способ сорбции остаточного газа, в частности газообразного азота посредством неиспаренного бариевого газопоглотительного сплава
Классы МПК: | H01J7/18 устройства для абсорбции или адсорбции газа, например с помощью газопоглотителей |
Автор(ы): | Клаудио Боффито[IT], Антонио Скиабел[IT] |
Патентообладатель(и): | САЕС Геттерс С.п.А. (IT) |
Приоритеты: |
подача заявки:
1992-08-24 публикация патента:
20.06.1997 |
Использование: для сорбции нежелательного газа в объеме посредством неиспаренного бариевого газопоглотителя. Сущность изобретения: способ включает стадии измельчения сплава Ba1-xAxLi4-yBy до размера частиц менее 5 мм в вакууме или атмосфере инертного газа и последующего помещения измельченного сплава в объем. При подвергании измельченного сплава действию остаточного газа в объеме при температуре ниже 150oC газ сорбируется. Металл A представляет собой металл, выбранный из группы, состоящей из элементов группы IIa Периодической системы элементов, за исключением бария. Металл B выбирают из группы, состоящей из элементов группы IIIa Периодической системы элементов, за исключением бария. Металл B выбирают из группы, состоящей из элементов группы IIIA Периодической системы элементов и магния. Предпочтительно 0
x
0,5, а 0
y
3,5. 2 с. и 12 з.п.ф-лы, 20 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12, Рисунок 13, Рисунок 14, Рисунок 15, Рисунок 16, Рисунок 17, Рисунок 18, Рисунок 19, Рисунок 20




Формула изобретения
1. Способ сорбции остаточного газа в сосуде неиспаренным бариевым геттерным сплавом, отличающийся тем, что состоит из стадий: а) восстановления сплава Ba1-x AxLi4-yBy до частиц в вакууме или инертном газе для получения восстановленного сплава, б) помещения восстановленного сплава в сосуд и в) помещения восстановленного сплава в остаточный газ при температуре ниже 150oС, при этом A является металлом, выбранным из группы, состоящей из элементов группы IIа Периодической таблицы элементов, исключая барий, В является металлом, выбранным из группы, состоящей из элементов группы IIIа Периодической таблицы элементов и магния, x не больше 0,8 и y не больше 3,5. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что стадия в) включает в себя контактирование восстановленного сплава с остаточным газом при 50 150oC в течение по крайней мере 10 мин и затем понижение температуры ниже 50oC. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что А является металлом, выбранным из группы, состоящей из магния, кальция и стронция. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что L является металлом, выбранным из группы, состоящей из бора, алюминия и магния. 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что x не более 0,5. 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что неиспаренный бариевый геттерный сплав содержит сплав Ba0,75 Ca0,25 Li4. 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что неиспаренный бариевый геттерный сплав содержит сплав Ba0,5 Ca0,5 Li4. 8. Способ по п.1, отличающийся тем, что неиспаренный бариевый геттерный сплав содержит BaLi3Al. 9. Способ по п.1, отличающийся тем, что восстановленный сплав имеет размер частиц меньше 5 мм. 10. Способ по п. 9, отличающийся тем, что восстановленный сплав имеет размер частиц меньше 1 мм. 11. Способ сорбции остаточного газа в сосуде неиспаренным бариевым геттерным сплавом, отличающийся тем, что состоит из стадий: а) восстановления сплава BaLi4 до частиц в вакууме или инертном газе для получения восстановленного сплава, б) помещения восстановленного сплава в сосуд и в) помещения восстановленного сплава в остаточный газ при температуре ниже 150oC. 12. Способ по п. 11, отличающийся тем, что стадия в) включает в себя контактирование восстановленного сплава с остаточным газом при 50 150oC в течение по крайней мере 10 мин и затем понижение температуры ниже 50oC. 13. Способ по п.11, отличающийся тем, что восстановленный сплав имеет размер частиц меньше 5 мм. 14. Способ по п.13, отличающийся тем, что восстановленный сплав имеет размер частиц меньше 1 мм.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к способу сорбирования остаточных газов посредством неиспаренного бариевого газопоглотителя. Бариевые газопоглотители хорошо известны в данной области техники. В виде более или менее чистого элемента барий помещали в металлический контейнер для того, чтобы защитить его от взаимодействия с атмосферой. Затем, при необходимости использования, его загружали в вакуумное устройство, где после частичного вакуумирования и отпаивания устройства вызывали испарение бария. После испарения барий осаждался в виде тонкой пленки внутри вакуумного устройства, где сорбировал остаточные или нежелательные газы в течение всего срока службы устройства. Было обнаружено, что, выделяя барий, эти газопоглотительные устройства выделяют также большое количество нежелательных газов, скопившихся в устройстве во время хранения или при манипулировании. Это обусловливалось тем, что газопоглотительное вещество представляло собой барий в виде элемента, который является реакционноспособным по отношению к газам. Для того, чтобы уменьшить реакционную способность бария, его впоследствии сплавляли с одним или более металлами. Такие сплавы, кроме прочих, представляли собой Ba-Mg, Ba-Sr-Mg, Ba-Mg-Al (см. например: Getterstoff and Inwendungin the Hochvaruumtechnik M.Littmann, E. Winter"sehe verlagshand Jung. Leipzig, 1939). Одним из наиболее удачных был сплав BaAl4, содержащий от 40 до 60 мас. бария. Подобный сплав является очень инертным и, как и в случае всех инертных бариевых сплавов, его необходимо испарить до того, как он сможет сорбировать газы. При помощи применения нагрева к сплаву BaAl4 как таковому можно вызвать его диссоциацию и выделение бария, однако в последнее время широко распространенным стало смешивание BaAl4 с практически равным весовым количеством никеля. Эти два вещества в порошкообразном виде при нагревании экзотермически взаимодействуют, образуя твердый остаток Ni-Al и испаренный Ba. Однако эти газопоглотительные вещества необходимо нагреть до около 800oC, прежде чем начнется экзотермическая реакция, после чего они достигают 1000oC и более, когда при экзотермическом взаимодействии происходит внезапное выделение тепла. В патентной публикации Японии N SHO 42-4123 сплав бария и алюминия /около 50% Ba/ смешивают с предпочтительно 15 мас. порошкообразного олова для получения газопоглотителей. Указанные газопоглотители нагревают посредством высокочастотной электрической индукции до около 600oC в течение одной минуты при вакуумировании. Считают, что в результате взаимодействия, которое можно осуществить при помощи указанного нагревания, из сплава алюминия и бария посредством реакции алюминия и олова можно получить BaSn2 или свободный барий. В любом случае смешанное газопоглотительное вещество из барийалюминиевого сплава и олова, устойчивое при нормальной температуре, активируется и абсорбирует газы при нормальной температуре. Тем не менее имеет место процесс нагревания, требующий температур в несколько сотен градусов Цельсия. Кроме того, имеет место неконтролируемая химическая реакция. Другое семейство газопоглотительных устройств было основано на элементах циркония или титана. Среди этих газопоглотительных устройств имеются порошкообразные Zr 84% Al 16% Zr2Fe и Zr2Ni. Они известны как неиспаренные газопоглотители, поскольку не требуют испарения никаких элементов, являющихся их компонентами, для того, чтобы они стали способны сорбировать газ. Однако они все-таки требуют нагревания до высокой температуры для того, чтобы сделать их газосорбирующими. Это обусловливается тем, что они покрыты поверхностными слоями оксидов и нитридов, которые пассивируют их и делают неактивными. При нагревании в вакууме пассивирующие слои диффундируют в массу вещества, и поверхность становится чистой и активной. Этот процесс нагревания обычно происходит при высокой температуре, например 900oC, в течение около 10-30 секунд. Эту температуру можно понизить, но потребуется больше времени, например несколько часов при 500oC. Совсем недавно были использованы неиспаренные газопоглотители на основе Zr-V. Такие сплавы, как Zr-V-Fe и Zr-V-Ni, получили повсеместное признание как активируемые при "низкой температуре" неиспаренные газопоглотители. Под активируемыми при низкой температуре подразумевают, что значительная часть их газопоглотительной активности становится доступной уже за относительно короткое время при умеренных температурах. Полагают, что это обусловливается легкостью, с которой поверхностные слои пассивирующих веществ могут диффундировать в массу вещества при этих относительно низких температурах. Независимо от причины их способности становиться активными при этих относительно низких температурах, равных 400-500oC, это все же может быть нежелательно высокая температура при многих обстоятельствах. Все эти газосорбирующие вещества использовали в смеси с другими веществами, как газосорбирующими, так и нет, пытаясь снизить их температуру активации. Есть много случаев, при которых желательно удалить нежелательные газы из объема, который ни при каких обстоятельствах нельзя подвергать действию высокой температуры. Это может быть, например, случай, когда объем сделан из органического пластика или содержит компоненты органического пластика. Органический пластик может плавиться. Даже если органические пластики не плавятся, они могут достигать такой температуры, что начинают разлагаться или, по крайней мере, выделять большое количество газа, который может представлять собой углеводороды или другие органические газы. Если они сорбируются газопоглотительным веществом, это вызывает преждевременное прекращение его работы, поскольку оно обладает ограниченной газопоглотительной способностью или способностью сорбировать неизменное количество газа. Быстрая сорбция большого количества газа уменьшает его способность сорбировать газ позднее в течение срока службы устройства, в котором его используют. Или же остается слишком высокое давление газа для того, чтобы устройство работало надлежащим образом. Эта температура может составлять вплоть до около 150oC. При этих и более низких температурах проблему может составлять проникновение кислорода и водяных паров, особенно азота. Для сорбции газовых примесей из загрязненных газовых потоков были предложены литийорганические смолы, однако их используют для очистки газообразного азота, а не для его сорбции (см. патенты США N 4603148 и N 4604270). Предполагали, что неиспаренные газопоглотители можно вводить в устройство в предварительно активированном виде, т.е. когда их уже прогрели до высокой температуры, равной около 600oC, и уже подвергли многим процессам обработки, например измельчению до определенного размера частиц, смешиванию с другими веществами, прессованию или формованию в гранулы. Поэтому целью настоящего изобретения является разработка способа сорбции остаточного газа в объеме, свободного от одного или более недостатков способов предшествующего уровня техники. Другой целью настоящего изобретения является разработка способа сорбции остаточного газа в объеме, не требующего активирования газопоглотительных веществ при температурах, превышающих 150oC. Следующей целью настоящего изобретения является разработка способа сорбции нежелательного газа в объеме, не требующего применения температур, превышающих 150oC. Еще одной целью настоящего изобретения является разработка способа сорбции остаточного газа в объеме, не требующего смешивания газопоглотителя с другими веществами. Другой целью настоящего изобретения является разработка способа сорбции остаточного газа в объеме, который можно использовать в объемах, сделанных из органического пластика. Следующей целью настоящего изобретения является разработка способа сорбции газообразного азота в объеме, сделанном из органического пластика или содержащем органический пластик. На рис. 1 показана в схематическом виде установка для измерения сорбционных свойств сплавов, полезных при осуществлении способа настоящего изобретения; на рис. 2 результаты опытов по сорбции N2 при 25oC, осуществляемых на сплаве настоящего изобретения BaLi4; на рис. 3 - результаты опытов по сорбции различных газов при 25oC, осуществляемых на сплаве настоящего изобретения BaLi4; на рис. 4 результаты опытов по сорбции N2 при различных температурах, осуществляемых на сплаве настоящего изобретения BaLi4; на рис. 5 результаты опытов по сорбции N2 при 25oC, осуществляемых на сплаве настоящего изобретения BaLi4; на рис. 6 скорость сорбции газа, полученная из кривых на рис. 2-5, как функция количества сорбированного газа; на рис. 7-9 результаты опытов по сорбции N2 при 25oC, осуществляемых на сплаве настоящего изобретения Ba0,75Ca0,25Li4; на рис. 10 -скорость сорбции газа, полученная из кривых на рис. 7-9, как функция количества сорбированного азота; на рис. 11-15 результаты опытов по сорбции N2 при 25oC, осуществляемых на сплаве настоящего изобретения Ba0,5Ca0,5Li4; на рис. 16 -скорость сорбции газа, полученная из кривых на рис. 11-15, как функция количества сорбированного азота; на рис. 17-18 результаты опытов по сорбции N2 при 25oC, осуществляемых на сплаве настоящего изобретения BaLi3Al; на рис. 19 -скорость сорбции газа, полученная из кривых на рис. 17-18, как функция количества сорбированного азота; на рис. 20 скорость сорбции газа для азота BaLi4 и традиционного газопоглотителя при различных температурах, полученная посредством методики, отличающейся от методики, использованной для получения кривых на рис. 6, 10, 16 и 19. Способ настоящего изобретения предусмотрен для сорбции остаточного газа в объеме посредством неиспаренного бариевого газопоглотителя. Он включает стадии измельчения сплава Ba1-xAxLi4-yBy предпочтительно до размера частиц менее 5 мм в вакууме или в атмосфере инертного газа с последующим помещением измельченного сплава в объем. При подвергании измельченного сплава действию остаточного газа в объеме при температуре менее 150oC этот газ сорбируется. Металл А представляет собой металл, выбранный из группы, состоящей из элементов группы IIa Периодической системы элементов, за исключением бария. Металл B выбирают из группы, состоящей из элементов группы IIIa Периодической системы элементов и магния. Сплавы настоящего изобретения не нужно активировать, т.е. они уже способны сорбировать газы при комнатной температуре, и, кроме того, их не нужно испарять для получения пленки активного металла, например бария, прежде чем они будут сорбировать газ. Тем не менее их можно активизировать, нагревая до температуры, не превышающей 150oC. Это может быть между 50oC и 150oC в течение по крайней мере 10 минут с последующим уменьшением температуры ниже 50oC. Сплавы можно описать при помощи общей формулы Ba1-xAxLi4-yBy, где A представляет собой металл, выбранный из группы, состоящей из элементов группы IIа Периодической системы элементов, за исключением бария. Нумерация группы элементов соответствует принятой Американским Химическим Обществом. Таким образом, А может представлять собой кальций, магний и стронций, но предпочтительно является кальцием, поскольку кальций лишь немного менее реакционноспособен, чем барий. Магний и стронций являются менее предпочтительными из-за более низкой реакционной способности. Величина x может составлять вплоть до 0, так что металл группы IIа /за исключением бария/ не присутствует. С другой стороны, она может составлять вплоть до 0,8. Выше около 0,8 сплав начинает терять свою способность при комнатной температуре взаимодействовать с остаточным газом с достаточно высокой скоростью сорбции. Элемент B представляет собой любой металл, выбранный из группы, состоящей из элементов группы IIIa Периодической системы элементов и магния. Можно применять все элементы группы IIIa, например бор, но алюминий предпочтителен, поскольку он легко доступен, имеет относительно высокую температуру плавления и чрезвычайно дешев, в то время как галлий вблизи температур окружающей среды представляет собой жидкость. Индий имеет низкую температуру плавления и дороже алюминия, таллий высокотоксичен. Кроме того, 0




При сравнении кривой C с кривой A на рис. 20 и D с B видно, что сплавы, используемые в способах настоящего изобретения, имеют более высокую скорость газопоглощения (скорость сорбции) в тех случаях, когда они сорбировали большее количество азота, чем традиционные газопоглотительные сплавы. Кроме того, эти свойства получают после активации при значительно более низких температурах. Кроме того, рис. 6, 10, 16 и 19 показывают замечательную способность сорбировать большие количества азота и других газов. Хотя изобретение было описано очень подробно с указанием некоторых предпочтительных вариантов осуществления для того, чтобы научить специалистов в данной области техники, как наилучшим образом применять на практике настоящее изобретение, будет понятно, что другие модификации могут применяться без отклонения от смысла и объема приложенной формулы изобретения. Например, будет понятно, что небольшие количества лития можно заменить другими элементами из элементного ряда щелочных металлов, и особенно натрием и калием, без существенного влияния на свойства сплавов. Кроме того, хотя изобретение было описано и подтверждено примерами, исходя из стехиометрического соединения BaLi4, в формуле Ba1-xAxLi4-yBy будет допускаться некоторая степень отклонения от стехиометрии, например BaLi4

Класс H01J7/18 устройства для абсорбции или адсорбции газа, например с помощью газопоглотителей