голографический способ определения макрорельефа поверхности объекта
Классы МПК: | G01B9/021 с использованием голографических устройств |
Автор(ы): | Александров Сергей Алексеевич[BY], Танин Леонид Викторович[BY] |
Патентообладатель(и): | Научно-инженерный центр "ЛЭМТ" (BY) |
Приоритеты: |
подача заявки:
1992-11-11 публикация патента:
20.03.1997 |
Голографический способ определения макрорельефа поверхности объекта, включающий освещение когерентным излучением исследуемой поверхности объекта, помещенного в иммерсионную среду, последовательную регистрацию от i = 1 до i = K голограмм поверхности, где K > 2, изменяя перед каждой новой регистрацией показатель преломления иммерсионной среды на одинаковую величину, восстановление голограмм, регистрацию полученной интерфереционной контурной карты и определение по ней макрорельефа поверхности объекта, отличающийся тем, что одновременно с регистрацией каждой i-й голограммы дополнительно регистрируют еще одну j-ю голограмму, где j изменяется от j = 1 до j = K, при помощи одного из двух дополнительных опорных световых пучков когерентного излучения, пространственно разделенных между собой и пространственно отличающихся от опорного пучка, используемого для записи i - й голограммы, а восстановление всех 2K голограмм осуществляют линейно поляризованными пучками когерентного излучения, причем для восстановления дополнительно зарегистрированных голограмм используют пучки ортогонально поляризованные по отношению к пучку, применяемому для восстановления i-х голограмм и при восстановлении по крайней мере одной из К - 1 дополнительно зарегистрированных голограмм используют пучок когерентного излучения с регулируемым фазовым сдвигом.
Описание изобретения к патенту
Класс G01B9/021 с использованием голографических устройств