способ изготовления катодолюминесцентного экрана электронно- оптического преобразователя
Классы МПК: | H01J9/22 нанесение люминесцентных покрытий |
Автор(ы): | Гершкович Р.М., Степанов В.П. |
Патентообладатель(и): | Акционерное общество открытого типа "Катод" |
Приоритеты: |
подача заявки:
1994-04-05 публикация патента:
27.02.1997 |
Использование: электровакуумная техника, в частности производство люминесцентных экранов для электронно-оптических преобразователей. Сущность изобретения: на подложку наносят слой люминофора, закрепляют его и наносят органическую пленку с последующим ее прогревом в вакууме, а затем - слой алюминия, после чего органическую пленку выжигают. Слой алюминия наносят в атмосфере аргона при давлении в камере (7,0 - 9,0)
10-6 тор методом магнетронного распыления на предварительно прогретый до 170 - 180oC экран.
![способ изготовления катодолюминесцентного экрана электронно- оптического преобразователя, патент № 2074446](/images/patents/398/2074011/183.gif)
Формула изобретения
Способ изготовления катодолюминесцентного экрана электронно-оптического преобразователя, включающий нанесение на подложку слоя люминофора, нанесение органической пленки, нанесение проводящего слоя алюминия, выжигание органической пленки, отличающийся тем, что проводящий слой алюминия наносят в атмосфере аргона при давлении в камере (7,0 9,0)![способ изготовления катодолюминесцентного экрана электронно- оптического преобразователя, патент № 2074446](/images/patents/398/2074011/183.gif)
Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к электровакуумной технике, в частности, к производству люминесцентных экранов для электронно-оптических преобразователей. Известен способ изготовления катодолюминесцентного экрана, включающий нанесение на подложку слоя люминофора, нанесение органической пленки, нанесение проводящего слоя алюминия методом вакуумного напыления и выжигание органической пленки (Берковский А.Г. Гаванин В.А. Зайдель Н.Н. Вакуумные фотоэлектронные приборы, М. Энергия, 1976 г. с. 270 273). Недостатком известного способа изготовления экрана является то, что проводящий слой алюминия не обладает стойкостью к температурным воздействиям в высоком вакууме. Известен также способ изготовления катодолюминесцентного экрана, включающий нанесение на подложку слоя люминофора, нанесение органической пленки, нанесение проводящего слоя алюминия методом термического распыления в вакууме, выжигание органической пленки (Шехмейстер Е.И. Общая технология электровакуумного производства, М. Высшая школа, 1984 г. с. 104 109, 124 - 132, прототип). Недостатком известного способа изготовления катодолюминесцентного экрана является невысокое качество экрана из-за низкой стойкости проводящего слоя алюминия к температурным воздействиям в высоком вакууме, что в итоге приводит к браку по чистоте поля зрения и разрешающей способности экрана электронно-оптического преобразователя. Техническое решение направлено на улучшение качества катодолюминесцентного экрана за счет повышения стойкости проводящего слоя алюминия к температурным воздействия в высоком вакууме. Предлагаемый способ изготовления катодолюминесцентного экрана включает нанесение на подложку слоя люминофора, нанесение органической пленки, прогрев органической пленки в вакууме и нанесение проводящего слоя алюминия, выжигание органической пленки. Предлагаемый способ изготовления катодолюминесцентного экрана электронно-оптического преобразователя отличается от прототипа тем, что проводящий слой алюминия наносят в атмосфере аргона при давлении в камере (7,0 9,0)![способ изготовления катодолюминесцентного экрана электронно- оптического преобразователя, патент № 2074446](/images/patents/398/2074011/183.gif)
![способ изготовления катодолюминесцентного экрана электронно- оптического преобразователя, патент № 2074446](/images/patents/398/2074011/183.gif)
![способ изготовления катодолюминесцентного экрана электронно- оптического преобразователя, патент № 2074446](/images/patents/398/2074003/177.gif)
Класс H01J9/22 нанесение люминесцентных покрытий