оптико-спектральный микроанализатор

Классы МПК:H01J37/252 приборы для анализирования пятна с помощью электронных или ионных лучей; микроанализаторы
G01J3/00 Спектрометрия; спектрофотометрия; монохроматоры; измерение цвета
Автор(ы):
Патентообладатель(и):Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Приоритеты:
подача заявки:
2000-03-09
публикация патента:

Оптико-спектральный микроанализатор может быть использован в материаловедении, микроэлектронике, медицине и биологии, предназначен для получения видеоспектральных изображений объектов пери увеличении до 2000 раз и проведения локальных (до 1 мкм) оптико-спектральных измерений отдельных элементов изображения, проведения количественного и качественного анализов микрочастиц. Микроанализатор содержит микроскоп, видеомонитор или ЭВМ, видеокамеру и монохроматор с двумя выходами излучения на длинах волн оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739101, оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739102, в двух выходах которого установлены оптические затворы, оптически соединенные светопроводом с объективом микроскопа. Светопровод имеет два входа и один выход. В регистрирующую схему введены ИС вычитания, линия задержки, двухкоординатный регистрирующий прибор и импульсный генератор, который синхронно открывает оптические затворы, входы линии задержки и ИС вычитания, которая через усилитель соединена с телемонитором ЭВМ, а при записи спектра с двухкоординатным регистрирующим прибором, второй вход которого соединен с электромеханическим фиксатором рабочей длины волны монохроматора. Обеспечено повышение чувствительности измерений. 1 ил.
Рисунок 1

Формула изобретения

Оптико-спектральный микроанализатор, включающий осветитель, микроскоп, видеокамеру, видеомонитор или ЭВМ, отличающийся тем, что введены генератор периодических импульсов прямоугольной формы, соединенные с видеокамерой интегральная схема вычитания и линия задержки, усилитель и двухкоординатный самопишущий прибор, причем в качестве осветителя использован монохроматор, имеющий два выхода монохроматического излучения, в которые вставлены два оптических затвора, которые оптически соединены с проекционным объективом микроскопа светопроводом, который имеет два входа и один выход, при этом выход генератора периодических импульсов прямоугольной формы соединен с двумя оптическими затворами, входом линии задержки и интегральной схемы вычитания, выход интегральной схемы вычитания через усилитель соединен со входом видеомонитора или ЭВМ, а в режиме получения спектров поглощения или отражения отдельных элементов изображения один из входов двухкоординатного самопишущего прибора соединен с усилителем, а другой вход соединен с электромеханическим фиксатором рабочей длины волны монохроматора.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к области оптической микроскопии и спектроскопии, а более конкретно к телевизионным микроскопам, и может быть использовано в материаловедении, микроэлектронике, медицине и биохимии для анализа пленочных препаратов.

Известен рентгеновский микроанализатор, в котором образец облучается сфокусированным в точку электронным пучком в микрообъеме 1-2 мкм3 электронами высоких энергий, возбуждается характеристическое рентгеновское излучении, которое разлагается в спектр (1). По величине длины волны оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910 определяется качественный элементный состав материала, а по интенсивности излучения определяется процентное содержание элементов в материале.

Недостатком прибора является то, что прибор не позволяет определять химический состав материала и применим только в материаловедении для анализа шлифов из твердых материалов, обладающих высокой температурой плавления.

Известны синтетические спектрометры и фотометры, позволяющие получать оптические спектры отражения и пропускания жидкостей и пленочных материалов с площадей, больших 500 мкм2. Приборы позволяют проводить химический анализ различных материалов. Известен спектрометр, в котором дополнительной связью введен микроскоп для выбора участка для анализа (2). Микроскоп работает в видимом диапазоне длин волн и не изменяет основные выходные характеристики используемого спектрометра, то есть прибор практически используется по прямому назначению.

Недостатком прибора является низкая локальность измерений (более 500 мкм2).

Известен микроскоп, в котором в качестве осветителя используются различные виды излучения: ультрафиолетовое, световое, инфракрасное и лазерное (3).

Недостатком микроскопа является то, что указанные источники излучений работают в широком спектральном интервале оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910 >> 100 нм, а лазеры работают только на фиксированных длинах волн, а поэтому микроскоп не может быть использован как оптико-спектральный прибор.

Наиболее близким к заявленному устройству является телевизионный микроскоп, в котором визуализация изображений производится видеокамерой, а регистрация изображений производится с помощью телевизионного монитора, сублимационного видеопринтера или ЭВМ (4).

Недостатком микроскопа является то, что в качестве освежителя используются различного типа лампы, работающие в широком (видимом) спектральном интервале. Применяемые регистрирующие приборы не позволяют измерять спектры отражения или поглощения в отдельных элементах изображения.

Целью заявляемого объекта является получение дифференциальных видеоспектральных изображений (разность двух картин, полученных на длинах волн оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739101,оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739102) микрообъектов размером до 1 мкм в узком спектральном интервале оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910 = 5-10 нм и в широком рабочем диапазоне длин волн оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910 = 390 - 1000 нм, получение спектров отражения (поглощения) с отдельных элементов изображения размером до 1 мкм, т.е. проведение локального качественного и количественного оптико-спектрального анализа, увеличение чувствительности микроскопических измерений более чем в 10 раз, при одновременном повышении линейного разрешения микроскопа.

Цель достигается тем, что большинство материалов имеет цвет (линии отражения, поглощения в широком спектральном интервале оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910 > 50 нм), а более конкретно имеют отдельные спектральные линии отражения, поглощения в узком спектральном интервале оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910 < 10 мм, которые обусловлены физико-химическими свойствами анализируемого материала.

Для реализации изобретения изменен принцип работы микроскопа и преобразован в оптико-спектральный, локальный анализатор. Осветитель микроскопа заменен монохроматором, который имеет два выхода излучения с длиной волн оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739101 и оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739102,монохроматор через оптические затворы оптически соединен с микроскопом. Работой монохроматора (оптических затворов), регистрирующей схемы и видеокамеры управляет импульсный генератор периодических колебаний. Генератор открывает оптические затворы и входы ИС вычитания и линии задержки. Выход ИС вычитания через усилитель соединен телемонитором, ЭВМ или при записи спектра с двухкоординатным регистрирующим прибором, второй вход которого соединен с электромеханическим фиксатором рабочей длины волны монохроматора.

Новизна заявляемого устройства состоит в том, что в телевизионном микроскопе в качестве осветителя используется монохроматор, который обеспечивает в узком спектральном интервале оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910 = 5-10 нм плавное изменение рабочей длины волны оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910 = 360-1000 нм, а видеокамера работает по двухлучевой схеме, связана через импульсный генератор с монохроматором, который имеет два выхода излучения на длинах волн оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739101 и оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739102 . Импульсный генератор управляет работой монохроматора (периодически открывает и закрывает оптические затворы), ИС вычитания и линии задержки, которая обеспечивает задержку сигнала на время открытия затвора. Со схемы вычитания усиленный сигнал поступает на телевизионный монитор ЭВМ.

В режиме локального оптико-спектрального анализатора отдельных элементов телевизионного изображения телевизионный растр уменьшается до размера анализируемой области или выключается (локальность 1-2 мкм), а сигнал разности, зарегистрированный на длинах волн оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739101 и оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739102, с ИС вычитания поступает на вход двухкоординатного регистрирующего прибора, на другой вход которого с электромеханического фиксатора рабочей длины волны оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910p поступает сигнал величины длины волны и т.д. Проводится запись дифференциального спектра отражения или пропускания.

Возможна работа оптико-спектрального анализатора (ОСМ) и по однолучевой схеме. В этом случае линия задержки заменяется ИС памяти, в которую производится запись изображения при освещении образца на произвольной длине волны, включая широкий спектральный интервал, а регистрируемый телевизионный сигнал поступает на ИС вычитания синхронно с сигналом с ИС памяти.

Оптимальными особенностями ОСМ является то, что:

1) по принципу получения информации ОСМ аналогичен рентгеновскому микроанализатору, но в нем используется оптическое излучение монохроматора, а поэтому производится, локальный оптико-спектральный анализ и получают видеоспектральные изображения микроструктуры образцов.

2) ОСМ является комбинаций монохроматора (оптического спектрометра) и телевизионного микроскопа. Соединение двух приборов позволило получить сверхсуммарный эффект:

а) как оптического спектрометра повышена локальность измерений в 100-200 раз и составляет величину 1-2 мкм;

б) как микроскопа повышена чувствительность измерений в 10-100 раз, чем позволяет не только однозначно определить цвет микрочастиц, но и определить их спектральные характеристики.

На чертеже приведена функциональная схема оптико-спектрального микроанализатора ОСМ, где:

1 - металлографический микроскоп, работающий на отражение и прохождение света сквозь образец;

2 - образец;

3 - монохроматор;

4, 5 - оптические затворы;

6 - светопровод с двумя входами и одним выходом;

7 - видеокамера;

8 - импульсный генератор;

9 - ИС вычитания;

10 - линия задержки;

11 - усилитель;

12 - видеомонитор;

13 - ЭВМ

14 - двухкоординатный регистрирующий прибор;

15 - электромеханический фиксатор рабочей длины волны.

Микроскоп 1 оптически связан с монохроматором 3, светопроводом 6, который имеет два входа и один выход. Входы светопровода 6, например волоконного, оптически соединены с оптическими затворами 4,5, например ячейками Керра, которые установлены в местах выхода монохроматического излучения длиной волны оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739101 и оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739102 , причем оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739101- оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739102 оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910 20 - 50 нм. Выход светопровода устанавливается в отверстие 15 микроскопа (отражение, прохождение света), где ранее устанавливались ламповые осветители микроскопа.

В микроскопе 1 установлена видеокамера 7, режим работы которой управляется импульсным генератором 8. Видеокамера соединена с интегральной схемой ИС вычитания 9 и линией задержки 10, через которую задержанный по времени сигнал поступает на схему вычитания 9. Сигнал разности двух изображений после усиления усилителем 11 поступает на видеомонитор 12, ЭВМ 13, и двухкоординатный самопишущий прибор 14, который по второму каналу соединен с электромеханическим фиксатором 15 рабочей длины волны монохроматора 3.

ОСМ работает в режиме видеоспектрометра и локального оптического спектрометра. В режиме видеоспектрометра монохроматическое излучение монохроматора ( оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739101,оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739102 ), плавно регулируемое по рабочей длине волны оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910p электромеханическим фиксатором, проходит через оптические затворы 4, 5, светопривод 6 и линзы осветителя микроскопа (отражение, прохождение сквозь образец). Прошедшее сквозь образец излучение формирует теневое изображение микроструктуры образца, которое после увеличения объективом микроскопа фокусируется на фоточувствительный слой фотоприемника видеокамеры. Телевизионный сигнал видеокамеры 7 поступает на ИС вычитания и линию задержки 10, которая соединена со схемой вычитания. Генератор 8 периодическими импульсами открывает затвор 4 (оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739101) и линию задержки 8 на время, равное времени открытия затвора, задерживается телевизионный сигнал. Импульсом противоположной полярности (длительность одинакова) открывается затвор 5 (оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739102) и зарегистрированный телевизионный сигнал одновременно с сигналом с линии задержки поступает на схему вычитания. Разность двух телевизионных сигналов после усиления усилителем 11 поступает на регистрирующие приборы 12, 13, 14, с помощью которых производится визуализация изображений микроструктуры образца, представляющая собой разность изображений, полученных на длинах волны оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739101 и оптико-спектральный микроанализатор, патент № 21739102.

В режиме записи спектра разность двух телевизионных сигналов с ИС вычитания поступает на вход двухкоординатного регистрирующего прибора 14, а на другой вход с электромеханического фиксатора длины волны монохроматора 3 поступает величина длины волны и т.д., производится запись спектра.

Видеоканалы имеют регулировки размера растра видеокамеры и видеомонитора и с помощью их уменьшается размер калибра до величины анализируемой области (частицы). Максимальная локальность достигается при выключении генераторов.

Практически ОСМ является видеоспектрометром, который обеспечивает получение видеокартин в узком спектральном интервале оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910оптико-спектральный микроанализатор, патент № 2173910 = 5-10 нм, в широком диапазоне длин волн, определяемого используемым монохроматором, причем чувствительность ОСМ как микроскопа повышается в 10 - 100 раз и находится на уровне чувствительности используемых в промышленности оптических спектрометров. Локальность оптико-спектральных измерений определяется характеристиками используемого микроскопа и не хуже 1 мкм, что в 50-100 раз выше оптико-спектральных измерений, проводимых с помощью спектрометров и монохроматоров.

Для получения изображений вычитания ОСМ может работать по одноканальной схеме, причем линия задержки заменяется ИС памяти, в которую записано изображение объекта, полученное при его облучении излучением с произвольной длиной волны и спектральным интервалом, например видимое или ультрафиолетовое излучение.

Экспериментальный образец ОСМ (видеоспектрометр) выполнен на базе микрофотометра МКФ-2, микроскопа типа "Метан-Р1", видеоканала "Электроника-409ВКУ". Для проведения локального оптико-спектрального анализа и математической обработки элементов изображения использовалась импортная ЭВМ РС-ХТ. Для соединения (электрически и оптически) указанных на чертеже элементов ОСМ был изготовлен блок управления, включающий генератор периодических импульсов, ИС вычитания, линию задержки и выходной усилитель. При необходимости получения боле высоких технических характеристик, относительно указанных в описании, необходимо использовать микроскоп высокого класса, например МИМ-9М, и монохроматор большей мощности, например "МДР-23". Разрешение микроскопа увеличивается, так как практически устраняется хроматическая аберрация линз.

Источники информации:

1. Вейнберг Ф. Приборы и методы физического металловедения, вып. 2, изд. "Мир", Москва, 1973 г.

2. Авторское свидетельство N 1507026, 1987 г.

3. Авторское свидетельство N 648142, 1975 г.

4. Вейнберг Ф. Приборы и метопрототип физического металловедения, вып. 1. Изд. "Мир", Москва, с. 315, 1973 г. - прототип.

Класс H01J37/252 приборы для анализирования пятна с помощью электронных или ионных лучей; микроанализаторы

Класс G01J3/00 Спектрометрия; спектрофотометрия; монохроматоры; измерение цвета

космический телескоп -  патент 2529052 (27.09.2014)
фотометр пламенный -  патент 2526795 (27.08.2014)
спектрально-селективный портативный раман-люминесцентный анализатор -  патент 2526584 (27.08.2014)
устройство спектральной селекции оптического излучения -  патент 2525713 (20.08.2014)
чувствительный элемент сенсора для молекулярного анализа -  патент 2524453 (27.07.2014)
многоходовая фокусирующая система и способ фокусировки лазерного излучения, обеспечивающий многократное прохождение лазерного пучка через измерительный объем -  патент 2523735 (20.07.2014)
способ и устройство для измерения переходных тепловых характеристик светоизлучающих диодов -  патент 2523731 (20.07.2014)
зеркальный автоколлимационный спектрометр -  патент 2521249 (27.06.2014)
сканирующее интерференционное устройство в виде двухзеркального интерферометра фабри-перо -  патент 2518366 (10.06.2014)
способ контроля структуры стали -  патент 2518292 (10.06.2014)
Наверх