пьезокерамический материал
Классы МПК: | H01L41/187 керамические составы C04B35/499 содержащих также титанаты |
Автор(ы): | Смотраков В.Г., Еремкин В.В., Панич А.Е., Вусевкер Ю.А. |
Патентообладатель(и): | Научное конструкторско-технологическое бюро "Пьезоприбор" Ростовского государственного университета |
Приоритеты: |
подача заявки:
2000-01-17 публикация патента:
10.04.2001 |
Использование изобретения эффективно при изготовлении пьезоэлементов для устройств, работающих в силовых режимах. Пьезокерамический материал содержит оксиды свинца, циркония, титана, стронция, ниобия, цинка, марганца и лантана при следующем соотношении компонентов, мас.%: PbO - 66,00-66,60; ZrO2 - 19,30-19,70; TiO2 - 11,10-11,40; SrO - 1,45-1,65; Nb2O5 - 0,87-1,00; ZnO - 0,23-0,27; MnO - 0,13-0,15; La2O3 - 0,30-0,50. Пьезокерамический материал средней сегнетожесткости обладает tg, соответствующим лучшим значениям для этого класса соединений (0,30-0,50%); величиной Кp = 0,67-0,68; высоким значением d31 ((200-235)10-12 Кл/Н), QM = 200-300. 2 табл.
Рисунок 1, Рисунок 2
Формула изобретения
Пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца, циркония, титана, стронция, ниобия, отличающийся тем, что он дополнительно содержит оксиды цинка, марганца и лантана при следующем соотношении компонентов, мас.%: PbO 66,00 - 66,60; ZrO2 19,30 - 19,70; TiO2 11,10 - 11,40; SrO 1,45 - 1,65; Nb2O5 0,87 - 1,00; ZnO 0,23 - 0,27; MnO 0,13 - 0,15; La2O3 0,30 - 0,50.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к области пьезоэлектрических керамических материалов средней сегнетожесткости, устойчивых к электрическим и механическим воздействиям и предназначенных в основном для устройств, работающих в силовых режимах, например, ультразвуковых излучателей, пьезотрансформаторов, пьезодвигателей, систем зажигания. В зарубежной литературе не принято специально выделять из группы сегнетожестких материалов материалы средней сегнетотвердости. Общепринятым является лишь подразделение керамики на сегнетомягкую и сегнетотвердую. Вместе с тем крупные зарубежные фирмы, как правило, содержат в своих каталогах как минимум два класса сегнетожестких керамик (PZT4 и PZT8 "Morgan Matroc" (Электронный каталог фирмы "Morgan Matroc", США: http:/www. morganmatroc-ecd. com/catalog/propert. htm); ВМ400 и ВМ800 "Sensor Technology Ltd." (Sensor Technology Limited (BM Hi-tech Division). Piezoelectric ceramics. Product catalogue. Application notes. 1995.); APC840 и APC841 "APC International Ltd. " (Электронный каталог фирмы "APC International Ltd.", США: http: /www. thomasregister. com/olc/apc/apcpiez.htm)), отличающихся своими характеристиками [1-3]. В отечественной литературе к материалам средней сегнетожесткости принято относить ЦТСтБС-2 (Климов В.В., Дидковская О.С., Приседский В.В. Изв. АН СССР. Неорганические материалы, 1982, Т. 18, С. 1650.), ЦТБС-3 (Отраслевой стандарт ОСТ 11 0444-87. Материалы пьезокерамические) [4-5]. Из каталогов зарубежных фирм выделяется группа материалов, которую условно можно отнести к материалам средней сегнетотвердости. Эти материалы обладают относительно низкой для сегнетожестких материалов механической добротностью Qм < 700, относительно высокой величиной T33/0 > 1200 и высокими значениями коэффициентов электромеханической связи Kij, приближающимися по своей величине к коэффициентам электромеханической связи сегнетомягких материалов. Основные характеристики таких материалов приведены в табл. 1. Как видно из табл. 1, основная масса материалов данного класса имеет добротность в пределах Qм = 350-500 и величину Кp > 0.58. Отечественные материалы обладают большими значениями относительной диэлектрической проницаемости и d33. Вместе с тем ЦТБС-3 демонстрирует относительно низкие значения коэффициентов электромеханической связи и пьезочувствительности g33. Низкими значениями пьезоэлектрических модулей характеризуется керамика C-2, C-22 тайваньской фирмы "SPK Electronics Co., Ltd." (Электронный каталог фирмы "SPK Electronics Co., Ltd.", Тайвань: http:/spkecl.com/chapte 8b.htm) [6]. Основой известных материалов ЦТСтБС-2, выпускаемых Украиной, и ЦТБС-3 российского производства являются оксиды свинца, стронция, бария, титана и циркония. Наиболее близким к заявляемому материалу по химической композиции является пьезокерамический материал ЦТС-19 Pb0.95Sr0.05(Zr0/53Ti0.47)O3 + 1% Nb2O5 (Глозман И.А. Пьезокерамические материалы в электронной технике. М.-Л. Изд-во "Энергия", 1965. 192 с. ) [7], обладающий параметрами tg = 2.5%, T33/0 = 1600, Кp = 0.60, d31 = 15010-12 Кл/Н, Qм = 50 (Данцигер А.Я., Разумовская О.Н., Резниченко Л.А., Дудкина С.И. Высокоэффективные пьезокерамические материалы. Ростов-на-Дону. Изд-во "Пайк", 1995. 92 с.) [8], характерными для сегнетомягкого материала. Целью изобретения является получение пьезокерамического материала с параметрами, отвечающими лучшим мировым материалам средней сегнетожесткости. Последнее достигается введением добавок ZnO, MnO, La2O3 в материал ЦТС-19. Известно (Фесенко Е.Г., Данцигер А.Я., Разумовская О.Н. Новые пьезокерамические материалы. Ростов-на-Дону. Изд-во Ростовского ун-та, 1983. 160 с.) [9], что добавки ZnO, MnO повышают сегнетожесткость материала, т.е. повышается добротность Qм и снижаются T33/0, tg, d31, Кp. Известно (Фесенко Е.Г., Данцигер А.Я., Разумовская О.Н. Новые пьезокерамические материалы. Ростов-на-Дону. Изд-во Ростовского ун-та, 1983. 160 с.) [9], что La2O3 повышает сегнетомягкость материала, т.е. повышает T33/0, tg, d31, Kp и снижает механическую добротность Qм. Введение сверх стехиометрии в химическую композицию материала ЦТС-19 указанных взаимоисключающих по своей функциональной направленности оксидов способно не только взаимно компенсировать их влияние на свойства материала, но и сдвинуть фазовый состав материала с морфотропной фазовой границы с полной потерей полезных параметров. Заявляемое изобретение позволяет получить пьезокерамический материал, обладающий низким значением tg (0.30-0.50%), более высоким значением d31 ((200-235) 10-12 Кл/Н), высокой величиной T33/0 (1700-2400), повышенной добротностью Qм (200-300) и высоким значением Kp (0.67-0.68). Указанный технический эффект достигается тем, что пьезокерамический материал, включающий PbO, ZrO2, TiO2, SrO, Nb2O5, согласно изобретению дополнительно содержит оксиды цинка, марганца и лантана при следующем соотношении компонентов, маc. %: PbO 66,00 - 66,60; ZrO2 19,30 - 19,70; TiO2 11,10 - 11,40; SrO 1,45 - 1, 65; Nb2O5 0,87 - 1,00; ZnO 0,23 - 0,27; MnO 0,13 - 0,15; La2O3 0,30 - 0,50. В качестве исходных материалов использовался приготовленный химическим соосаждением из фторидно-нитратных растворов материал ЦТС-19 и оксиды: ZnO - "ос. ч.", MnO - "ч.д.а.", La2O3 - ЛАО-К, взятые сверх стехиометрии. Материал изготовляли следующим образом. Шихту, составленную из материала ЦТС-19 и оксидов цинка, марганца и лантана смешивали в течение 1,728105 с в полиэтиленовом барабане с яшмовыми шарами в водной среде. Шихту сушили. Дополнительный обжиг шихты перед спеканием не проводили. Спекание образцов диаметром 10 мм и высотой 3 мм осуществляли в течение 7,2103 с при 1450-1490 К в засыпке, обеспечивающей атмосферу паров PbO. На сошлифованные до 1 мм диски наносили серебряную пасту, которую вжигали при температуре 970 К. Образцы поляризовали в воздушной среде при охлаждении от 590 К в постоянном электрическом поле напряженностью 10 кВ/см. Определение электрофизических характеристик проводилось в соответствии с ГОСТ 12370-72. В табл. 2 приведены основные электрофизические характеристики предлагаемого материала в зависимости от состава. Полученные экспериментальные данные свидетельствуют о том, что предлагаемый пьезокерамический материал обладает оптимальными с точки зрения решаемой технической задачи (получение материала средней сегнетожесткости), характеристиками в интервале величин компонентов, указанных в формуле изобретения (состав 3, табл. 2). В сравнении с материалом ЦТСтБС-2 полученный материал имеет более высокие значения Kp и d31 и меньшие диэлектрические потери. Сравнение параметров полученного нами материала с характеристиками широко используемого российского материала ЦТБС-3 свидетельствует о том, что по величине tg, Kp, d31 разработанный материал значительно превосходит ЦТБС-3. Остальные параметры ни в чем не уступают последнему. Температура Кюри предлагаемого материала составляет 543oК (для ЦТБС-3 Tк=453 К), что предполагает большую стабильность его параметров и расширение температурной области использования. Полученный материал имеет широкий диапазон спекания в сравнении с материалом ЦТБС-3 и создан на базе промышленно выпускаемого материала. ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ1. Электронный каталог фирмы "Morgan Matroc", США: http: // www. morganmatroc-ecd. corn/catalog/propert. htm
2. Sensor Technology Limited (BM Hi-tech Division). Piezoelectric ceramics. Product catalogue. Application notes. 1995. 3. Электронный каталог фирмы "АРС International Ltd.", США: http: // www. thomasregister. com/olc/ape/apcpiez. htm
4. Климов В.В., Дидковская О.С., Приседский В.В. Изв. АН СССР. Неорганические материалы, 1982, Т. 18, С. 1650. 5. Отраслевой стандарт ОСТ 11 0444-87. Материалы пьезокерамические. 6. Электронный каталог фирмы "SPK Electronics Co., Ltd.", Тайвань: http: /spkecl.com/chapte8b. htm
7. Глозман И.А. Пьезокерамические материалы в электронной технике. М.-Л. Изд-во "Энергия", 1965. 192 с. 8. Данцигер А.Я., Разумовская О.Н., Резниченко Л.А., Дудкина С. И. Высокоэффективные пьезокерамические материалы. Ростов-на-Дону. Изд-во "Пайк", 1995. 92 с. 9. Фесенко Е.Г., Данцигер А.Я., Разумовская О.Н. Новые пьезокерамические материалы. Ростов-на-Дону. Изд-во Ростовского ун-та, 1983. 160 с.
Класс H01L41/187 керамические составы
Класс C04B35/499 содержащих также титанаты