способ модификации поверхности фольги для электролитических конденсаторов
Классы МПК: | H01G9/00 Электролитические конденсаторы, выпрямители, детекторы; переключающие устройства, светочувствительные или термочувствительные устройства; способы их изготовления H01G9/04 электроды |
Автор(ы): | Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Бурова С.В., Иевлев В.П., Комбаров В.В., Кущев С.Б., Поваляев А.Д., Тураева Т.Л. |
Патентообладатель(и): | Воронежский государственный технический университет |
Приоритеты: |
подача заявки:
1996-05-30 публикация патента:
20.04.1998 |
Изобретение относится к производству электролитических конденсаторов. Согласно изобретению на металлическую фольгу в вакуумной инертной среде наносят покрытие из смеси токопроводящего и диэлектрического материалов методом высокочастотного магнетронного распыления из составной мишени. 3 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3
Формула изобретения
Способ модификации поверхности фольги для электролитических конденсаторов путем магнетронного нанесения в высоком вакууме на металлическую фольгу покрытия, состоящего из смеси токопроводящего и диэлектрического материалов, отличающийся тем, что процесс ведут методом высокочастотного распыления в инертной среде из составной мишени.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в производстве электролитических конденсаторов. Известен способ получения покрытия, состоящего из смеси гранул Al и Al2O3 на проводящей подложке методом реактивного испарения алюминия в атмосфере окислителя, который позволяет получать фольги повышенной емкости для электролитических конденсаторов. Однако известный способ не позволяет с требуемой точностью контролировать и поддерживать на оптимальном уровне состав рабочей среды в вакуумной камере, следствием чего является недостаточная воспроизводимость количественного соотношения фаз, а следовательно, и электрофизических свойств напыленных слоев. Изобретение направлено на повышение стабильности процесса и воспроизводимости эксплуатационных характеристик электролитических конденсаторов. Это достигается тем, что процесс нанесения объемно-пористого металлодиэлектрического покрытия на проводящую подложку ведут методом высокочастотного магнетронного распыления обеих фаз в инертной среде. На фиг. 1 - 3 представлена структура полученных композитов. Способ реализуется следующим образом. Предварительно изготовленную составную мишень из токопроводящего (Al) и диэлектрического материалов (Al2O3) помещают в вакуумную камеру, которую откачивают до давления 1,5 10-3 Па. Затем рабочий объем заполняется аргоном до давления 5 10-1 Па. После чего производится нанесение покрытия методом высокочастотного магнетронного распыления мишени. Правильный выбор геометрии распылительной системы и мишени, а также условий осаждения обеспечивает получение равномерных по толщине покрытий Al-Al2O3 на проводящей алюминиевой подложке. Анализ электронограмм, представленных на фиг. 1 показал, что полученные пленки представляют собой смесь высокодисперсной проводящей фазы Al и аморфной Al2O3. Размер кристаллических частиц Al, хаотично распределенных в матрице Al2O3, определен с помощью темнопольного анализа (фиг. 2) и составляет 5 - 50 нм. Пленки имеют сильно развитую поверхность с неровностями величиной 0,5 - 1 мкм (фиг. 3). Такая морфология внешней границы раздела (Al - атмосфера) и структура полученного композита, определяющая высокое значение внутренней поверхности раздела (Al-Al2O3), обеспечивают достаточно высокое значение удельной электрической емкости, что в сочетании с хорошей адгезией полученных слоев позволяет их использовать в качестве пористых покрытий катодных фольг при производстве электролитических конденсаторов. Предлагаемый способ может быть использован для расширения спектра материалов, применяемых для формирования развитого поверхностного рельефа катодных фольг электролитических конденсаторов.Класс H01G9/00 Электролитические конденсаторы, выпрямители, детекторы; переключающие устройства, светочувствительные или термочувствительные устройства; способы их изготовления