способ изготовления покрытия носителей магнитной записи

Формула изобретения

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НОСИТЕЛЕЙ МАГНИТНОЙ ЗАПИСИ, включающий ионно-плазменное осаждение кобальта в атмосфере смеси газов, содержащий аргон, отличающийся тем, что осаждение осуществляют при наличии азота с содержанием в смеси 8 10% и последующем напылении слоя титана.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к технике магнитной записи и может быть использовано при изготовлении покрытий носителей магнитной записи.

Наиболее близким к изобретению является способ изготовления магнитного покрытия, заключающийся в ионно-плазменном напылении кобальта в атмосфере смеси газов аргона и кислорода.

Однако, в известном способе наличие кислорода в рабочей смеси газов способствует окислению напыляемого материала. Внедренные в формируемый слой окисленные фракции нарушают однородность запоминающей среды, что отрицательно сказывается на характеристиках носителя. Кислород, кроме того, приводит к коррозии элементов напылительного устройства. Полученные известным способом покрытия обладают низкой износостойкостью. Для улучшения их магнитных свойств требуется термический отжиг.

Предлагаемый способ изготовления покрытия носителя магнитной записи позволяет избежать окисления осаждаемого материала и коррозии элементов напылительной установки, повысить износостойкость носителя и упростить технологический процесс формирования покрытия носителя благодаря исключению операции термического отжига.

Предлагаемый способ реализуется последовательным ионно-плазменным распылением кобальта и титана в атмосфере азотно-аргоновой смеси при общем давлении 0,13-0,20 Па и содержании азота 8-10% При расстоянии от мишени до основы около 10 см и удельной рассеиваемой мощности магнетронов в зоне эрозии 30-150 Вт/см², обеспечиваются скорости осаждения кобальта и титана, соответственно, 0,25 и 1,0 нм/с. При напылении основа охлаждается потоком газовой смеси. Толщина полученного магнитного слоя составляет 0,1 мкм, защитного 0,08 мкм. При таких толщинах наносимых слоев коробление основы отсутствует. Напыленные таким образом покрытия обладают высокими магнитными и механическими свойствами. Благодаря отсутствию высокотемпературного термического отжига, в качестве основы могут быть использованы не только жесткие подложки (стекло, кварц и т.п.), но и гибкие нетермостойкие материалы, например, полиэтилентерефталат. Кроме того, реактивное распыление кобальта и титана производится без разгерметизации вакуумной камеры за один технологический цикл, что упрощает технологию, увеличивает выход изделия и позволяет получать носитель с высоким значением износостойкости, наличие защитного слоя нитрида титана не ухудшает магнитных свойств рабочего слоя.

При формировании покрытия предлагаемым способом осуществляется однородное распределение кобальта и азота по толщине слоя. При содержании азота в газовой среде более 10% магнитные свойства осаждаемого материала ухудшаются. При давлении в камере выше 0,20 Па увеличивается неоднородность магнитного слоя. При давлении ниже 0,13 Па ограничивается плотность ионного тока, что снижает скорость осаждения и ведет к уменьшению коэрцитивной силы осажденного магнитного слоя, что связано с изменением подвижности доменных стенок на включениях. По мере роста содержания азота в газовой среде увеличивается изоляции частиц кобальта нитридными прослойками, в результате чего средний размер таких частиц уменьшается, а коэрцитивная сила увеличивается.

Наработка на отказ носителя с защитным слоем из нитрида титана составляет 2.10⁴ прохода по тракту канала записи-считывания.