лазер

Классы МПК:H01S3/0977 с дополнительными средствами для ионизации
Автор(ы):, , , , , ,
Патентообладатель(и):Государственное унитарное предприятие "НПО Астрофизика"
Приоритеты:
подача заявки:
1999-06-10
публикация патента:

Изобретение относится к квантовой электронике, а более конкретно к созданию частотно-периодических газовых лазеров с электрической накачкой и рентгеновской предыонизацией, и может быть использовано в различных отраслях народного хозяйства. В лазере, содержащем герметичную камеру с вакуумными вводами и активной средой, с окнами для вывода излучения, блоки инициирующего разряда с катодом и основного разряда с профилированным анодом и общим для обоих блоков электродом, систему вакуумирования, газообмена и охлаждения, блок формирования и вывода когерентного излучения; блок инициирующего разряда выполнен с автономными системами вакуумирования и газообмена и размещен соосно с камерой и исполнен в виде вакуумной полости со стеклом из диэлектрика и крышкой в виде общего электрода, выполненного перфорированным с рядами равноотстоящих отверстий и профилем, аналогичным профилю анода, а катод выполнен из пластины по форме, подобной поперечному сечению вакуумной полости с слоем диэлектрика и металлической квадратной сетки, размещенной на поверхности диэлектрика, в блок инициирующего разряда введена система торможения электронного пучка, выполненная в виде рамки с отверстиями и закрепленной на ее поверхности металлической фольгой, а система охлаждения выполнена в виде совокупности вентиляторов и двух теплообменников, содержащих ряд параллельных металлических пластин, расположенных вертикально и установленных симметрично относительно блоков основного и инициирующего разрядов, при этом система газообмена выполнена в виде емкостей с различными газовыми активными средами, а в блок формирования и вывода когерентного излучения введен комплект сменных оптических элементов и два металлических полупрозрачных экрана в виде сетки, установленных по ходу излучения симметрично от оси блока основного разряда. Достигаемым техническим результатом является расширение спектра излучения источника как в импульсном, так и частотно-периодическом режимах с одновременным увеличением выходной энергии источника когерентного излучения. 1 ил.
Рисунок 1

Формула изобретения

Лазер, содержащий герметичную камеру с вакуумными вводами и активной средой, с окнами для вывода излучения, блоки инициирующего разряда с катодом и основного разряда с профилированным анодом и общим для обоих блоков электродом, системы вакуумирования, газообмена и охлаждения, блок формирования и вывода когерентного излучения, отличающийся тем, что система охлаждения выполнена в виде совокупности вентиляторов и двух теплообменников, содержащих ряд параллельных металлических пластин, расположенных вертикально и размещенных на расстоянии d2 < R между собой, и установленных симметрично относительно блоков основного и инициирующего разрядов, система газообмена выполнена в виде емкостей с различными газовыми активными средами, а в блок формирования и вывода когерентного излучения введен комплект сменных оптических элементов с коэффициентом отражения лазер, патент № 2170484 и два металлических полупрозрачных экрана в виде сетки с шагом l1<2лазер, патент № 2170484плtп установленных по ходу излучения симметрично от блока основного разряда на расстоянии l2>лазер, патент № 2170484плtи+1эл/2, при этом блок инициирующего разряда снабжен автономными системами вакуумирования и газообмена и выполнен в виде вакуумной полости со стенками из диэлектрика и крышкой в виде общего электрода, выполненного перфорированным с рядами равноотстоящих отверстий и профилем, аналогичным профилю анода, а катод выполнен из пластины толщиной h1 < h по форме, подобной поперечному сечению вакуумной полости с слоем диэлектрика толщиной лазер, патент № 2170484 и металлической квадратной сетки со стороной квадрата lo>dtg(лазер, патент № 2170484/2), размещенной на поверхности диэлектрика, и в блок инициирующего разряда введена система торможения электронного пучка, выполненная в виде рамки с отверстиями диаметра D>2лазер, патент № 2170484лазер, патент № 2170484т/P, и закрепленной на ее поверхности металлической фольги, где h - высота вакуумной полости; лазер, патент № 2170484 - диэлектрическая проницаемость диэлектрика; d - расстояние между электродами основного разряда; S, lэл - площадь и длина электродов основного разряда; лазер, патент № 2170484 - угол разлета электронного пучка с элемента сетки, размещенной на поверхности диэлектрика; лазер, патент № 2170484 - толщина фольги; Р - перепад давления в герметичной камере и вакуумной полости; лазер, патент № 2170484т - предел прочности материала фольги; R - радиус поперечного сечения герметичной камеры; L0 - длина области, занятая активной средой в междуэлектродном промежутке; К0 - коэффициент усиления активной среды; лазер, патент № 2170484l - коэффициент вредных потерь в резонаторе; лазер, патент № 2170484пл - скорость разлета плазмы; tg - длительность переднего фронта импульса излучения лазера; и - длительность импульса излучения лазера.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к квантовой электронике, а более конкретно к области создания частотно-периодических газовых лазеров с электрической накачкой и рентгеновской предыонизацией, и может быть использовано в различных отраслях народного хозяйства.

Известие устройство [1] для получения когерентного излучения с длиной волны 10,6 мкм, содержащее разрядную камеру, в которой поперечно к оптическому резонатору развивается газовый разряд атмосферного давления, с предыонизацией кратковременным диффузным разрядом, созданным "убегающими электронами". Устройство также содержит инициирующий, основной катодный и общий профилированный анодный электроды. В качестве инициирующего катода используется ряд тонких проволочек, натянутых параллельно оси разрядной камеры.

Применение этого устройства ограничено вследствие следующих недостатков:

1 - невозможность работы в частотно-периодическом режиме ввиду отсутствия системы охлаждения и перемешивания активной среды в рабочем объеме;

2 - отсутствие системы гашения акустических волн, влияющих на динамику работы устройства;

3 - неэффективность использования части активной смеси, находящейся вне объема разрядного промежутка;

4 - отсутствие специального оборудования, необходимого для получения генерации на длинах волн, отличных от длин волн, генерируемых CO2-лазером;

5 - высокие напряжения (~ 200 кВ), обеспечивающие разряд в основном объеме активной среды, что требует ограничения во времени работы установки.

Известен импульсный CO2-лазер [2] с объемным самостоятельным разрядом и предыонизацией мягким рентгеновским излучением. Устройство содержит герметичную камеру с вакуумными вводами, анод основного разряда и пушку с многоострийным взрывоэмиссионным катодом, оптический резонатор.

Недостатками этого импульсного лазера являются: невозможность работы на различных активных средах; высокие напряжения на электродах пушки (70 - 80 кВ); невозможность работы в частотно-периодическом режиме ввиду отсутствия эффективной системы охлаждения и газообмена активной среды.

Известен электроразрядный лазер большого объема [3], выбранный за прототип, содержащий разрядную камеру с активной средой, блоки инициирующего разряда с катодами в виде ряда проволочек. Камера имеет систему откачки и напуска активной среды, а охлаждение осуществляется за счет конвективного обмена. Соосно с блоком основного разряда установлен оптический резонатор. Основные параметры лазера: напряжение на электродах основного разряда ~ 500 кВ, предыонизатора ~ 400 кВ. Концентрация электронов в основном промежутке ~ 1012 см-3, энерговклад в активный объем 0,35-2,0 Дж/л. Устройство может быть использовано в качестве эксимерного лазера.

Применение этого устройства ограничено вследствие следующих недостатков:

1 - невозможность работы в частотно-периодическом режиме;

2 - невозможность работы на различных активных средах;

3 - неэффективное использование части активной среды, находящейся вне междуэлектродного промежутка;

4 - использование высокого напряжения на электродах устройства;

5 - отсутствие системы охлаждения и газообмена.

С помощью предлагаемого изобретения достигается технический результат, заключающийся в расширении спектра излучения источника как в импульсном, так и частотно-периодическом режимах с одновременным увеличением выходной энергии источника когерентного излучения. В соответствии с предлагаемым изобретением, технический результат достигается тем, что в лазере, содержащем герметичную камеру с вакуумными вводами и активной средой, с окнами для вывода излучения, блок инициирующего разряда с катодом и основного разряда с профилированным анодом и общим для обоих блоков электродом, систему вакуумирования, газообмена и охлаждения, блок формирования и вывода когерентного излучения; блок инициирующего разряда выполнен с автономными системами вакуумирования и газообмена и размещен соосно с камерой и исполнен в виде вакуумной полости со стенами из диэлектрика и крышкой в виде общего электрода, выполненного перфорированным с рядами равноотстоящих отверстий и профилем, аналогичным профилю анода, а катод выполнен из пластины толщиной h1 < h по форме, подобной поперечному сечению вакуумной полости с слоем диэлектрика толщиной лазер, патент № 2170484, и металлической квадратной сетки со стороной квадрата l0 > hлазер, патент № 2170484tg(лазер, патент № 2170484/2), размещенной на поверхности диэлектрика, в блок инициирующего разряда введена система торможения электронного пучка, выполненная в виде рамки с отверстиями диаметра D>лазер, патент № 2170484лазер, патент № 2170484т/P, и закрепленной на ее поверхности металлической фольгой, а система охлаждения выполнена в виде совокупности вентиляторов и двух теплообменников, содержащих ряд параллельных металлических пластин, расположенных вертикально и размещенных на расстоянии d2 < R между собой, и установленных симметрично относительно блоков основного и инициирующего разрядов, при этом система газообмена выполнена в виде емкостей с различными газовыми активными средами, а в блок формирования и вывода когерентного излучения введен комплект сменных оптических элементов с коэффициентом отражения лазер, патент № 2170484 и два металлических полупрозрачных экрана в виде сетки с шагом l1 < 2vпл лазер, патент № 2170484 tп, установленных по ходу излучения симметрично от оси блока основного разряда на расстоянии I2 > vплtи + Iэл/2, где

h - высота вакуумной полости;

лазер, патент № 2170484 - диэлектрическая проницаемость диэлектрика;

d - расстояние между электродами основного разряда;

C0 - емкость междуэлектродного промежутка:

S, Iэл площадь и длина электродов основного разряда;

лазер, патент № 2170484 - угол разлета электронного пучка с элемента сетки, размещенной на поверхности диэлектрика:

лазер, патент № 2170484 - толщина фольги;

P - перепад давления в герметичной камере и вакуумной полости;

лазер, патент № 2170484т - предел прочности материала фольги;

R - радиус поперечного сечения герметичной камеры;

L0 - длина области, занятая активной средой в междуэлектродном промежутке;

k0 - коэффициент усиления активной Среды;

лазер, патент № 21704841 - коэффициент вредных потерь в резонаторе;

vпл - скорость разлета плазмы;

tп - длительность переднего фронта импульса излучения лазера:

tи - длительность импульса излучения лазера.

На чертеже представлено устройство, реализующее предлагаемое изобретение, где

1 - вакуумная полость;

2 - общий перфорированный электрод с отверстиями;

3 - профилированный анод;

4 - катод:

5 - слой диэлектрика;

6 - металлическая сетка:

7 - рамка с отверстиями;

8 - фольга;

9 - вентилятор:

10 - пластины теплообменника;

11 - емкости с газовыми активными средами:

12 - комплект оптических элементов;

13 - глухое зеркало резонатора;

14 - полупрозрачный экран (сетка);

15 - герметичная камера;

16 - вакуумный ввод:

17 - окна для вывода излучения;

18 - блоки управления.

Устройство содержит герметичную камеру 15, выполненную из электроизоляционного материала, с вакуумным вводом 16 и наполненную активной средой, подаваемой в камеру с одной из емкостей 11, содержащих различные газовые активные Среды, окна 17 для вывода излучения, блок инициирующего разряда, выполненный в виде вакуумной полости 1 со стенками из диэлектрика с обособленным вакуумным вводом, и размещенными внутри нее катодного узла с катодом 4, слоем диэлектрика 5 и металлической сетки 6, расположенной на поверхности диэлектрика, и анодного узла, содержащего рамку с отверстиями, 7 и установленную на ее поверхности на стороне противоположной катоду фольгу 8. На поверхности вакуумной полости размещен общий перфорированный электрод 2 с отверстиями, служащий ей крышкой, и электрически связанный с рамкой и расположенной на ней фольгой, блок основного разряда с профилированным анодом 3 и расположенным напротив него общим профилированным и перфорированным электродом. Соосно с окнами 17 и электродами основного разряда расположен комплект сменных оптических элементов 12, глухое зеркало резонатора 13 и полупрозрачные экраны (сетка) 14. Симметрично относительно центра симметрии электродов основного разряда расположены вентиляторы 9, за которыми установлены ряды пластин теплообменника 10 с общим основанием и охлаждаемые проточной водой. На электродную систему устройства подано специально сформированное напряжение с двух раздельных блоков управления 18.

Рассмотрим работу устройства с длиной волны излучения 10,6 км (CO2-лазер) с длительностью импульса излучения в диапазоне от 100 нсек до 1 мксек.

После юстировки оптического резонатора, состоящего из полупрозрачного зеркала, входящего в комплект сменных оптических элементов 12, и глухого зеркала 13, производится последовательно откачка через обособленные вакуумные вводы 16, герметические камеры 15 и вакуумную полость 1 и запуск через специальное входное отверстие в герметичной камере активной среды (смесь CO2, N2, He), содержащейся в одной из емкостей системы газообеспечения 11.

Далее осуществляется подача импульса высокого напряжения на катод 4, общий перфорированный электрод с отверстиями 2 блока инициирующего разряда. В результате под действием электрического поля вблизи катода образуется непрерывно растущее ионизированное облако, состоящее из ионов, нейтралов и медленных электронов. Для случая слабых полей, считая, что основная масса электронов имеет максвелловское распределение, и учитывая быстрое убывание кулоновского сечения с увеличением скорости сталкивающихся частиц, можно показать, что уже в этих полях функция распределения электронов в междуэлектродном промежутке оказывается сильно искаженной. При этом уравнение движения электронов может быть записано в виде

meлазер, патент № 2170484eivt= Ee; (1)

где Ee - напряженность слабого электрического поля,

e, me - заряд и масса электрона соответственно;

vt - тепловая скорость;

лазер, патент № 2170484

- частота столкновений электронов концентрации n с ионами среды [4];

In лазер, патент № 2170484 - кулоновский логарифм.

В экспериментальных исследованиях наносекундных газовых разрядов, в сильно перенапряженных промежутках было зарегистрировано тормозное излучение рентгеновского диапазона [5] . Оценки энергии электронов, выполненные на основании данных об энергии рентгеновского излучения, приводят к заключению о существовании в разряде электронов с энергией eU0 (U0 - приложенное напряжение). Вследствие этого полная кинетическая энергия при некотором Uпор будет полностью определяться направленной скоростью, определяемой приложенным напряжением. Поэтому левый член в уравнении (1) совместно с уравнением (2) определяют силу трения со стороны ионного облака, которая будет обратно пропорциональна квадрату скорости, таким образом, электрон на длине свободного пробега будет неограниченно ускоряться, а вследствие этого происходит рассеивание первичного электронного облака вблизи катода, высокоэнергетические электроны будут ионизировать среду на значительных расстояниях от их первичной локализации, поэтому электрический разряд теряет свою компактную форму приобретает диффузионный характер.

Как показано в работе [4], в случае максвелловского распределения вблизи катода для концентрации убегающих электронов справедливо соотношение

лазер, патент № 2170484

где лазер, патент № 2170484 - константа;

E - напряженность приложенного поля.

Это составляет лишь очень малую долю всех электронов, поэтому для создания эффективной предыонизации необходимо прикладывать значительные напряжения к электродам. В работе [6] в качестве критерия перехода от стримерного механизма газового разряда к непрерывному ускорению электронов выбрано следующее условие перенапряжения:

лазер, патент № 2170484

где лазер, патент № 2170484 - изменение энергии электрона на длине свободного пробега;

E0 - напряженность электрического поля в межэлектродном промежутке.

Для обеспечения эффективности предыонизации рентгеновским излучением междуэлектродного промежутка основного разряда необходимо увеличение разрядного тока в предыонизаторе за счет увеличения концентрации убегающих электронов и их подвижности с целью выполнения критерия (4). Поэтому в вакуумную полость вблизи катода 4 установлена металлическая сетка 6, которая позволяет при заданном напряжении между электродами системы предыонизации перераспределить электрическое поле вблизи катода в соответствии с уравнением [7]:

E(r)=E0 лазер, патент № 2170484 (1+R2/r2) (6)

где r - расстояние от сетки;

R - радиус провода сетки.

Убегающие электроны возбуждают частицы среды, находящейся в вакуумной полости, и, тормозясь в поле ионов и нейтралов, образуют дипольное излучение. Часть электронов, ускоряясь в поле, определенном по формуле (6), бомбардируют фольгу 8, установленную на рамке с отверстиями 7. Для получения более равномерного потока электронов по сечению пучка, а следовательно, и для обеспечения равномерной предыонизации металлическая сетка выполнена с квадратными ячейками.

Определим количество групп таких электронов исходя из геометрии электродов. Пусть S, Iэл, L - соответственно площадь, длина и ширина электрода (катода), h - расстояние между катодом и профилированным электродом 2 (высота вакуумной полости). Из экспериментальных данных [8] известно, что расходимость электронного пучка в широких пределах приложенных напряжений постоянна и составляет ~ 20o. Для оценки примем, что оптимальным условием для перекрытия электронных пучков на аноде предыонизатора будет их касание, отсюда получаем шаг сетки:

l0 > h tg ( лазер, патент № 2170484 /2), (7)

где h - высота вакуумной полости;

лазер, патент № 2170484 ~ 20o - угол разлета пучков.

Если площадь электродов S, то количество групп электронов n будет равно числу элементов квадратной сетки:

лазер, патент № 2170484

Опорой сетки является слой диэлектрика 5, расположенный по периферии катода, который связывает при своей поляризации часть свободных зарядов в междуэлектродном промежутке и тем самым уменьшает неоднородность разрядного тока, определяемую наличием краевых эффектов на краях электродов. Как известно [9] , основные параметры несамостоятельного разряда, поддерживаемого электронным пучком, разрядный ток i, напряженность поля E и энергия W, введенная в разряд, зависят от безындуктивной емкости, разряжающейся на газовый промежуток. Поэтому введение дополнительной емкости, определяемой слоем диэлектрика, не должно изменить значения основных параметров i, E, W.

Пусть с0 - междуэлектродная емкость той области, куда установлен слой диэлектрика с сечением S1 < S; при введении диэлектрика последовательно соединяются емкость с1, определяемая слоем диэлектрика, и с2 - емкость воздушного зазора. Условие компенсации может быть записано в виде:

лазер, патент № 2170484

где лазер, патент № 2170484

где лазер, патент № 2170484 - диэлектрическая проницаемость диэлектрика;

лазер, патент № 21704840 - электрическая постоянная;

d1 - толщина диэлектрика.

Из (9) и (10) имеем

лазер, патент № 2170484

Упростив (11), получаем

лазер, патент № 2170484

Толщина катода сверху ограничена высотой вакуумной полости, а нижняя граница может быть определена из следующих соображений, определяющих функциональное назначение катода.

При действии импульса тока за счет испарения поверхности катода его высота уменьшается. Как показано в работе [9], получение больших электронных токов в сильноточных электронных ускорителях не связано с чисто автоэлектронной эмиссией, а основано на явлении взрывной эмиссии электронов из металлических острий. Рассмотрим катод с поперечным сечением, равным площади электродов основного разряда и с высотой h1, тогда уменьшение высоты катода вследствие уноса части вещества с его поверхности при действии частотно-периодических импульсов тока может быть определено по формуле

лазер, патент № 2170484

где m - первоначальная масса катода;

m0 - масса катода, уносимая в одном импульсе;

f - частота следования импульсов;

S - площадь катода;

лазер, патент № 2170484 - плотность материала катода.

Для оценки примем, что во время прохождения частотно-периодического сигнала взрывается лишь один эмиссионный центр (острие) и эти центры распределены равномерно по поверхности катода и угол разлета массы вещества совпадает с углом разлета электронов из острия, формула (7). Уравнения теплового баланса запишем в виде

лазер, патент № 2170484

где c, лазер, патент № 2170484, К"0 - соответственно удельная теплоемкость, коэффициент теплопроводности, удельное электрическое сопротивление материала катода;

j(t) - плотность тока в сечении острия;

Q - затраты на излучение с факела при взрыве острия.

Как показали оценки [10], затраты на теплоотвод и излучение малы по сравнению со вторым членом правой части уравнения (14). С учетом этого замечания уравнение (14) может быть представлено в сферической системе координат следующим образом:

лазер, патент № 2170484

где лазер, патент № 2170484 - угол разлета материала острия;

b - радиус поверхности шарового сектора с центром в острие.

Масса материала, заключенная в шаровом секторе, будет

m0 = Vcлазер, патент № 2170484 = 2/3 лазер, патент № 2170484 b2лазер, патент № 2170484, (16)

где Vc - объем шарового сектора,

nc = 2 b sin2(лазер, патент № 2170484/4) - высота шарового сектора.

Следовательно, уносимая масса будет равна

m0 = 4/3лазер, патент № 2170484b3sin2 (лазер, патент № 2170484/4) (17)

Из (15) следует, что

лазер, патент № 2170484

лазер, патент № 2170484

Подставив значение b в уравнение (17), получим

лазер, патент № 2170484

Таким образом, после n серий высота катода уменьшится на величину

лазер, патент № 2170484

Отсюда следует, что, если необходимо работать n-сериями, толщина катода должна быть выбрана больше, чем h2.

После того как будет сформирован газовый разряд в вакуумной полости 1 и реализован механизм убегания электронов, электронный пучок тормозится в фольге 8, размещенной на несущей рамке с отверстиями 7. Диаметры отверстий и их количество выбираются так, чтобы обеспечить максимальную площадь для бомбардировки электронным пучком. Ограничения, накладываемые на размеры отверстий, определяются пределом текучести материала фольги лазер, патент № 2170484т.

Рассмотрим сферическую оболочку с закрепленными концами. Модель сферической оболочки оправдана, так как в общем случае давления в герметичной камере 15 и вакуумной полости различны. Условия равновесия для оболочки запишем в виде:

F1 = F2 (22)

где F1 = Pлазер, патент № 2170484S - сила, определяемая перепадом давлений по обе стороны оболочки;

S = лазер, патент № 2170484 R2 - площадь поперечного сечения (R - радиус отверстия),

F2= лазер, патент № 2170484лазер, патент № 21704842лазер, патент № 2170484лазер, патент № 2170484лазер, патент № 2170484 - сила, уравновешивающая внутренние напряжения;

лазер, патент № 2170484 - внутреннее напряжение;

лазер, патент № 2170484 - толщина фольги.

Подставив (23) и (24) в (22), получим

лазер, патент № 2170484

Следовательно, необходимое условие для определения R будет лазер, патент № 2170484>лазер, патент № 2170484т или

лазер, патент № 2170484

где лазер, патент № 2170484т - предел прочности материала фольги.

Газовый тракт лазера представляет собой одномерный акустический резонатор с закрытыми концами, на который оказывается внешнее периодическое воздействие, и содержит ряд параллельных металлических пластин, расположенных вертикально. Такой акустический резонатор имеет спектр собственных частот

лазер, патент № 2170484n= nc/2Lак, (27)

где с - скорость звука;

Lак - длина акустического резонатора: (длина герметичной камеры);

n = 1, 2, 3...

Так как электродная система основного разряда расположена в середине акустического резонатора, то можно считать, что колебания, соответствующие четным n, не будут влиять на процессы, происходящие в газовом разряде (на него приходится узел стоячей волны), поэтому следует ограничиться рассмотрением колебания лазер, патент № 21704841 [11], так как эффективность возбуждения колебаний более высокого порядка значительно меньше [12]. Коэффициент отражения акустических волн для мод высокого порядка, выражается формулой

лазер, патент № 2170484

где n - номер моды;

d2 - расстояние между пластинами.

Поэтому частота следования импульсов выбирается исходя из условия

f0<лазер, патент № 2170484i, (29)

причем

f0 = v/bэф,

где v - скорость прокачки газа в междуэлектродном промежутке;

bэф - размер пробки нагретого газа.

По оценкам [13] bэф определяется по следующей формуле:

bэф= bo[1+(лазер, патент № 2170484-1)w/po]1/лазер, патент № 2170484, (31)

где b0 - размер пробки непосредственно после импульса:

p0 - начальное давление:

лазер, патент № 2170484 = Cp/Cv;

w - удельный энерговклад в разряд.

При распространении звуковой волны в газообразную среду начальная интенсивность с увеличением расстояния изменяется по закону [14]:

J = J0e-2лазер, патент № 2170484x, (32)

лазер, патент № 2170484

- коэффициент поглощения, a лазер, патент № 2170484 - частота звуковой волны;

лазер, патент № 2170484 - плотность среды;

лазер, патент № 2170484,лазер, патент № 2170484 - коэффициенты вязкости среды;

к - коэффициент теплопроводности;

cлазер, патент № 2170484 Cp - удельные теплоемкости при постоянном объеме и постоянном давлении.

При прохождении через ограничивающую преграду основная доля поглощения обусловлена эффектом, определяемым наличием ограничивающей поверхности, тогда коэффициент поглощения определяется по формуле

лазер, патент № 2170484

где R - характерный поперечный размер ограничивающей поверхности:

лазер, патент № 2170484 ~ lc - коэффициент вязкости газа;

l - длина свободного пробега;

c - скорость звука;

лазер, патент № 2170484 = k/лазер, патент № 2170484cp - коэффициент температуропроводности;

лазер, патент № 2170484 - плотность материала ограничивающей поверхности;

сp, cлазер, патент № 2170484 - удельные теплоемкости.

Коэффициент лазер, патент № 21704841 пропорционален энергии, поглощенной в единицу времени и единицу длины. Так акустическая волна отражается от края резонатора, то в нашем случае

лазер, патент № 21704841~ Lак/R (35)

Вследствие того, что уменьшены характерные размеры ограничивающей поверхности, благодаря введению металлических пластин теплообменника 10, произойдет увеличение коэффициента поглощения, определяемого по формуле (35). Кроме того, часть энергии звуковой волны при отражении будет поглощаться на общем основании, на котором закреплены пластины теплообменника.

Коэффициент поглощения для этого случая будет определяться по формуле [14]:

лазер, патент № 2170484

где лазер, патент № 2170484 < лазер, патент № 2170484 /2 - угол падения.

Так как источник излучения (газовый разряд) имеет размеры Iэл < R, то распространяющиеся звуковые волны имеют форму, близкую к сферической, и условие (37) можно считать выполненным. Таким образом, благодаря введению в герметичную камеру, представляющую собой акустический резонатор, системы параллельных металлических пластин 10, происходит уменьшение влияния периодических колебаний, порождаемых акустическими волнами, на активную среду, находящуюся в области основного разряда, при накачке активной среды частотно-периодическими электронными пучками.

Совместное использование вентиляторов 9 и двух теплообменников с пластинами 10 с общим основанием и охлаждаемых проточной водой, позволяет производить не только процесс подавления акустических волн, но и эффективно осуществлять процесс охлаждения и смены активной среды в междуэлектродном промежутке основного разряда благодаря увеличению поверхности контакта активной среды с поверхностью теплообменника.

Как известно [15], порог генерации определяется равенством:

k0= лазер, патент № 21704841+лазер, патент № 21704842, (38)

где k0 - начальный коэффициент усиления;

лазер, патент № 21704841,лазер, патент № 21704842 - линейные коэффициенты ослабления светового пучка, отвечающие вредным и полезным потерям.

Поэтому для обеспечения генерации необходимо, чтобы

ko>лазер, патент № 21704841+лазер, патент № 21704842 (39)

Полезные потери, обусловленные уходом части энергии из активной среды в виде лазерного излучения, определяются по формуле

лазер, патент № 2170484

где l0 - длина области, занятая активной средой в междуэлектродном промежутке;

R1, R2 - коэффициенты отражения зеркал резонатора.

Глухое зеркало резонатора 13, блока формирования и когерентного излучения, имеет коэффициент отражения R2 ~ 1 (полированное медное зеркало). Тогда из (40) следует

лазер, патент № 2170484

Вредные потери определяются рядом факторов: поглощением излучения частицами, не являющимися активными центрами, рассеиванием через боковую поверхность активной среды, дифракцией и т.д. В общем случае выражение для плотности выходящего из резонатора светового потока имеет вид [15]

лазер, патент № 2170484

где v - скорость света в активной среде;

лазер, патент № 2170484 - параметр нелинейности активного перехода.

Максимум выражения (42) достигается при

лазер, патент № 2170484

Поэтому из (41) следует для R1опт

лазер, патент № 2170484

Таким образом, для получения оптимального коэффициента отражения для определенной длины волны лазер, патент № 2170484 (для выбранного примера 10,6 мкм), необходимо комплект сменных оптических элементов снабдить оптикой, имеющей наперед заданные коэффициенты отражения.

Как известно, законы распространения рождающихся в лазерах когерентных световых пучков можно описать с помощью скалярной теории дифракции [16], и условие воспроизводства структуры пучка после полного обхода резонатора с активной средой может быть представлено в виде [17]

лазер, патент № 2170484

где u(x, y) - распределение поля на выходном зеркале резонатора;

Rопт - коэффициент отражения выходного зеркала резонатора;

k - волновой вектор;

L"0 = L" + L0(n-1) - полная оптическая длина резонатора со средой;

L" - расстояние между зеркалами резонатора;

L0 - длина активной среды;

n0 - коэффициент преломления среды:

К0 - коэффициент усиления Среды;

лазер, патент № 2170484 - интегральный оператор преобразования пучка пустого резонатора с собственными функциями Um и собственными значениями

лазер, патент № 2170484

где лазер, патент № 2170484 - фазовая поправка, обеспечивающая воспроизводство пучка по фазе на длине резонатора:

лазер, патент № 2170484 - коэффициент дифракционных потерь m моды по амплитуде.

Из (45) с учетом (46) для основной моды получим

лазер, патент № 2170484

Для того чтобы распределение комплексной амплитуды воспроизводилось не только по форме, но и имело прежнюю фазу, величина лазер, патент № 2170484 должна быть действительной, следовательно, набег фазы должен быть равен 2лазер, патент № 2170484q, где q - целое число. Таким образом, изменение интенсивности пучка после обхода имеет вид

J = лазер, патент № 21704842= J0Rоптexp(-2лазер, патент № 2170484лазер, патент № 2170484)exp(2лазер, патент № 21704840L0), (48)

где лазер, патент № 2170484лазер, патент № 2170484 - коэффициент, определяющий дифракционные потери.

При учете дополнительных потерь за счет процессов рассеивания на активных центрах и других эффектов при прохождении излучения введен общий коэффициент "вредных" потерь - лазер, патент № 21704841, и поэтому имеем окончательно

J = L0Rоптexp(-лазер, патент № 21704841)exp(2лазер, патент № 21704840L0) (49)

Найдем интенсивность излучения в объемах лазерной смеси, расположенных соосно блоку основного разряда и воздействующих на металлические полупрозрачные экраны в виде сеток 14, размещенных по ходу формирующегося когерентного излучения.

Пусть в некоторый начальный момент времени t0 от выходного зеркала резонатора, входящего в комплект сменных оптических элементов 12, отражается волна с интенсивностью J0 Rопт после полного прохода (двойное усиление), тогда суммарная интенсивность вблизи сетки будет иметь величину

лазер, патент № 2170484

В то же время вблизи сетки, находящейся перед "глухим" зеркалом резонатора 13, суммарная интенсивность определится по формуле:

J2= 2J0Rоптexp(-лазер, патент № 21704841/2)exp(лазер, патент № 21704840L0) (51)

Величина J2 определяется усилением за один проход активной среды междуэлектродного промежутка основного разряда и является суммой интенсивностей падающей волны, выходящей из междуэлектродного промежутка, и интенсивности волны, отраженной от "глухого" зеркала резонатора (Rотр=1). Так как целью нашего рассмотрения в данном случае является процесс возникновения плазменных образований вблизи поверхности сеток 14, экспонируемых с разных сторон их поверхности и имеющих характерные времена свечения, значительно большие по сравнению с временами задержки между пачками импульсов формирующегося в резонаторе когерентного излучения, вызывающего эти плазменные образования, то вследствие этого и вытекает справедливость операции суммирования интенсивностей потоков излучения, экспонирующих эти элементы.

Пусть 2лазер, патент № 21704840L0-лазер, патент № 21704841= 0, тогда и

лазер, патент № 21704840L0-лазер, патент № 21704841/2 = 0 (52)

- условие порога генерации.

Следовательно, вблизи порога имеем:

J1 = J2 = J0Rопт[1+exp(0)]=2J0Rопт (53)

Из (52) найдем коэффициент потерь лазер, патент № 21704841 :

лазер, патент № 21704841= 2лазер, патент № 21704840L0, (54)

при К0 = 0,5лазер, патент № 217048410-2 см-1, L0 = 10 см получим лазер, патент № 21704841 = 10-1.

Для оценки примем, что коэффициент потерь величина постоянная при возникновении генерации в активной среде междуэлектродного промежутка. Тогда при максимальном коэффициенте усиления (насыщение), имеем из (50), (51) и при k0 = 5лазер, патент № 217048410-2 см-1, найдем [18]:

J1=J0Rопт[1 + exp(2L0 лазер, патент № 2170484 5 лазер, патент № 2170484 10-2 - 10-1)] лазер, патент № 2170484 3,5 J0Rопт

J2 = 2J0Rоптexp[L0 лазер, патент № 2170484 5 лазер, патент № 2170484 10-2 - 0,5 лазер, патент № 2170484 10-1] лазер, патент № 2170484 3,2 J0Rопт (55)

Из анализа (55) следует, что обе сетки 14 находятся практически под воздействием одинаковой плотности энергии (с точностью до ~ 10%).

При выполнении критерия (4) и после прихода n групп высокоэнергетических электронов на фольгу 8, расположенную на рамке с отверстиями 7, и в результате взаимодействия с ней возникает тормозное излучение со сплошным спектром и граничной длиной волны [19]:

лазер, патент № 2170484гр~ eUэф/h, (56)

где e - заряд электрона:

h - постоянная Планка;

Uэф = d E, где E определяется из уравнения (6), a d - расстояние между электродами системы предыонизации.

Так как возникающее тормозное рентгеновское излучение является сферически симметричным при малых ускоряющих напряжениях (до 50 кВ) [19], то благодаря действию рентгеновского излучения происходит ионизация частиц активной среды не только в объеме междуэлектродного промежутка основного разряда, но и на значительных расстояниях от этих электродов. Для типичной лазерной смеси CO2-лазера (P=1 атм) средние концентрации электронов предыонизации составляют ~ 109 см-3 на расстоянии до 40 см от фольги [20].

При реализации эффективной предыонизации (n0 ~ 1016 см-1, n0 - концентрация начальных электронов в основном разряде) и определенном уровне вкладки энергии в основной разряд, при условии, что коэффициент усиления далек от насыщения, возникает генерация J0 в объеме активной среды между электродами основного разряда 2 и 3. Как следствие этого часть энергии когерентного излучения выводится через полупрозрачное зеркало из комплекта 12, а другая часть J0Rопт возвращается обратно. В результате на полупрозрачные экраны действуют интенсивности J1 и J2, определяемые по формулам (50) и (51).

При достижении определенного порога J1, J2 ~ 106 - 107 Вт/см2 потока лазерного излучения с импульсом микросекундной длительности, имеющего вид лидирующего пичка с последующей пологой частью, вблизи экранов возникают плазменные образования с максимумом излучения в ультрафиолетовой области спектра. Характерные концентрации электронов n ~ 1018 см-3 [21] были обнаружены для моментов от 30 нсек после начала возникновения пробоя и существовали вплоть до 100 нсек после начала пробоя.

Так как основной вклад в образование плазмы вносит лидирующий пик лазерного импульса, то остальная пологая часть импульса будет проходить через области с значительными электронными концентрациями, превышающими пороговую и определенными совместным действием тормозного рентгеновского излучения и ультрафиолетового из спектра излучения плазмы, образующейся вблизи поверхности полупрозрачных экранов (сетки).

Эффективность накачки колебаний молекул CO2 и N2, зависящая от параметра E/N и состава смеси, определяется лишь средней характеристической энергией электронов. С этой целью произведен расчет энергии электронов, находящихся в объемах, расположенных соосно с активной средой основного разряда вблизи мест установки полупрозрачных экранов из металлической сетки.

Вследствие неоднородности электрического поля между электродами основного разряда вблизи краев электродов междуэлектродная емкость увеличивается на величину [7]

лазер, патент № 2170484

где лазер, патент № 2170484C - емкость в фарадах;

L - ширина электродов;

d - расстояние между электродами:

S - площадь электродов.

Так как конструкция электродов основного разряда имеет асимметричную форму (L < lэл, где lэл длина электродов) и ограничена профилированными поверхностями, обращенными друг к другу и обеспечивающими равномерность электрического поля внутри разрядного промежутка, а внешние поверхности имеют радиусы скругления r < R, где R - характерный радиус скругления поверхностей, обращенных друг к другу, то вблизи части внешней поверхности электродов будет локализован избыточный заряд на длине отрезков протяженностью ~ L и определенной радиусом скругления r. Для оценки можно принять, что избыточный заряд, определяющий емкость, связанную с краевыми эффектами, будет локализован на краях электродов, имеющих меньший радиус округления, то есть r.

В этом случае избыточный заряд, находящийся на краях каждого электрода, может быть определен по формуле [7]

лазер, патент № 2170484

где лазер, патент № 21704840 - разность потенциалов между обоими профилированными электродами:

лазер, патент № 2170484 = 1/2, коэффициент, учитывающий наличие двух краев электрода;

лазер, патент № 2170484 - коэффициент пропорциональности, зависящий от выбора системы единиц.

Таким образом, напряженность электрического поля, создаваемая диполями на некотором расстоянии r1 от электродов вдоль оси резонатора, может быть определена по формуле

лазер, патент № 2170484

Подставив значения (57) и (58) в формулу (59), получим:

лазер, патент № 2170484

при L = 3 лазер, патент № 2170484 10-2 м,

lэл = 1,3 лазер, патент № 2170484 10-1 м,

d = 3 лазер, патент № 2170484 10-2 м,

S = 4 лазер, патент № 2170484 10-3 м2

имеем

лазер, патент № 2170484

Энергия, сообщаемая электрону на длине свободного пробега лазер, патент № 2170484, электрическом поле Eлазер, патент № 2170484 вычисляется по формуле

лазер, патент № 2170484W~eEлазер, патент № 2170484лазер, патент № 2170484

где

лазер, патент № 2170484 (62)

лазер, патент № 2170484 - средняя скорость теплового движения;

k - постоянная Больцмана;

m - масса электрона,

лазер, патент № 2170484ei - частота электрон-ионных столкновений и является функцией температур T0 и T1:

лазер, патент № 2170484ei|To~104лазер, патент № 2170484K лазер, патент № 2170484 105-106сек-1

лазер, патент № 2170484ei|T1~300лазер, патент № 2170484K лазер, патент № 2170484 109сек-1

где T0 - температура в области плазменного образования;

T1 - температура среды.

Поэтому для оценки выбираем некоторое промежуточное значение для лазер, патент № 2170484ei~107сек-1. Таким образом, имеем:

лазер, патент № 2170484

и лазер, патент № 2170484

лазер, патент № 2170484

Как видно из (63), энергия электронов достаточна для возбуждения колебательных уровней молекул CO2, N2 [22], поэтому активная среда, расположенная в соосных объемах, размещенных по обе стороны от электродов основного разряда с протяженностями лазер, патент № 2170484l ~ 10 см может быть усиливающей для пологой части импульса CO2-лазера. Чтобы пологая часть импульса CO2-лазера прошла через плазменное образование, возникающее благодаря действию лидера импульса, плазменная частота должна быть меньше частоты CO2-лазера f=3 лазер, патент № 2170484 1013 сек-1. Плазменная частота fp может быть определена по формуле

fp ~ 9лазер, патент № 2170484103ne1/2 (64)

где ne - концентрация электронов в плазме.

При низкопороговом пробое вблизи сетки ne ~ 1014 см-3 и

fp = 9лазер, патент № 2170484103лазер, патент № 2170484107 лазер, патент № 2170484 1011 сек-1 (65)

Таким образом, условие прозрачности выполняется.

Известно, что при незначительном превышении порога плазмообразования плазма пробоя среды излучением CO2-лазера при Rп < 1 мм (Rп - радиус пятна облучения) имеет размеры порядка диаметра пятна, однородна по толщине и почти сферически разлетается в полупространство. Так как каждая из сеток, установленных по обе стороны электродов основного разряда, находится под действием встречных пучков почти одинаковой интенсивности J1 и J2 (формула (55)), то вблизи элементов каждой из сеток образуются светящиеся области с характерными размерами S порядка vпл лазер, патент № 2170484 , где vпл - скорость разлета плазмы, лазер, патент № 2170484 - время жизни плазменного образования.

Поэтому с целью охвата максимальной площади заполненной плазмой, а, как следствие этого, создание необходимой концентрации электронов, участвующих в возбуждении частиц части активной среды вне междуэлектродного промежутка, необходимо обеспечить перекрытие, при условии прозрачности плазмы, плазменных образований от соседних элементов сетки, то есть выполнить условие

l1 < 2 vплtп (66)

где tп - длительность переднего фронта импульса излучения лазера. Дополнительный объем внеэлектродной активной среды может быть найден по формуле

Vдоп = kdL лазер, патент № 2170484 l1

где k - коэффициент, учитывающий наличие двух сеток;

d - междуэлектродное расстояние;

L - ширина электродов;

l1 - шаг сетки.

Таким образом, наличие сеток приводит к дополнительному энергосъему энергии когерентного излучения. При выбранной геометрии электродов имеем

лазер, патент № 2170484

Следовательно, получаем выигрыш в энергии на 8%.

Для того чтобы устранить влияние электронных облаков плазменных образований, возникших вблизи сеток, на кинетику процессов в основном разряде с целью предотвращения стримеров необходимо сетки устанавливать на расстояниях l2, обеспечивающих затухание плазмы за счет релаксационных процессов, где

l2>vпллазер, патент № 2170484п+lэл/2, (69)

где l2 - расстояние от оси электродов основного разряда до места установки сетки;

лазер, патент № 2170484п - длительность импульса излучения лазера;

lэл - длина электродов основного разряда.

Соотношение (69) означает, что процессы, происходящие в плазме, не влияют на разрядные токи в цепи основного разряда.

В результате формирования блоками 18 двух импульсов высокого напряжения с необходимыми частотно-временными и амплитудными характеристиками на системы катод - общий перфорированный электрод и общий перфорированный электрод - перфорированный анод подаются с временной задержкой между собой импульсы высокого напряжения. После осуществления процесса предыонизации рентгеновским излучением, достижения определенной пороговой концентрации электронов в междуэлектродном промежутке основного разряда и подаче на него импульса высокого напряжения с одного из блоков 18 осуществляется накачка активной среды и, как следствие этого, возникновение генерации импульса когерентного излучения.

После прохождения одного из импульсов когерентного излучения из серии и в результате действия процессов, определяющих характеристики импульса лазерного излучения, происходят как нагрев активной среды, так и генерация акустических волн, которые ухудшают параметры среды. Использование вентиляторов 9 с конфузором в область основного разряда и пластин теплообменников 10 позволяет одновременно осуществить процесс как смены объема активной среды, так и охлаждения ее во всей герметичной камере 15.

Так как электроды 2, 3 имеют гладкие профилированные поверхности, то эта форма способствует устранению турбулентности в потоках среды через промежуток основного разряда, а ламинарность потока позволяет уменьшить градиенты локальных электронных концентраций в нем. Выбор частоты следования импульсов исходя из условия (29) позволяет "подготовить" активную среду к приходу следующего импульса серии и восстановить энергосъем лазерной энергии, близкий к энергосъему предыдущего импульса.

В приведенном выше рассмотрении в качестве примера выбрана активная среда CO2-лазера. Описанное устройство может быть использовано для получения когерентного излучения и на других активных средах, обеспечивающих генерацию в широком диапазоне длин волн. Поэтому система газообеспечения 11 содержит ряд емкостей, в которых находятся смеси: SF6:H2, XeCl, ArXe и др. Для получения генерации, например на XeCl лазер, патент № 2170484 305 нм, необходимо осуществить откачку герметичной камеры 15, сменив предварительно полупрозрачное зеркало из комплекта 12, запустить новую смесь.

Таким образом, предложенное устройство благодаря универсальности конструкции позволяет расширить свой спектральный диапазон и повысить энергетические характеристики при работе в частотно-перидическом режиме.

В настоящее время разработана и изготовлена установка, использующая изложенные принципы, и проведены предварительные испытания в моноимпульсном режиме на смесях SF6:H2:C2H6, ArHe, N2 при атмосферном давлении, а на смеси CO2:N2:He получена генерация в частотно-импульсном режиме.

Источники информации

1. В.Ф. Басманов, В.С. Босамыкин, В.В. Горохов и др., ЖТФ, 1982, т. 52, N 1, с. 128.

2. А. Г. Гордейчик, А.Г. Масленников, А.А. Кучинский и др., "Квантовая электроника", 1991, т. 18, N 10 , с. 1173.

3. С.Н. Баранов, В.В. Горохов, В.И. Карелин, А.И. Павловский, П.Б. Репин "Квантовая электроника", 1991, т. 18, N 7, с. 891 - прототип.

4. Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. "Физическая кинетика". - М.: Наука, с. 218, 225.

5. Ю.Л. Станкевич, В.Г. Калинин. ДАН СССР, 177, N 1, 72, 1967.

6. А.П. Бабич, Ю.Л. Станкевич. 1972, ЖТФ, T. XLII, 68, с. 1669.

7. Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. "Электродинамика сплошных сред". - М.: Наука, 1982, с. 31, 36.

8. Сборник "Разработка и применение источников интенсивных электронных пучков", Новосибирск: Наука, 1976, с. 89.

9. Ю. И. Бычков, Ю.Д. Королев, Г.А. Месяц и др. "Инжекционная газовая электроника", Новосибирск: Наука, 1982, с.78.

10. Сборник "Мощные наносекундные импульсные источники ускоренных электронов", Новосибирск: Наука, 1974, с. 34.

11. В. Ю. Баранов, Б.Я. Любимов и др. "Квантовая электроника", 1979, т. 6, N 1, с. 184.

12. Л.А. Вайнштейн. "Теория дифракции и метод факторизации". - М.: Советское радио, 1966, с. 253.

13. В.Ю. Баранов, В.В. Бреев, Д.Д. Малюта, В.Г. Низьев. "Квантовая электроника", 1977, т. 4, N 9, с. 1861.

14. Л. Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. "Гидродинамика". - М.: Наука, 1986, с. 424.

15. Л. В. Тарасов. "Физика" процессов в генераторах когерентного оптического излучения". - М.: Радио и связь, 1981, с. 90-98.

16. М. Борн, Э. Вольф. "Основы оптики". - М.: Наука, 1970.

17. Ю. А. Ананьев. "Оптические резонаторы и проблема расходимости лазерного излучения". -М.: Наука, 1979, с. 63.

18. "Газовые лазеры". Сборник. - М.: Мир, 1986, с. 296.

19. Ф.Н. Хараджа. "Общий курс рентгенотехники". - М.: Энергия, 1966, с. 34, 47.

20. А. В. Козырев, Ю.Д. Королев и др. "Квантовая электроника", 1984, т. 11, с. 524.

21. Г. В. Островская, А.Н. Зайдель, УФН, 1973, т. 111, вып. 4, с. 594-595.

22. Е.П. Велихов, В.Ю. Баранов, В.С. Летохов и др. "Импульсные CO2-лазеры и их применение для разделения изотопов". - М.: Наука, 1983, с. 22.

Класс H01S3/0977 с дополнительными средствами для ионизации

импульсно-периодический те-лазер -  патент 2419933 (27.05.2011)
газовый лазер -  патент 2408961 (10.01.2011)
электродная система те-лазера -  патент 2340990 (10.12.2008)
газоразрядный лазер -  патент 2334325 (20.09.2008)
способ получения безыскрового разряда в плотных газах и устройство для его осуществления (варианты) -  патент 2297071 (10.04.2007)
устройство накачки широкоапертурного газового лазера или усилителя высокого давления -  патент 2212083 (10.09.2003)
способ получения когерентного излучения -  патент 2164723 (27.03.2001)
электродное устройство с предварительной ионизацией ультрафиолетовым излучением от коронного разряда -  патент 2155421 (27.08.2000)
устройство накачки мощного импульсно-периодического газового лазера -  патент 2141708 (20.11.1999)
способ инициирования газового разряда в газоразрядных приборах с холодным катодом -  патент 2140114 (20.10.1999)
Наверх