном носителе информации магнитного диска, патент № 2035771](/images/patents/438/2035771/2035771t.gif)