диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов
Классы МПК: | F04F9/00 Диффузионные насосы |
Автор(ы): | Ивашов Е.Н., Цыганова Е.С. |
Патентообладатель(и): | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) |
Приоритеты: |
подача заявки:
1999-04-09 публикация патента:
20.01.2001 |
Насос использован для откачки вакуумного объема линии изготовления кинескопов. Насос включает нагреватель, систему охлаждения, систему улавливания паров масла и корпус. Корпус насоса выполняют составным из трех частей, герметично связанных между собой. Нижняя и верхняя части выполнены металлическими, а средняя - из керамики. Верхняя часть связана с системой охлаждения. Внутренняя поверхность средней части выполнена из материала с коэффициентом теплопроводности 380-420 Вт/(м
K), например меди, толщиной 3-5 мм. На внутренней поверхности средней части расположена дополнительная система охлаждения. Отношение длин каждой из частей к общей длине корпуса диффузионного насоса составляет 1/3 : 1/3 : 1/3. Применение предлагаемого диффузионного насоса для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов обеспечивает повышение экологичности откачного поста и снижение стоимости насоса за счет отсутствия дорогостоящих материалов типа тепловой трубы. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.
Рисунок 1
![диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, патент № 2162168](/images/patents/309/2162002/183.gif)
Формула изобретения
1. Диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, содержащий нагреватель, систему охлаждения, систему улавливания паров масла и корпус, выполненный составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых - металлическая, средняя выполнена из керамики, верхняя - металлическая и связана с системой охлаждения, отличающийся тем, что внутренняя поверхность средней части выполнена из материала с коэффициентом теплопроводности 380 - 420 Вт/(м![диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, патент № 2162168](/images/patents/309/2162002/183.gif)
Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в диффузионных насосах для откачки вакуумного объема линии изготовления кинескопов. Известен диффузионный насос, содержащий нагреватель, систему охлаждения, систему улавливания паров масла и корпус, выполненный составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых - металлическая, средняя выполнена из материала с низким коэффициентом теплопроводности, а верхняя связана с системой охлаждения (а.с.N 1276856, МКИ F 04 F 9/00, 1985 г.). Недостатком известного диффузионного насоса является низкая экологичность при высокой стоимости. Наиболее близким техническим решением является диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, содержащий нагреватель, систему охлаждения, система улавливания паров масла и корпус, выполненный составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых - металлическая, средняя выполнена из керамики, а верхняя выполнена в виде цилиндрической тепловой трубы и связана с системой охлаждения (а.с. N 1813933, МКИ F 04 F 9/00, 1993). Недостатком известного диффузионного насоса является низкая экологичность при высокой стоимости насоса из-за использования дорогостоящей тепловой трубы. Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является обеспечение высокой экологичности диффузионного насоса при его низкой стоимости. Поставленная задача решается тем, что в диффузионном насосе для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, содержащем нагреватель, систему охлаждения, систему улавливания паров масла и корпус, выполненный составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых - металлическая, средняя выполнена из керамики, верхняя - металлическая и связана с системой охлаждения, внутренняя поверхность средней части выполнена из материала с коэффициентов теплопроводности 380 - 420 Вт/(м![диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, патент № 2162168](/images/patents/309/2162002/183.gif)
![диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, патент № 2162168](/images/patents/309/2162002/183.gif)
![диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, патент № 2162168](/images/patents/309/2162002/183.gif)
Класс F04F9/00 Диффузионные насосы
вакуумная охлаждаемая ловушка - патент 2355918 (20.05.2009) | |
вакуумная охлаждаемая ловушка - патент 2278716 (27.06.2006) | |
вымораживающая ловушка - патент 2172435 (20.08.2001) | |
вакуумная ловушка - патент 2123620 (20.12.1998) | |
вакуумный пароструйный насос - патент 2106541 (10.03.1998) | |
пароструйный вакуумный насос - патент 2079729 (20.05.1997) | |
пароструйный высоковакуумный насос - патент 2056549 (20.03.1996) | |
многоступенчатый пароструйный вакуумный насос - патент 2050477 (20.12.1995) | |
вакуумный пароструйный насос - патент 2037672 (19.06.1995) | |
пароструйный вакуумный насос - патент 2018722 (30.08.1994) |