тонкопленочный электролюминесцентный индикатор
Классы МПК: | H05B33/22 отличающиеся по химическому составу или физической структуре или расположению вспомогательных диэлектрических и(или) отражающих слоев |
Автор(ы): | Корж И.А. |
Патентообладатель(и): | Омский научно-исследовательский институт приборостроения |
Приоритеты: |
подача заявки:
1994-03-14 публикация патента:
20.10.1996 |
Использование: изобретение относится к области оптоэлектроники и может быть использовано при производстве тонкопленочных электролюминесцентных индикаторов. Сущность: изобретение направлено на устранение кристаллизации буферных диэлектрических пленок, расположенных между пленкой люминофора и диэлектрическими пленками - верхней и нижней при высокотемпературных обработках. В качестве буферных диэлектрических слоев используются стеклянные пленки SiO2-Al2O3-B2O3-BaO следующего состава по массе: SiO2 50,8%; Al2O3 9,4%, B2O3 21,8%, BaO 18,0%.
Формула изобретения
Тонкопленочный электролюминесцентный индикатор, имеющий между пленками люминофора и диэлектрическими пленками дополнительно тонкие буферные диэлектрические слои, отличающийся тем, что в качестве дополнительных буферных слоев используются пленки стекла SiO2 Al2O3 - B2O3 BaO, мас. SiO2 50,8Al2O3 9,4
B2O3 21,8
ВаO 18
Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к области оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных электролюминесцентных индикаторов и экранов. Известен тонкопленочный электролюминесцентный индикатор, в котором между пленкой люминофора и нижней и верхней пленкой диэлектрика размещен буферный слой из диэлектрика двуокиси кремния, толщиной 30-50 нм [1] Это позволяет уменьшить деградацию индикатора в процессе работы, а также повысить электрическую прочность электролюминесцентных ячеек индикатора. Недостатком такого индикатора является то, что коэффициент линейного термического расширения пленок двуокиси кремния SiO2 чрезвычайно мал (5![тонкопленочный электролюминесцентный индикатор, патент № 2068224](/images/patents/404/2068002/183.gif)
![тонкопленочный электролюминесцентный индикатор, патент № 2068224](/images/patents/404/2068002/183.gif)
![тонкопленочный электролюминесцентный индикатор, патент № 2068224](/images/patents/404/2068002/183.gif)
Класс H05B33/22 отличающиеся по химическому составу или физической структуре или расположению вспомогательных диэлектрических и(или) отражающих слоев