устройство для неразрушающего контроля поверхности объекта
Классы МПК: | G01N21/86 исследование движущихся листовых материалов |
Автор(ы): | Карабутов А.А., Кубышкин А.П., Панченко В.Я. |
Патентообладатель(и): | Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам РАН |
Приоритеты: |
подача заявки:
1994-10-11 публикация патента:
10.07.1997 |
Использование: предназначено для измерения физических параметров и состояния поверхности объекта. Сущность изобретения: устройство содержит источник электромагнитного излучения с цилиндрической формирующей оптической системой, выполненной в виде цилиндрической линзы, приемник оптического излучения с фокусирующей оптической системой, выполненной в виде цилиндрической линзы, подключенный к блоку обработки информации, блок сканирования - систему линейного перемещения в направлении, перпендикулярном осям цилиндрических линз. Источник оптически связан с поверхностью объекта, а приемник оптически связан через фокусирующую систему с участком поверхности, расположенным по ходу линейного перемещения перед зоной взаимодействия источника с поверхностью объекта, причем продольная ось участка параллельна оси цилиндрической формирующей оптической системы. В качестве приемника использован матричный приемник с осью расположения элементов, параллельной осям цилиндрических линз. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Рисунок 1
Формула изобретения
1. Устройство для неразрушающего контроля поверхности объекта, содержащее источник излучения и установленные по ходу излучения формирующую оптическую систему, блок сканирования объекта, фокусирующую оптическую систему, приемник оптического излучения, выход которого связан с блоком обработки информации, отличающееся тем, что формирующая и фокусирующая оптические системы выполнены в виде цилиндрической линзы, формирующих полосу излучения шириной 2А, длиной L с осями, проходящими посредине полос, параллельными осям цилиндрических линз, при этом 2А << L, блок сканирования снабжен системой линейного перемещения объекта в направлении, перпендикулярном к осям цилиндрических линз, со скоростью, определяемой из условия V C1(x/a), где C1 - коэффициент, лежащий в диапазоне 1 2, x температуропроводность материала объекта, а расстояние между осями, проходящими посредине полос, полученных на объекте, равно d C2 a, где C2 коэффициент, лежащий в диапазоне 1 2. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в качестве приемника оптического излучения использован матричный приемник с осью расположения элементов, параллельной осям цилиндрических линз.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к метрологии измерению физических параметров и состояния объекта. Известно устройство для неразрушающего контроля поверхности объекта, содержащее источник лазерного излучения с формирующей оптической системой и приемник оптического (теплового) излучения с фокусирующей оптической системой, оптически связанные с поверхностью объекта и устройство обработки информации, соединенные с выходом приемника [1]Недостатками данного устройства являются низкий контраст теплового изображения дефектов, например, трещин, не превышающий 2 и относительно большое время изменения (для одной точки не менее 0,1 c, что связано с постоянной интегрирования) и как следствие малое пространственное разрешение приблизительно 0,5 мм. Известно также устройство для неразрушающего контроля поверхности объекта, содержащее источник лазерного излучения с формирующей оптической системой, приемник оптического излучения с фокусирующей оптической системой, оптически связанные с поверхностью объекта, сканирующую систему и устройство обработки информации, соединенные с выходом (прототип) приемника [2]
Недостатком данного устройства является низкая пространственная разрешающая способность приблизительно 0,4 мм из-за того, что регистрация теплового поля (температуры) производится последовательно во времени со скоростью, существенно меньшей скорости движения тепловой волны (ТВ), при этом тепловое поле вследствие термодиффузии имеет симметричное распределение, что приводит к уширению пространственного спектра теплового поля и ухудшению пространственного разрешения. Целью изобретения является увеличение пространственной разрешающей способности. Существенными признаками, общими с наиболее близкими аналогом, являются: источник электромагнитного излучения, формирующая оптическая система, приемник оптического излучения с фокусирующей оптической системой, оптически связанный с поверхностью объекта, блок обработки информации, соединенный с выходом приемника, и блок сканирования, механически связанный с объектом. Цель достигается расположением осей формирующей и фокусирующей систем перпендикулярно по направлению оси перемещения сканирующего устройства, использованием в качестве формирующей оптической системы цилиндрической линзы и выполнения блока сканирования в виде системы линейного перемещения объекта в направлении, перпендикулярном оси формирующей оптической системы, оптической связью приемника измерения через фокусирующую оптическую систему с участком поверхности объекта, расположенным по ходу линейного перемещения перед зоной взаимодействия источника излучения с поверхностью объекта, при этом ось участка параллельна оси цилиндрической линзы, а также тем, что в качестве приемника использован матричный приемник, ось расположения элементов которого параллельна оси цилиндрической линзы. На чертеже приведено предлагаемое устройство. Предлагаемое устройство содержит источник электромагнитного, в том числе оптического излучения 1, формирующую оптическую систему 2, выполненную в виде цилиндрической линзы, приемник оптического (инфракрасного ИК) излучения 3, фокусирующую оптическую систему 4, блок сканирования, состоящий из привода перемещения 7 и блока управления сканированием 8, а также блок обработки информации, состоящий из многоканального аналого-цифрового преобразователя 5 и компьютера 6. Приемник 3 оптического ИК-излучения может быть выполнен в виде матричного приемника с осью расположения элементов параллельной оси цилиндрической линзы 2. Ось цилиндрической линзы 2 расположена перпендикулярно вектору скорости V перемещения объекта 9. Источник оптического излучения 1 оптически связан через формирующую оптическую систему 2 с поверхностью объекта 9. Приемник оптического излучения 3 оптически связан через фокусирующую оптическую систему 4 с поверхностью объекта 9, ее участком, расположенным по ходу линейного перемещения перед зоной взаимодействия источника 1 с поверхностью объекта 9, на расстоянии
d C2 a,
где a ширина полосы;
C2 коэффициент, лежащий в пределах 1-2. Оси I-I, II-II, III-III параллельны между собой. Выходы чувствительных элементов приемника 4 подключены к входам аналого-цифрового преобразователя 5, выход которого соединен с соответствующим входом компьютера 6. Вход привода перемещения 7 объекта 9 подключен к выходу блока 8 управления сканированием, вход которого подключен к управляющему выходу компьютера 6. Формирующая оптическая система 2 может быть выполнена в виде цилиндрического объектива. Приемник 3 оптического излучения может быть выполнен как в виде линейки приемников, так и виде двухмерной матрицы, одна из осей которой параллельна оси I-I, а другая перпендикулярна ей. Привод блока сканирования 7 может быть выполнен в виде шаговых двигателей, а блок управления 8 в виде формирователя импульсов управления этими двигателями. Блок сканирования 7 может быть выполнен в виде поворотного зеркала, установленного в оптическом канале между цилиндрической линзой 2 и объектом 9 и между фокусирующей системой 4 и объектом 9. В устройство может быть введен компенсатор изменения расстояния от формирующей системы 2 до поверхности объекта 9. В устройство может быть введен измеритель мощности источника излучения 1, выход которого подключен к компьютеру 6 через соответствующие преобразователи. Спектральные диапазоны излучения источника 1 и приемника 3 должны существенно различаться для получения высокой помехоустойчивости (например источник Nd: YAG-лазер с длиной волны 1,06 мкм, приемник типа GeAu с рабочим спектральным диапазоном 5-8 мкм). Предлагаемое устройство работает следующим образом. Пучок непрерывного излучения, например лазерного, от источника 1 проходит через формирующую оптическую систему 2 и фокусируется на поверхности объекта 9 в виде полосы шириной 2a и длиной l, объект приводится в движение со скоростью V, задаваемой компьютером 6 через блок управления 8 приводу перемещения 7. При этом поверхность и приповерхностный слои объекта 9 нагреваются в зоне взаимодействия пучка излучения с объектом до температуры, на 1-10oC превышающей температуру окружающей среды, и возникает тепловая волна, распространяющаяся по поверхности объекта во все стороны. Параметры полосы выбирают из соотношения: 2a < 1. Оптимальную скорость перемещения полосы по поверхности объекта выбирают из условия
V C1 (x/a),
где C1 коэффициент, лежащий в диапазоне 1-2;
x температуропроводность материала исследуемой поверхности. При этом пространственное разрешение выявления дефектов и неоднородностей поверхности объекта и его приповерхностного слоя определяется размером сфокусированного пучка, то есть a. Возникающее в результате нагрева поверхности объекта в зоне полосы движущееся тепловое поле регистрируют дистанционно ИК-приемником 3 через фокусирующую оптическую систему 4. При этом используется связь между вариациями температуры на поверхности объекта T" и изменения регистрируемого потока излучения P"
P" C0 T3 T",
где C0 константа, определяемая коэффициентом излучательной способности поверхности и спектральным пропусканием электронно-оптического тракта;
T стационарная температура объекта. Расстояние d между осями II-II и III-III выбирают из условий достижения максимального температурного контраста при оптимальной чувствительности
d C2 a,
где C2 коэффициент, лежащий в диапазоне 1-2. В процессе сканирования производят считывание сигналов с элементов приемника 3 через аналого-цифровой преобразователь 5 и регистрацию их в компьютере 6 в его памяти. При этом должны выполняться условия
dt1 <a/V
dt2 <a (V/N)
при последовательном считывании,
где N число элементов приемника;
dt1, dt2 интервалы времени, требуемые для считывания значения сигнала с отдельного элемента. Считывание последовательности серии измерений производят одновременно со всех элементов циклически при линейной матрице приемника и одновременно при двумерной матрице, занося при этом в память компьютера трехмерную картину распределения температур на поверхности объекта, по которой судят об изменении по поверхности объекта температуропроводности, наличии дефектов (трещин, микропор, неоднородностей). Авторами был изготовлен и испытан образец предлагаемого устройства, выполненного в соответствии со схемой, показанной на чертеже и изложенным выше описанием. В качестве источника использован лазер типа ЛТН-502. В качестве приемника приемник типа ФД-286. Аналого-цифровой преобразователь типа L-205. Привод сканирования двигатель типа ШДА-3Ф с редуктором. Компьютер типа АТ/286. При испытаниях образца из материала сталь Ст40 с использованием предлагаемого устройства получено пространственное разрешение 60 мкм, для прототипа полученное пространственное разрешение составило 400 мкм. Предлагаемое устройство может быть использовано в технологических процессах, требующих контроля характеристик поверхности объекта.
Класс G01N21/86 исследование движущихся листовых материалов