устройство для выращивания монокристаллов
Классы МПК: | C30B15/02 добавлением к расплаву кристаллизующегося материала или реагентов, образующих его непосредственно в процессе |
Автор(ы): | Жвирблянский В.Ю., Кац-Ванхадло Г.С., Золотова Г.А. |
Патентообладатель(и): | Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет" |
Приоритеты: |
подача заявки:
1994-06-10 публикация патента:
10.02.1997 |
Устройство для выращивания монокристаллов, включающее камеру роста, тигель для расплава, расположенный в полости нагревателя и, средство подачи исходного материала в тигель в виде установленных в герметичном корпусе с загрузочным люком поворотного контейнера, питателя и вакуумного шибера, отличающееся тем, что корпус выполнен из двух камер, в одной из которых расположен поворотный контейнер, а в другой - питатель, и снабжен установленным между камерами бункером - накопителем с датчиком уровня материала, а вакуумный шибер закреплен в верхней части бункера.
Описание изобретения к патенту
Класс C30B15/02 добавлением к расплаву кристаллизующегося материала или реагентов, образующих его непосредственно в процессе