способ соединения стекла, пьезоэлектрического кристалла с металлическим слоем из сплава на основе алюминия

Классы МПК:H03H3/02 для изготовления пьезоэлектрических и электрострикционных резонаторов или цепей (схем)
H01L41/22 способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки этих приборов или их частей
Автор(ы):, , , , , ,
Патентообладатель(и):Научно-производственное объединение машиностроения
Приоритеты:
подача заявки:
1994-09-28
публикация патента:

Изобретение относится к технологии изготовления многослойных изделий, обеспечивающих передачу акустической энергии с минимальными потерями на границах различных материалов. Изделия могут применяться, например, как ультразвуковые генераторы в слабокислых и слабощелочных средах. Сущность изобретения. Предложен способ соединения стекла, пьезоэлектрического кристалла с металлическим слоем из сплава на основе, например, алюминия. Промежуточный слой для покрытия соединяемых поверхностей выполняют никелем методом электронно-лучевого испарения и осаждения при одновременном облучении низкоэнергетическими ионами аргона с энергией не менее 5 кэВ, плотностью ионного потока до 150 мка/см2 при скорости напыления никеля не более 20 нм/с и температуре подложки до 120oC. Последующую пайку проводят при температуре ниже температуры деполяризации пьезокристалла, например, не более 200oC. В качестве припоя используют сплавы на основе олова. Разработанный способ соединения стекол, пьезокристаллов с металлическими слоями, выполняющими функцию радиаторов позволил создать высокопрочное, неразъемное, термически стабильное соединение в едином узле, которое обеспечивает передачу акустической энергии с минимальными потерями на границах материалов. 1 з.п. ф-лы.

Формула изобретения

1. Способ соединения стекла, пьезоэлектрического кристалла с металлическим слоем из сплава на основе алюминия путем нанесения промежуточного покрытия на соединяемые поверхности и последующей пайки, отличающийся тем, что промежуточное покрытие выполняют из никеля методом электронно-лучевого испарения при одновременном облучении низкоэнергетическими ионами аргона с энергией не менее 5 КэВ, плотностью ионного потока до 150 МкА/см2 при скорости напыления никеля не более 20 нм/с и при температуре металлического слоя из сплава на основе алюминия до 120oС, а последующую пайку производят при температуре ниже температуры деполяризации пьезокристалла, причем в качестве припоя используют сплавы на основе олова.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что металлический слой из сплава на основе алюминия выполняют в виде радиатора.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к технологии изготовления многослойных изделий, обеспечивающих передачу акустической энергии с минимальными потерями на границах различных материалов. Изделия могут применяться, например, в слабокислых и слабощелочных средах.

Для создания неразъемных соединений химически невзаимодействующих веществ на каждый соединяемый материал наносят металлические слои (см. Япония, патент N 48-12850, кл. C 03 C 27/00, 1973) низкотемпературного сплава, с последующей пайкой припоем. При этом адгезия между соединяемыми материалами не должна теряться из-за нагрева при пайке.

Данный способ соединения требует применения сложного по составу промежуточного слоя, но хотя и представляет собой прочное соединение невзаимодействующих веществ, однако не обеспечивает "сплошной" акустической среды между слоями.

Техническим результатом изобретения является создание термически стабильного, механически прочного соединения стекла, пьезоэлектрического кристалла и металла с минимальными акустическими потерями между слоями.

Указанный результат достигается тем, что в качестве металлического слоя используют сплав на основе, например, алюминия. Промежуточный слой для покрытия соединяемых поверхностей выполняют никелем методом электронно-лучевого испарения и осаждения при одновременном облучении низкоэнергетическими ионами аргона с энергией не менее 5 кэВ плотностью ионного потока до 150 мка/см2 при скорости напыления никеля не более 20 нм/с и температуре подложки до 120oС. Последующую пайку проводят при температуре ниже температуре деполяризации пьезокристалла, например не более 200oC. В качестве припоя используют сплавы на основе олова.

Для выполнения указанного соединения прежде всего был выбран материал металлического слоя, радиатора, сплав на основе алюминия, как обладающий наиболее близкий по акустической плотности к стеклу. Оба эти материала обладают малоотличающимися скоростями распространения звука.

Кроме того, для данного соединения был выбран материал промежуточного слоя, который обладает оптимальной растворимостью с материалом припоя и создает неразъемное соединение, а в то же время в твердом состоянии обладает незначительной растворимостью, чтобы взаимная диффузия в процессе эксплуатации не привела к химическим изменениям подслоев, что приводит к потере адгезии. Таким требованиям отвечает никель. Он использован в качестве промежуточного слоя. В качестве припоя использовались сплавы на основе олова. Главным ограничением при выборе материала припоя является температура плавления, которая не должна быть высокой из-за низкой стойкости стекла к термомеханическим воздействиям, но в то же время материал припоя обладает достаточной стойкостью к механическим воздействиям, генерируемым ультразвуковым излучателем.

Промежуточный слой из никеля на стекле выполняют методом электронно-лучевого испарения при одновременном облучении низкоэнергетическими ионами инертного газа-аргона. При этом перенос массы выбитыми атомами, образующимися в объеме промежуточного слоя и подложки при ионном воздействии, доминирует над переносом массы за счет радиационно-стимулированной или термической диффузии. Энергия ионов не должна превышать 5 кэВ, что исключает наличие радиационной опасности при работе.

Плотность ионного потока до 150 мкА/см2. Скорость осаждения никеля до 20 нм/с. Параметры способа позволяют использовать при массовом производстве имеющуюся техническую базу. Температура радиатора до 120oC. Нанесение никелевых покрытий на алюминий и пьезоэлектрические кристаллы проводят при тех же режимах, что и для стекла.

Для создания покрытий под пайку используют установку УВН-75, дооборудованную ионным источником. Эта установка позволяет достигать заданной энергии ионов при необходимой плотности ионного потока. Атомизацию никеля осуществляют методом электронно-лучевого испарения, приняв меры по предотвращению выброса рабочего тела из охлаждаемого тигля.

Пайку деталей изделия проводят традиционно. После охлаждения и затвердения паяного слоя пьезокристалл разряжают, приводя его в контакт с заземленным проводником.

Разработанный способ соединения стекол, пьезокристаллов с металлическим слоем из сплава на основе алюминия позволил создать высокопрочное, термически стабильное неразъемное соединение в одном узле, где металлический слой является радиатором. Такой результат позволяет изготовить устройство которое обеспечивает передачу акустической энергии с минимальными потерями на границах материалов.

Класс H03H3/02 для изготовления пьезоэлектрических и электрострикционных резонаторов или цепей (схем)

способ изготовления кварцевых кристаллических элементов z-среза -  патент 2475950 (20.02.2013)
способ изготовления пьезоэлементов для высокочастотных резонаторов -  патент 2458458 (10.08.2012)
способ изготовления кварцевых кристаллических элементов для пьезоустройств с пьезовибраторами срезов yx1/+45° и yx1/-45° -  патент 2397605 (20.08.2010)
способ изготовления кристаллических элементов и устройство для его осуществления -  патент 2296417 (27.03.2007)
способ изготовления фильтровых кварцевых резонаторов с улучшенной моночастотностью -  патент 2197058 (20.01.2003)
способ изготовления микрорезонаторов крутильных колебаний -  патент 2193274 (20.11.2002)
способ изготовления высокочастотного кварцевого резонатора с улучшенной линейностью -  патент 2174736 (10.10.2001)
способ изготовления кварцевых резонаторов бт-среза -  патент 2169986 (27.06.2001)
способ изготовления кристаллических элементов с линзообразными профилями и устройство для его осуществления -  патент 2169985 (27.06.2001)
способ изготовления пьезоэлектрических резонаторов и фильтров -  патент 2154894 (20.08.2000)

Класс H01L41/22 способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки этих приборов или их частей

способ сборки микроэлектромеханических устройств -  патент 2525684 (20.08.2014)
способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах -  патент 2494499 (27.09.2013)
способ определения параметров изделий пьезотехники -  патент 2492491 (10.09.2013)
многослойная керамическая гетероструктура с магнитоэлектрическим эффектом и способ ее получения -  патент 2491684 (27.08.2013)
способ формирования полидоменных сегнетоэлектрических монокристаллов с заряженной доменной стенкой -  патент 2485222 (20.06.2013)
способ изготовления акустооптических модуляторов -  патент 2461097 (10.09.2012)
метод станочного изготовления сдвигового измерительного датчика -  патент 2436105 (10.12.2011)
способ удаления органических остатков с пьезоэлектрических подложек -  патент 2406785 (20.12.2010)
способ изготовления кварцевых резонаторов с линейной температурно-частотной характеристикой -  патент 2366037 (27.08.2009)
способ улучшения монотонности температурно-частотных характеристик кварцевых резонаторов в стеклянных корпусах -  патент 2308790 (20.10.2007)
Наверх