плазменный ионный источник
Классы МПК: | H01J27/02 ионные источники; ионные пушки H01J49/26 масс-спектрометры или разделительные трубки |
Автор(ы): | Сихарулидзе Г.Г., Лежнев А.Е. |
Патентообладатель(и): | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН |
Приоритеты: |
подача заявки:
1994-06-16 публикация патента:
27.06.1997 |
Использование: электронная техника и аналитическая химия. Задача: повышение чувствительности анализа жидкостей и газов с одновременным упрощением и улучшением аппаратурного оформления. Сущность изобретения: плазменный ионный источник содержит разрядную камеру с входной щелью, по центральной оси которой через изолятор размещено устройство для подачи рабочего вещества, которое выполнено в виде капилляра. Источник высокого напряжения соединен с капилляром и с камерой. 1 ил.
Рисунок 1
Формула изобретения
Плазменный ионный источник, содержащий разрядную камеру с выходной щелью, по центральной оси которой через изолятор размещено устройство для подачи рабочего вещества, соединенное с разрядной камерой источником высокого напряжения, а также систему вытягивания и фокусировки ионов, отличающийся тем, что устройство для подачи рабочего вещества выполнено в виде капилляра.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к ионным источникам и может быть использовано в масс-спектрометрии для элементного анализа жидкостей и газов, в ионной технологии и т.п. Известны ионные источники [1] используемые в масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (ICP-масс-спектрометрия). В этом источнике анализируемая жидкость по капилляру подается в специальную камеру, в которой она распыляется и потоком аргона подается в специальную горелку, где с помощью специального высокочастотного генератора зажимается разряд, который генерирует ионы. Самый существенный недостаток таких источников заключается в том, что доля жидкости в потоке аргона и соответственно в общем ионном пучке не превышает 1% что ограничивает чувствительность анализа. Кроме того, ввод ионов в масс-анализатор из атмосферы требует вакуумную систему с высокой производительностью. Наиболее близким к изобретению является ионный источник, применяемый в масс-спектрометрии с тлеющим разрядом (D-масс-спектрометрии), содержащий разрядную камеру и устройство для подачи анализируемого образца в виде стержня. В камеру напускается аргон до давления 10 100 Па. Между образцом и разрядной камерой прикладывается напряжение около 1 кВ с отрицательной полярностью на образце. Образец располагается в разряде, атомы ионизируются, а затем анализируются в масс-спектрометре [2]Однако такой источник используется лишь для анализа твердых тел. Задача изобретения повышение чувствительности при анализе жидкости и газов с одновременным упрощением и удешевлением прибора. Задача решается тем, что в известном источнике, содержащем разрядную камеру с выходной цепью, по центральной оси которой через изолятор размещено устройство для подачи рабочего вещества, источник высокого напряжения и систему вытягивания и фокусировки ионов, новым является то, что устройство для подачи рабочего вещества выполнено в виде капилляра. Жидкость непосредственно из атмосферы подается через капилляр в разрядную камеру ионного источника, где между капилляром и разрядной камерой прикладывается высокое напряжение. Вследствие этого у торца капилляра зажигается пламенный факел, из которого вытягивают ионы, при этом чувствительность анализа повышается до 1
![плазменный ионный источник, патент № 2083020](/images/patents/389/2083004/183.gif)
Класс H01J27/02 ионные источники; ионные пушки
Класс H01J49/26 масс-спектрометры или разделительные трубки