пароструйный вакуумный насос
Классы МПК: | F04F9/02 многоступенчатые |
Автор(ы): | Ребров А.К. |
Патентообладатель(и): | Институт теплофизики СО РАН |
Приоритеты: |
подача заявки:
1994-10-14 публикация патента:
20.05.1997 |
Использование: в вакуумной технике, в частности в пароструйных вакуумных насосах, позволяет уменьшить величину обратного потока паров рабочей жидкости и расширить технологические возможности насоса. Сущность изобретения: насос содержит цилиндрический корпус 1 и установленный соосно с ним паропровод 2 с активным сверхзвуковым соплом 3, наружная стенка 4 которого сужается в направлении выхода из сопла. Концентрично ему с зазором установлен охлаждаемый экран 5, прикрытый сверху горячим экраном 6 для исключения молекулярного потока на корпус из щели между стенкой сопла и экраном 5, а также с поверхности экрана 5. 1 ил.
Рисунок 1
Формула изобретения
Пароструйный вакуумный насос, содержащий корпус, установленный в нем паропровод с кольцевым активным соплом, наружная стенка которого выполнена сужающейся к выходу, концентрично расположенный охлаждаемый экран для снижения обратного потока паров рабочей жидкости, отличающийся тем, что охлаждаемый экран устанавливается под наружной стенкой сопла с зазором, который перекрывается горячим экраном до полной оптической непросматриваемости со стороны входа в насос.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в качестве эффективного средства откачки в установках различного назначения, в частности в установках вакуумного напыления, термообезгаживания, плазменного упрочнения и т.п. Известны диффузионные паромасляные насосы, содержащие охлаждаемый корпус с кипятильником в нижней части и паропроводом по оси, снабженным соплом [1]Наиболее существенным недостатком этих насосов является наличие значительного потока паров рабочей жидкости (вакуумного масла) в откачиваемый объем, обусловленного спецификой расширения паровой струи верхнего сопла в области высокого вакуума. Указанный недостаток частично преодолевается постановкой охлаждаемых кольцевых щитков концентрично с соплом первой ступени [2] Недостатком таких устройств и других применяемых маслоотражательных устройств является то, что они открыты для прямой видимости из входного отверстия и даже из откачиваемого объема и их поверхность, смоченная рабочей жидкостью, является дополнительным источником паров в откачиваемый объем, имитирующим молекулы при температуре упомянутой поверхности, охлаждаемой принудительно или радиационно. Обратный поток паров рабочей жидкости существенно снижен в многоступенчатом пароструйном вакуумном насосе, описанном в [3]
Снижение обратного потока паров рабочей жидкости в этом насосе достигнуто за счет специальной формы сопла, наружная стенка которого сужается к выходу. Неустраненным недостатком прототипа является наличие разворота периферийной части паровой струи в направлении откачиваемого объема, что дает заметный вклад в обратный поток паров рабочей жидкости. Величина этого способа значительно меньше, чем у аналогов, но все же составляет величину порядка 1

