устройство для бесконтактного измерения сопротивления проводящего слоя на непроводящей подложке
Классы МПК: | H01L21/66 испытания или измерения в процессе изготовления или обработки |
Автор(ы): | Белов А.А., Бухалов Л.Л., Филаретов Г.А., Яковлев А.С. |
Патентообладатель(и): | Всесоюзный научно-исследовательский институт радиоаппаратуры |
Приоритеты: |
подача заявки:
1992-08-10 публикация патента:
20.07.1995 |
Использование: для контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Сущность изобретения: устройство предназначено для измерения сопротивления структур, представляющих собой проводящий слой, расположенный на непроводящей подложке, посредством включения образца в колебательный контур, настраиваемый в резонанс. Электроды устройства выполнены плоскими с кольцевыми зазорами между ними и расположены в одной плоскости. Измерения являются бесконтактными и позволяют исключить эффект растекания тока. 1 ил.
Рисунок 1
Формула изобретения
УСТРОЙСТВО ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО СЛОЯ НА НЕПРОВОДЯЩЕЙ ПОДЛОЖКЕ, содержащее настраиваемый в резонанс колебательный контур и соединенные с ним два электрода, отличающееся тем, что электроды выполнены плоскими с кольцевым зазором между ними и расположены в одной плоскости.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для входного и межоперационного контроля активных слоев на полуизолирующих подложках при изготовлении интегральных схем. В современной микроэлектронике величина поверхностного сопротивления Rs, создаваемого проводящим слоем на полуизолирующей подложке, измеряется зондовыми методами, требующими наличия омического контакта с измеряемой поверхностью. Для создания такого контакта, например, к арсениду галлия необходимо формирование измерительной структуры на рабочей стороне пластины [1]Известны бесконтактные способы измерения сопротивления полупроводников, использующие включение измеряемого образца в колебательный контур, присоединенный к генератору токов высокой частоты (ВЧ), и емкостную связь соответствующих элементов контура с образцом [2]
Прототипом заявляемого технического решения является устройство, содержащее колебательный контур LC, собственная частота которого несколько превышает частоту колебаний, генерируемых ВЧ-источником. Параллельно контуру включен с помощью емкостной связи образец контролируемого полупроводника. Связь осуществляется с помощью накидных металлических зажимов или U-образных гнезд, куда укладывается образец. Поверхность образца и зажим можно рассматривать как обкладки конденсатора. Изменяя эту емкость связи (которая для этого должна быть выполнена переменной), добиваются настройки контура в резонанс с генератором. Измеряя амплитудное значение напряжения, расчетом определяют величину сопротивления образца. При этом рабочая частота f и С определяются тем, каковы должны быть измеряемые значения сопротивления:
f 1/2
![устройство для бесконтактного измерения сопротивления проводящего слоя на непроводящей подложке, патент № 2040074](/images/patents/432/2040001/960.gif)
Описанное устройство предназначено для измерения удельного сопротивления образцов объемно-проводящего материала, имеющих форму стержней круглого сечения, и неприменимо для измерения сопротивления проводящего слоя Rs в силу того, что в случае плоского образца электроды должны быть плоскими и располагаться с целью бесконтактных измерений с обратной стороны пластины; для образца, представляющего собой проводящий слой на непроводящей подложке, измеряемое сопротивление определяется не только искомой величиной
Rs
![устройство для бесконтактного измерения сопротивления проводящего слоя на непроводящей подложке, патент № 2040074](/images/patents/432/2040003/961.gif)
![устройство для бесконтактного измерения сопротивления проводящего слоя на непроводящей подложке, патент № 2040074](/images/patents/432/2040003/961.gif)
RS= R
![устройство для бесконтактного измерения сопротивления проводящего слоя на непроводящей подложке, патент № 2040074](/images/patents/432/2040074/2040074t.gif)
![устройство для бесконтактного измерения сопротивления проводящего слоя на непроводящей подложке, патент № 2040074](/images/patents/432/2040074/9633.gif)
Класс H01L21/66 испытания или измерения в процессе изготовления или обработки