оптическое стекло
Классы МПК: | C03C3/064 содержащие бор |
Автор(ы): | Щавелев О.С., Головина О.А., Петровский Г.Т., Глебов Л.Б. |
Патентообладатель(и): | Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения Всероссийского научного центра "Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова" |
Приоритеты: |
подача заявки:
1993-08-02 публикация патента:
20.04.1997 |
Использование: для электронной и оптиэлектронной техники, в частности фотолитографии. Сущность изобретения: оптическое стекло содержит в мас.%: оксид кремния 20 - 40 БФ SiO2, оксид бора 25 - 40 БФ B2O3, оксид алюминия 13 - 22 БФ Al2O3, оксид магния 1-4 БФ MgO, оксид кальция 7 - 15 БФ СаО, по крайней мере один оксид из группы: оксид титана, оксид циркония, оксид олова, оксид гафния 1 - 6 БФ ТiO2, ZrO2, SnО2, НfO2. ТКЛР стекла (28 - 35)
107 1/град.с, группа химической устойчивости по ГОСТ 101.34.0-82 - 2. 1 табл.
Рисунок 1
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077008/183.gif)
Формула изобретения
1 Оптическое стекло, включающее SiO2, B2O3, Al2O3, оксид щелочноземельного металла, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит по крайней мере один оксид из группы TiO2, ZrO2, SnO2, HfO2, а в качестве оксида щелочноземельного металла CaO, MgO при следующем содержании компонентов, мас.3 SiO27 20 403 В2О37 25 403 Al2O37 13 223 MgO7 1 43 СаО7 7 153 По крайней мере один оксид из группы TiO2, ZrO2, SnO2, HfO27 1 6Описание изобретения к патенту
Настоящее изобретение относится к составам стекол на основе оксидов кремния, алюминия, бора, несодержащих щелочные компоненты. В последнее время для решения задач электронной и оптиэлектронной техники, в частности фотолитографии, требуются стекла высокого оптического качества, имеющие:небольшой (
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077035/8773.gif)
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077008/183.gif)
высокие термомеханические и прочностные характеристики (термостойкость
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077351/948.gif)
где
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077046/963.gif)
Е модуль Юнга,
высокую химическую устойчивость. Для указанных целей используется оптическое стекло ЛК 5, относящееся к пирексам [1]
Это стекло обладает самым малым для оптических стекол (за исключением кварцевого стекла) значением ТКЛР и самым большим значением термостойкости. Однако оно имеет очень высокую температуру в области вязкости 100 пуаз, при которой происходит осветление стекломассы, т.е. очень высокую температуру варки. Это делает стекло ЛК 5 очень "трудным" с технологической точки зрения и не позволяет получить из этого стекла изделий высокого качества по бессвильности, пузырям и включениям. Наиболее близким по составу к заявляемому стеклу является стекло [2] которое содержит в мас. SiO2 50 62
B2O3 15 25
Al2O3 12 22
SnO2 5 8
по крайней мере один оксид из группы PbО, BaO 0,5 5. Это стекло разработано на основе старых, традиционных принципов выбора состава стекла с повышенной термической и химической прочностью. Это стекла обладает более высокой термической стойкостью, чем многие промышленные силикатные стекла, однако его термостойкость в два раза меньше, чем у пирекса. По методике, принятой в оптикомеханической промышленности для образцов, размером 60 х 9 х 9 мм, термостойкость стекла [2]
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077351/948.gif)
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077008/183.gif)
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077001/945.gif)
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077008/183.gif)
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077046/963.gif)
B2O3 25 40
Al2O3 13 22
MgO 1 4
СаО 7 15
причем суммарное содержание RO2 1-6, где R элемент из группы Тi, Zr, Sn, Нf. Заявляемое стекло относится к другой области составов базовой системы SiO2 B2O3 Al2O3. Оно содержит значительно меньше SiO2 и существенно больше B2O3. Т.е. является не боросиликатным, а силикоборатным, что является основной причиной высокой предельной упругой деформации, т.к. при высоком содержании оксидов бора и алюминия ионы бора строят полимерную структуру из треугольников (ВО3), в которых ион бора трехкоординирован. Предлагаемое стекло содержит меньше оксидов четвертой группы, что также принципиально важно, т. к. при введении больших количеств этих компонентов, в наибольшей степени повышающих модуль упругости, при относительно мало изменяющемся пределе прочности величина предельной упругой деформации
![оптическое стекло, патент № 2077513](/images/patents/395/2077046/963.gif)
Класс C03C3/064 содержащие бор
стекло (варианты) - патент 2443641 (27.02.2012) | |
стекло для изготовления бисера - патент 2432327 (27.10.2011) | |
стекло - патент 2430023 (27.09.2011) | |
стекло - патент 2425809 (10.08.2011) | |
способ получения окислительно-восстановительной стеклообразной фритты - патент 2409526 (20.01.2011) | |
стекло - патент 2400439 (27.09.2010) | |
стекло для изготовления бисера - патент 2392238 (20.06.2010) | |
стекло - патент 2328458 (10.07.2008) | |
стекловидное покрытие - патент 2322409 (20.04.2008) | |
стекло - патент 2306266 (20.09.2007) |