полупроводниковый электролюминесцентный источник света с перестраиваемым цветом свечения
Классы МПК: | H01L33/00 Полупроводниковые приборы по меньшей мере с одним потенциальным барьером или с поверхностным барьером, специально предназначенные для светового излучения, например инфракрасного; специальные способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов или их частей; конструктивные элементы таких приборов |
Автор(ы): | Ермаков О.Н., Каплунов М.Г., Бутаева А.Н., Ефимов О.Н., Белов М.Ю., Пивоваров А.П., Якущенко И.К. |
Патентообладатель(и): | Институт проблем химической физики РАН, Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Сапфир" |
Приоритеты: |
подача заявки:
2001-04-27 публикация патента:
20.04.2003 |
Изобретение относится к светодиодам, содержащим р-n-переход в качестве основного источника излучения и фотолюминесцирующее вещество, преобразующее излучение основного источника в излучение с другой длиной волны. Сущность: светоизлучающий диод содержит полупроводниковый электролюминесцентный кристалл на основе нитрида галлия и органическую фотолюминесцентную область. Полупроводниковый кристалл обеспечивает многополосный спектр электролюминесценции, который содержит по крайней мере две компоненты, одна из которых лежит в УФ-области, а другие в видимой области. При этом УФ-полоса не насыщается в широком диапазоне токов, в то время как более длинноволновые полосы насыщаются при достаточно большой величине тока через прибор. Органическая фотолюминесцентная область обладает высокой эффективностью преобразования УФ-излучения в видимое излучение, а спектральная полоса поглощения органического материала близка к спектральной форме УФ полосы излучения полупроводникового кристалла и частично перекрывает более длинноволновые полосы электролюминесценции, причем в качестве органического материала используются следующие вещества или их смеси: поли(4,4"-(4""-метил)трифениламин) с молекулярно-массовым распределением Mn=2332, Mw=3586; бис(N-(2-оксибензилиден)-4-третбутиланилин)цинк; твердый раствор нильского красного в бис(N-(2-оксибензилиден)-4-третбутиланилин)цинке при концентрации нильского красного от 0,l до 5 мас.%. Технический результат: перестройка цвета свечения светодиода с большой силой света - Iv>300 мкд при прямом токе Iпр20 мА как в процессе изготовления светодиода путем добавления различных поглощающих и фотолюминесцирующих веществ, так и в процессе эксплуатации за счет изменения электрических параметров питающего напряжения. 3 з.п. ф-лы, 10 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10
Формула изобретения
1. Полупроводниковый электролюминесцентный источник света, включающий полупроводниковый кристалл со сформированным в нем р-n-переходом, генерирующий световой поток при приложении прямого смещения, а также, по меньшей мере, один слой органического люминесцентного материала, частично поглощающего излучение кристалла и преобразующего его в излучение с большей длиной волны, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового кристалла он содержит кристалл с многополосным спектром электролюминесценции, включающий, по меньшей мере, две полосы с регулируемым путем изменения параметров питающего напряжения соотношением интенсивностей этих полос, причем одна из полос лежит в ультрафиолетовой (УФ) области спектра, а другие в видимой области, а слой органического люминесцентного материала содержит одно или более органических люминесцентных веществ, причем спектральная полоса поглощения, по меньшей мере, одного из органических люминесцентных веществ лежит в области УФ-полосы излучения полупроводникового кристалла. 2. Полупроводниковый электролюминесцентный источник света по п.1, отличающийся тем, что полупроводниковый кристалл имеет УФ-полосу электролюминесценции, не насыщающуюся в области больших токов через кристалл, и, по меньшей мере, одну полосу электролюминесценции в видимой области, насыщающуюся в области больших токов. 3. Полупроводниковый электролюминесцентный источник света по пп.1 и 2, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового электролюминесцентного кристалла содержит материал на основе нитрида галлия, представляющий собой многослойную эпитаксиальную структуру, сформированную на подложке из карбида кремния или сапфира и содержащую последовательно: слой n-типа проводимости из нитрида галлия, легированного кремнием, компенсированный слой из нитрида галлия, легированного цинком, и слой р-типа проводимости из нитрида галлия, легированного магнием. 4. Полупроводниковый электролюминесцентный источник света по п.1, отличающийся тем, что в качестве органических люминесцентных материалов содержит вещества и/или их смесь, выбираемые из группы: смесь олигомеров трифениламина поли(4,4"-(4""-метил)трифениламин) с молекулярно-массовым распределением Mn= 2332, Mw=3586, бис(N-(2-оксибензилиден)-4-третбутиланилин)цинк, твердый раствор нильского красного в бис(N-(2-оксибензилиден)-4-третбутиланилин)цинке при концентрации нильского красного 0,1-5%.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к полупроводниковым приборам, предназначенным для излучения света, а именно к светодиодам, содержащим р-n переход в качестве основного источника излучения и фотолюминесцирующее вещество, преобразующее излучение основного источника в излучение с другой длиной волны. Светодиоды из неорганических полупроводниковых материалов хорошо известны и широко применяются в технике. Например, известен светоизлучающий диод на основе двухпереходной структуры фосфида галлия, в которой со стороны (111)В располагается р-n переход, легированный Zn и О и излучающий красный свет. Сформированный со стороны (111)А р-n переход легируется азотом и излучает зеленый свет [О.Н. Ермаков, В.П. Сушков. Полупроводниковые знакосинтезирующие индикаторы. - М.: Радио и связь, (1990)]. Сила света прибора при токе Iпр=20 мА составляет 1-2 мкд. Одной из важных задач в области электролюминесцентных источников света является создание излучателей с различными цветовыми оттенками излучения. Существуют светодиоды различных цветов излучения, однако каждый цвет требует полупроводниковых материалов разного состава с разной структурой устройства, что приводит к необходимости применения в каждом случае существенно различной технологии производства. Получение различных цветов излучения существенно облегчается при применении смешанной схемы, когда в состав изделия кроме электролюминесцентного полупроводникового излучателя входит фотолюминесцирующее вещество, которое полностью или частично поглощает излучение полупроводникового излучателя и преобразует его в излучение с другой длиной волны [Международный патент WO 9750132 A1 от 31.12.97]. Особенно перспективно применение органических люминофоров в силу огромного разнообразия органических веществ с высоким квантовым выходом фотолюминесценции и возможности получения на их основе различных цветовых оттенков. В настоящее время существуют также светодиоды, в которых применяются только органические материалы [L.J. Rothberg, A.J. Lovinger, Status and prospectus for organic electroluminescence, J. Mater. Sci. 11, 12 (1996) 3174-3187] , однако их применение пока ограничивается проблемой деградации органического материала при прохождении тока. Поэтому наиболее перспективно применение гибридной схемы с неорганическим полупроводниковым излучателем и органическим люминофором, преобразующим цвет излучения [Патент США 5966393, от 12.10.99, Патент США 5895932, oт 20.04.99]. Наиболее близким к настоящему изобретению являются светоизлучающие диоды, предложенные в патенте США [Патент США 5898185, от 27.04.99], в которых УФ-излучение полупроводникового светодиода на основе нитрида галлия преобразуется органическими люминофорами, в качестве которых используются вещества, применяемые обычно в полностью органических светодиодах. Прибор, предложенный в прототипе, содержит электролюминесцентный полупроводниковый кристалл и фотолюминесцентный слой, причем электролюминесцентный кристалл содержит слой GaN: Mg с р-типом проводимости и слой GaN:Si с n-типом проводимости, а фотолюминесцентный слой выполняется на основе органического материала, например трис(8-оксихинолята) алюминия (Alq3). Электролюминесцентный кристалл обеспечивает однополосное излучение в УФ-области спектра (380 нм), которое возбуждает фотолюминесценцию в органическом материале. Недостатком известного технического решения является то, что использование указанной конструкции не обеспечивает перестройки цветовых характеристик излучения в процессе эксплуатации. Регулировка цвета свечения в указанном прототипе может быть достигнута только на стадии изготовления светодиода путем применения различных материалов, входящих в состав светодиода. Задачей настоящего изобретения является создание светодиода с большой силой света (Iv>300 мкд при прямом токе Iпр20 мА), в котором перестройка цвета свечения может быть достигнута как в процессе изготовления светодиода путем добавления различных поглощающих и фотолюминесцирующих веществ, так и в процессе эксплуатации за счет изменения электрических параметров питающего напряжения. Задача решается тем, что в полупроводниковом электролюминесцентном источнике света, включающем полупроводниковый кристалл со сформированным в нем р-n переходом, генерирующим световой поток при приложении прямого смещения, а также, по меньшей мере, один слой органического люминесцентного материала, частично поглощающего излучение кристалла и преобразующего его в излучение с большей длиной волны, в качестве полупроводникового кристалла содержится кристалл с многополосным спектром электролюминесценции, включающим, по меньшей мере, две полосы с регулируемым путем изменения параметров питающего напряжения соотношением интенсивностей этих полос, причем одна из полос лежит в ультрафиолетовой (УФ) области спектра, а другие в видимой области, а слой органического люминесцентного материала содержит одно или более органических люминесцентных веществ, причем спектральная полоса поглощения, по меньшей мере, одного из органических люминесцентных веществ лежит в области УФ-полосы излучения полупроводникового кристалла. Органический люминесцентный материал преобразует невидимое УФ-излучение кристалла в видимое с большей длиной волны, чем для излучения кристалла. Изменение соотношения интенсивностей УФ и видимых полос излучения кристалла путем изменения параметров питающего напряжения приводит к соответствующему изменению соотношения интенсивностей полос излучения кристалла и органического материала в видимой области, что и дает эффект регулировки цвета свечения источника в процессе его эксплуатации. В полупроводниковом электролюминесцентном источнике света полупроводниковый кристалл имеет УФ-полосу электролюминесценции, не насыщающуюся в области больших токов через кристалл, и, по меньшей мере, одну полосу электролюминесценции в видимой области, насыщающуюся в области больших токов, что и делает возможным регулировку соотношения интенсивностей полос электролюминесценции полупроводникового кристалла путем изменения параметров питающего напряжения. Полупроводниковый электролюминесцентный источник света в качестве полупроводникового электролюминесцентного кристалла содержит материал на основе нитрида галлия, представляющий собой многослойную эпитаксиальную структуру, сформированную на подложке из карбида кремния или сапфира и содержащую последовательно: слой n-типа проводимости из нитрида галлия, легированного кремнием, компенсированный слой из нитрида галлия, легированного цинком, и слой р-типа проводимости из нитрида галлия, легированного магнием. Полупроводниковый электролюминесцентный источник света, содержащий такой электролюминесцентный кристалл, характеризуется силой света Iv>400 мкд при прямом токе Iпр=20 мА и имеет двухполосный спектр излучения с УФ-полосой при 363 нм и более длинноволновой широкой полосой в области 400-450 нм с максимумом при 416 нм. Увеличение тока через прибор приводит к возрастанию относительного вклада УФ-полосы, так как УФ-полоса излучения обусловлена рекомбинацией электронно-дырочных пар и не насыщается при больших уровнях возбуждения. В то же время более длинноволновая широкая полоса излучения обусловлена рекомбинацией на комплексах примеси Zn и как другие примесные каналы люминесценции она насыщается при больших уровнях возбуждения. Полупроводниковый электролюминесцентный источник света в качестве органических люминесцентных материалов содержит вещества и/или их смесь, выбираемые из группы: смесь олигомеров трифениламина поли(4,4"-(4""-метил)трифениламин) с молекулярно-массовым распределением Mn=2332, Mw=3586 (РТА), описанная [Патент РФ 2131411, от 10.06.99] и характеризующаяся полосой поглощения с максимумом 365 нм и полосой люминесценции в области 400-500 нм; комплексное соединение цинка бис(N-(2-оксибензилиден)-4-трет-бутиланилин)цинк (Zn(OBBA)2), описанное [Патент РФ 2155204, от 27.08.00] и характеризующееся полосой поглощения в области 350-450 нм и полосой люминесценции с максимумом при 500 нм; твердый раствор красителя нильского красного в Zn(ОВВА)2 при концентрации нильского красного 0,1-5% [Патент РФ 2155204, от 27.08.00], характеризующийся полосой излучения с максимумом при 600 нм. Указанные вещества обеспечивают поглощение в области УФ-полосы электролюминесцентного полупроводникового кристалла и излучение в более длинноволновой области, чем излучение кристалла. Изобретение иллюстрируется следующими примерами. Пример 1Используя подложку карбида кремния методом эпитаксии из металлоорганических соединений на установке типа Epiquip при температуре 980-1020oС последовательно выращиваются слой GaN, легированный Si, и слои GaN, легированные Zn и Mg. Послеростовой отжиг структуры при температуре 980-1040oС в атмосфере аргона приводит к активации акцепторных примесей Mg и Zn и формированию слоя р-типа проводимости GaN:Mg и компенсированного слоя GaN:Zn. На слое р-типа формируется верхний локальный контакт 1, а на подложке SiC - нижний контакт 2, после чего с использованием дисковой резки структура разделяется на кристаллы (фиг.1). Электролюминесцентный кристалл 3 монтируется в рефлектор 4 рамки 5 (фиг.2), после чего производится разводка 6 верхнего контакта на изолированный от рефлектора вывод 7. Затем на кристалл в рефлекторе может быть нанесен слой органического люминофора 8. На финишной стадии с использованием стандартной технологии формируется верхняя полимерная линза 9 и осуществляется вырубка приборов из рамки. В альтернативном варианте кристалл монтируется в металлостеклянный корпус 10 (фиг.3). Пример 2
Используя подложку сапфира с ориентацией (0001) методом эпитаксии из металлоорганических соединений на установке типа Epiquip при температуре 980-1020oС последовательно выращиваются слой n-типа GaN, легированный Si, и слои GaN, легированные Zn и Mg. Послеростовой отжиг структуры в атмосфере аргона при температуре 980oС приводит к активации примесей Zn, Mg и формированию слоя р-типа проводимости GaN:Mg и компенсированного слоя GaN:Zn. После формирования меза-структуры с использованием напыления и фотолитографии по слою металла формируется топология контактов 1 и 2 к слоям р и n типа. Электролюминесцентная структура разделяется на кристаллы с помощью дисковой резки (фиг.4). Электролюминесцентный кристалл монтируется в рамочный корпус, производится проволочная разводка от контакта к n слою на основание рефлектора и от контакта к р слою на изолированный от рефлектора вывод. После чего верхняя поверхность кристалла и его боковые грани могут быть покрыты слоем органического люминофора. На финишной стадии с использованием стандартной технологии проводится герметизация в корпус с полимерной линзой, после чего осуществляется вырубка выводов. Пример 3
Эпитаксиальную структуру GaN получают в соответствии с примером 2. Перед резкой структуры на кристаллы на тыльную сторону сапфировой подложки наносится слой органического люминофора. После чего структура разделяется на кристаллы и изготовление процесса завершается в соответствии с примером 2. Пример 4
Эпитаксиальную структуру AlGaN/InGaN/AlGaN получают методом эпитаксии на подложке SiC с использованием установки Epiquip. На подложке SiC последовательно выращиваются слои AlGaN:Si, InGaN:Zn, AlGaN:Mg. Послеростовой отжиг в атмосфере аргона приводит к активации примесей Zn и Mg и формированию компенсированного слоя InGaN: Zn и слоя р-типа AlGaN:Mg. Дальнейшие операции по формированию прибора проводятся в соответствии с примером 1. Пример 5
Типичные спектры электролюминесценции полупроводникового источника по примерам 1-4 (без использования органического люминесцентного материала) при разных уровнях возбуждения представлены на фиг.5. Питание полупроводникового источника осуществляется прямоугольными импульсами от генератора Г5-15, длительность импульса - 10 мкс, период следования импульсов - 100 мкс. Ток в импульсе 15 мА (а), 30 мА (б), 60 мА (в), 90 мА (г), 150 мА (д). При питании постоянным током спектральная зависимость излучения близка к спектру (а). Электролюминесцентный кристалл имеет двухполосный спектр излучения с краевой полосой при 363 нм и более длинноволновой широкой полосой 416 нм. Увеличение тока через прибор приводит к возрастанию относительного вклада УФ-полосы. На фиг.6 изображена зависимость интенсивности полос 363 и 416 нм от тока в импульсе для нескольких экземпляров излучателей. За единицу принята интенсивность в максимуме полосы 416 нм при больших токах. Из фиг.6 видно, что полоса 416 нм насыщается экспоненциально: кривая насыщения хорошо описывается теоретической зависимостью L=1-exp(-I/23), где I - ток в импульсе в мА. В то же время полоса 363 нм не насыщается и при токах больше 40 мА растет линейно с током. Пример 6
Полупроводниковый электролюминесцентный кристалл питается прямоугольными импульсами от генератора Г5-15, длительность импульса - 10 мкс, период следования импульсов - 100 мкс. Излучение кристалла проходит через органический люминесцентный материал - смесь олигомеров трифениламина (РТА). На фиг.7 показан спектр, результирующий излучения при различных токах в питающем импульсе. УФ-полоса электролюминесценции вследствие поглощения в полимере практически отсутствует. Одновременно с этим синяя полоса электролюминесценции вследствие поглощения в полимере также частично обрезана с коротковолновой стороны. В результате излучение состоит из фотолюминесценции РТА и остаточного излучения примесной полосы полупроводникового излучателя и имеет два максимума 428 и 490 нм, соотношение между которыми зависит от тока. На фиг.8 показана зависимость относительной интенсивности максимумов 428 и 490 нм (соответственно кружки и крестики) и соотношения между ними от тока (квадратики). Полоса 428 нм, связанная в основном с примесной полосой полупроводникового кристалла, насыщается при увеличении тока по тому же уравнению L= 1-exp(-I/23), где I - ток в импульсе в мА, что и для полупроводникового излучателя без люминофора (см. пример 5), а полоса 490 нм не насыщается. Соотношение между интенсивностями полос 428 и 490 нм в области токов 40-150 мА меняется в 1,5 раза. Таким образом, увеличение уровня возбуждения приводит к усилению вклада зеленой компоненты спектра, что обусловлено проявлением фотолюминесценции полимера. С учетом спектральной характеристики чувствительности человеческого зрения, имеющей максимум в зеленой области спектра, даже незначительное возрастание относительного вклада зеленой компоненты приводит к существенной перестройке цветовых характеристик. Пример 7
Излучение полупроводникового электролюминесцентного кристалла проходит через органическое люминесцентное вещество Zn(OBBA)2. Максимум результирующего излучения лежит в сине-зеленой области спектра 490 нм. При питании импульсами аналогично примеру 1 с током в импульсе 15, 45, 75, 105 и 150 мА не происходит насыщения интенсивности излучения (фиг.9), что объясняется существенным вкладом УФ-полосы 363 нм излучения кристалла в возбуждение фотолюминесценции Zn(OBBA)2. Пример 8
Излучение полупроводникового электролюминесцентного кристалла проходит через органическое вещество Zn(ОВВА)2, содержащее 1% красителя нильского красного. Максимумы результирующего излучения 455 и 600 нм (фиг.10) лежат в синей и красной областях спектра. Полоса 455 нм - остаточное излучение кристалла, полоса 600 нм - люминесценция нильского красного вследствие переноса энергии электронного возбуждения с молекул Zn(OBBA)2, поглощающих часть излучения кристалла, на молекулы нильского красного [Патент РФ 2155204, от 27.08.00]. Источники информации
1. О. Н. Ермаков, В.П. Сушков. Полупроводниковые знакосинтезирующие индикаторы. - М.: Радио и связь, 1990. 2. Международный патент WО 9750132 A1, от 31.12.97. 3. Патент США 5966393, от 12.10.99. 4. Патент США 5895932, от 20.04.99. 5. Патент США 5898185, от 27.04.99 - прототип. 6. L. J. Rothberg, A. J. Lovinger, Status and prospectus for organic electroluminescence, J. Mater. Sci. 11, No. 12, 1996, 3174-3187. 7. Патент РФ 2131411, от 10.06.99. 8. Патент РФ 2155204, от 27.08.00.
Класс H01L33/00 Полупроводниковые приборы по меньшей мере с одним потенциальным барьером или с поверхностным барьером, специально предназначенные для светового излучения, например инфракрасного; специальные способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов или их частей; конструктивные элементы таких приборов