вещество для подложек со структурой граната

Классы МПК:C30B29/28 с формулой A3Me5O12, где A - редкоземельный металл, а Me - Fe, Ga, Sc, Cr, Co или Al, например гранаты
H01F10/28 отличающиеся составом подложки
Автор(ы):,
Патентообладатель(и):Еськов Николай Анатольевич,
Рандошкин Владимир Васильевич
Приоритеты:
подача заявки:
1992-05-06
публикация патента:

Изобретение относится к выращиванию монокристаллов и промышленно применимо при производстве монокристаллических пленок феррит-гранатов, предназначенных для использования в различных магнитооптических устройствах и запоминающих устройствах на цилиндрических магнитных доменах. Цель изобретения - повышение структурного совершенства вещества. Вещество характеризуется общей формулой CaxByMzMeuO12-p, где В - элемент с валентностью более 3 из ряда ниобий и/или тантал и/или цирконий; М - элемент с валентностью не более трех из ряда галлий и/или литий, и/или тантал, и/или цирконий; Ме - элемент с валентностью не менее трех из ряда галлий и/или кремний. В веществе содержится в персчете на формульную единицу: от 2,90 до 3,10 кальция; от 0,05 до 1,79 ниобия и/или тантала; от 1,80 до 3,60 галлия; от 0,02 до 2,95 германия; от 0,01 до 0,22 лития; от 0,44 до 0,99 циркония; от 0,15 до 0,32 магния и до 0,04 кислородных вакансий. 3 з.п. ф-лы, 1 табл.

Формула изобретения

1. ВЕЩЕСТВО ДЛЯ ПОДЛОЖЕК СО СТРУКТУРОЙ ГРАНАТА, содержащее в своем составе кальций, галлий, кислород и по крайней мере один из элементов с валентностью более 3, отличающееся тем, что оно содержит элемент В с валентностью более 3 в октаэдрической подрешетке структуры граната и соответствует химической формуле

Cax By Mz Meu O12-p,

где M по крайней мере один из элементов с валентностью не более 3, входящих в октаэдрическую подрешетку структуры граната;

Me по крайней мере один из элементов с валентностью не менее 3, входящих в тетраэдрическую подрешетку структуры граната;

2,90 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 x вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 3,1;

0,05 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 y вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 1,79;

3,11 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 z +u вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 4,91;

p вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 0,04,

при этом оно в качестве элемента B содержит ниобий, и/или тантал, и/или цирконий, в качестве элемента M галлий, и/или литий, и/или магний, в качестве элемента M галлий, и/или германий и/или кремний.

2. Вещество по п.1, отличающееся тем, что оно соответствует химической формуле

Cax By Ga5-y O12-p,

где 2,97 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 x вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 3,03;

1,40 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 y вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 1,70;

p вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 0,004.

3. Вещество по п.1, отличающееся тем, что оно соответствует химической формуле

Cax By Gau Gev O12-p,

где 2,97 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 x вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 3,03;

0,05 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 y вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 1,40;

1,80 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 u вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 3,60;

0,09 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 v вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 2,95;

p вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 0,01.

4. Вещество по п.1, отличающееся тем, что оно соответствует химической формуле

Cax Nby Liz Cau O12-p,

где 2,90 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 x вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 3,10;

1,71 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 y вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 1,79;

0,03 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 z вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 0,22;

2,96 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 u вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 3,10;

p вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 0,01.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к выращиванию монокристаллов и промышленно применимо при производстве монокристаллических пленок феррит-гранатов (МПФГ), предназначенных для использования в различных магнитооптических устройствах и запоминающих устройствах на цилиндрических магнитных доменах.

Известно вещество со структурой граната, содержащее в своем составе гадолиний, галлий и кислород [1]

Недостатком такого вещества является высокая стоимость из-за наличия в его составе гадолиния и необходимости использования дефицитного иридиевого тигля при его выращивании по методу Чохральского.

Наиболее близким к предлагаемому является известное вещество для подложек со структурой граната, содержащее в своем составе кальций, галлий, кислород и по крайней мере один из элементов с валентностью более 3 (ниобий и германий) [2]

Целью изобретения является повышение структурного совершенства вещества.

Для этого вещество для подложек со структурой граната, содержащее в своем составе кальций, галлий, кислород и по крайней мере один из элементов с валентностью более 3, содержит элемент В с валентностью более 3 в октаэдрической подрешетке структуры граната и соответствует химической формуле

CaхByMzMeuO12-p, где М по крайней мере один из элементов с валентностью не более 3, входящих в октаэдрическую подрешетку структуры граната; Ме по крайней мере один из элементов с валентностью не менее 3, входящих в тетраэдрическую подрешетку структуры граната; 2,90 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435хвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,1; 0,05вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435y вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,79; 3 11вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 z + +uвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384354,91; рвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,04, при этом оно в качестве элемента В содержит ниобий и/или тантал и/или цирконий, а в качестве элемента М галлий и/или литий и/или магний, в качестве элемента Ме галлий и/или германий и/или кремний.

В частности, состав вещества может соответствовать одной из химических формул:

CaxByGa5-yO12-p, где 2,97вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435х вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,03; 12,4 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435y вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,7; р вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,04;

СaxByGauGevO12-p, где 2,97 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435х вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,03; 0,05 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435y вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,7; 1,8вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435u вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,6; 0,09 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435v вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384352,95; р вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,01;

СaxNbyLizGauO12-p, где 2,90вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435хвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; 1,71вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435yвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,79; 0,03 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435zвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,22; 2,90вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435uвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; рвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,01;

CaxTayLizGauO12-p, где 3,00вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435хвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; 1,72вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435yвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,78; 0,05вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435z вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,22; 3,00вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435uвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; рвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,01;

CaxNbyZrqLizGauO12-p, где 2,90вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435хвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; 1,05вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435yвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,64; 0,45вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435qвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,99; 0,01вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435zвещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 0,05; 3,00вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435u вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; рвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,01;

CaxTayZrqLizGauO12-p, где 2,90вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435хвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; 1,03вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435yвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,66; 0,44 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435q вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,98; 0,01вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435z вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,05; 3,00 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435u вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; рвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,01;

CaxNbyMgrLizGauO12-p, где 2,90вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435хвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; 1,65вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435y вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,70; 0,16 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435rвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,32; 0,01вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435zвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,05; 3,00вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435u вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; рвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,1;

CaxTayMgrLizGauO12-p, где 2,90вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435хвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; 1,64вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435yвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,71; 0,15вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 r вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,31; 0,01вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435zвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,05; 0,03вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 uвещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 3,10; р вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,01;

CaxNbyLizGevGauO12-p, где 3,00вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435хвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; 1,35вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435yвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,77; 0,02вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435vвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384351,17; 0,01 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435zвещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 0,05; 1,90 вещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 u вещество для подложек со структурой граната, патент № 20384353,10; рвещество для подложек со структурой граната, патент № 20384350,01.

Достижение цели изобретения обусловлено следующим. Для прототипа характерно наличие дефектов типа "белой фазы". Введение в состав вещества ниобия или тантала в количестве не менее y 0,05 атома на формульную единицу граната (ф. е), как показал опыт, позволяет полностью исключить дефекты указанного типа. При этом в веществе могут образовываться кислородные вакансии в количестве до р 0,04 ф.е. Уменьшить плотность вакансий удалось, вводя в состав вещества литий в количестве до z 0,22 ф.е. Свойства вещества слабо меняются, если в его состав вводят четырехвалентные ионы германия и циркония, а также двухвалентные ионы магния.

Монокристаллы предлагаемого вещества выращивали по методу Чохральского при 1690-1720 К из платинового тигля (если в составе вещества в качестве элемента В доминирует ниобий) или при 1770-1810 К из иридиевого тигля (если в составе вещества в качестве элемента В доминирует тантал). Результаты эксперимента показали, что наиболее оптимальными являются условия роста: скорость вытягивания 2-5 мм/ч, скорость вращения 60-80 об/мин, направление роста <100> для yвещество для подложек со структурой граната, патент № 2038435 0,8 ф.е. и <111> для y>0,8 ф.е. скорость потока кислорода через реакционный объем 0,5-2 л/мин, отношение диаметра кристалла к диаметру тигля не более 0,6. Выращенные кристаллы имели диаметр до 80 мм, причем из расплава переходило в кристалл до 75% вещества. В зависимости от содержания ниобия и/или тантала параметр кристаллической решетки изменялся по линейному закону в диапазоне 1,225-1,251 нм.

Возможность получения подложек с любым параметром решетки в указанном интервале упрощает оптимизацию параметров МПФГ, поскольку согласование параметров решетки пленки и подложки обеспечивается не вариацией параметра решетки пленки, а вариацией параметра решетки подложки.

Примеры конкретного выполнения вещества для подложек со структурой граната приведены в таблице.

Класс C30B29/28 с формулой A3Me5O12, где A - редкоземельный металл, а Me - Fe, Ga, Sc, Cr, Co или Al, например гранаты

монокристалл граната, оптический изолятор и оптический процессор -  патент 2528669 (20.09.2014)
монокристалл, способ его изготовления, оптический изолятор и использующий его оптический процессор -  патент 2527082 (27.08.2014)
магнитооптический материал -  патент 2522594 (20.07.2014)
способ получения алюмоиттриевого граната, легированного редкоземельными элементами -  патент 2503754 (10.01.2014)
способ выращивания алюмо иттриевого граната, легированного ванадием -  патент 2501892 (20.12.2013)
способ соединения деталей из тугоплавких оксидов -  патент 2477342 (10.03.2013)
прозрачный керамический материал и способ его получения -  патент 2473514 (27.01.2013)
лазерный материал -  патент 2395883 (27.07.2010)
лазерный материал -  патент 2391754 (10.06.2010)
pr-содержащий сцинтилляционный монокристалл, способ его получения, детектор излучения и устройство обследования -  патент 2389835 (20.05.2010)

Класс H01F10/28 отличающиеся составом подложки

Наверх