способ нанесения рутениевого покрытия
Классы МПК: | C25D3/50 металлов группы платины C25D5/18 нанесение покрытий с помощью модулированного, пульсирующего или реверсированного тока |
Автор(ы): | Карабанов С.М., Быков А.Н., Локштанова О.Г., Рябко С.М., Родимов В.А., Шишкина Л.В. |
Патентообладатель(и): | ОАО "Рязанский завод металлокерамических приборов" |
Приоритеты: |
подача заявки:
2001-05-04 публикация патента:
10.04.2003 |
Изобретение относится к гальванотехнике и может быть использовано в производстве электрических контактов, в том числе герметизированных. Технический результат состоит в получении электролитическим методом низкопористых, менее напряженных рутениевых покрытий, имеющих улучшенные коммутационные свойства при толщине менее 0,5 мкм и получении рутениевых покрытий без трещин при толщине более 1,5 мкм. Способ заключается в электролитическом осаждении рутениевых покрытий из электролитов, получаемых путем растворения биядерного нитридо-аква-хлоридного комплекса рутения, при этом электролиз проводят в режиме импульсного тока с параметрами: период 1 мс, скважность 10%, средняя во времени катодная плотность тока 0,5
8,0 А/дм2. 2 табл.
Рисунок 1
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
Формула изобретения
Способ электролитического осаждения рутениевых покрытий из электролитов, получаемых путем растворения биядерного нитридо-аквахлоридного комплекса рутения, отличающийся тем, что электролиз проводят в режиме импульсного тока с параметрами: период 1 мс, скважность 10%, средняя во времени катодная плотность тока 0,5![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к гальванотехнике, в частности касается электролитического осаждения рутения на рабочие поверхности электрических контактов, например на контакт-детали герконов, которые используются в качестве коммутационных элементов в различных системах электронной техники. Известен способ [1] электролитического рутенирования из электролита, в который рутений вводится в виде аммонийной соли биядерного нитридо-аква-хлоридного комплекса [Ru2N(Н2O)хСlу](NН4)3, где х+у=10. Указанный электролит имеет рН 0,5![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
Рутений (мет.) - 10
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
Сульфамат аммония - 30
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
рН - 1,0
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
Рутений вводился в виде аммонийной соли биядерного нитридо-аква-хлоридного комплекса [Ru2N(H2O)2Cl8](NH4)3. Условия электролиза:
температура 50
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
средняя (во времени) катодная плотность тока 0,5
![способ нанесения рутениевого покрытия, патент № 2202006](/images/patents/268/2202002/247.gif)
1. - ток 5 мкА, напряжение 50 мВ, частота 100 Гц;
2. - ток 90 мА, напряжение 12 В, частота 100 Гц). Полученные результаты представлены в табл.1. Для герконов средней и более высокой мощности необходимо применение толщин рутениевого покрытия более 1,5 мкм по подслою золота толщиной 1,0 мкм. При таких толщинах рутениевые покрытия склонны образовывать микротрещины. В зависимости от режима нанесения предельные толщины рутениевого покрытия, при которых начинают зарождаться микротрещины, бывают различными. Данные по опробованию режима электролиза на образование микротрещин в рутениевом покрытии представлены в табл.2. С помощью подбора режима импульсного тока была определена предельно допустимая толщина рутениевого покрытия без микротрещин - 2,5 мкм, по сравнению с прототипом [1] - 1,5 мкм. На основании проведенных экспериментов (табл. 1 и 2) был выбран оптимальный импульсный режим электролиза: Дк=0,5-8,0 А/дм2, Т=1 мс, скважность 10%. Увеличение периода импульсного тока с 1 до 2 мс и увеличение скважности с 10 до 20% приводит к резкому ухудшению рассмотренных параметров электролитического покрытия,
Источник информации
1. Патент США 3576724, апрель 27, 1971 г.
Класс C25D3/50 металлов группы платины
способ нанесения гальванического покрытия на съемные зубные протезы - патент 2469697 (20.12.2012) | |
способ изготовления платинотитановых анодов - патент 2267564 (10.01.2006) |
Класс C25D5/18 нанесение покрытий с помощью модулированного, пульсирующего или реверсированного тока