устройство и способ для использования пузырька в качестве виртуального клапана в микроинжекторе для выброса жидкости

Формула изобретения

1. Устройство для использования пузырька в качестве виртуального клапана в микроинжекторе для выброса жидкости, содержащее камеру для размещения в ней жидкости, при этом камера включает верхний слой, слой пассивации, примыкающий к верхнему слою, отверстие, находящееся в гидравлической связи с камерой, причем отверстие расположено над камерой и проходит через слой пассивации и верхний слой, средство для образования первого пузырька внутри камеры, который работает в качестве виртуального клапана, когда камера заполнена жидкостью, причем средство для образования первого пузырька расположено вблизи отверстия и над камерой, и средство для образования второго пузырька в камере, последующего за образованием первого пузырька, когда камера заполнена жидкостью, чтобы обеспечить выброс жидкости из камеры, причем средство для образования второго пузырька расположено вблизи отверстия и над камерой.

2. Устройство по п. 1, в котором средство для образования первого пузырька представляет собой первый нагреватель.

3. Устройство по п. 2, в котором средство для образования второго пузырька представляет собой второй нагреватель.

4. Устройство по п. 3, в котором первый и второй нагреватели расположены так, что первый пузырек и второй пузырек расширяются по направлению друг к другу, чтобы резко прекратить выброс жидкости из камеры.

5. Устройство по п. 3, в котором первый нагреватель и второй нагреватель возбуждаются общим сигналом.

6. Устройство по п. 3, в котором первый нагреватель и второй нагреватель соединены последовательно.

7. Устройство по п. 1, в котором образование первого пузырька для работы в качестве виртуального клапана ограничивает поток жидкости из камеры.

8. Устройство для использования пузырька в качестве виртуального клапана в микроинжекторе для выброса жидкости, содержащее камеру, включающую верхний слой, слой пассивации, покрывающий верхний слой, отверстие, находящееся в гидравлической связи с камерой, первое средство для образования пузырька, которое расположено вблизи отверстия и над камерой, и второе средство для образования пузырька, которое расположено вблизи отверстия и над камерой, причем первое средство образует первый пузырек в камере, который работает как виртуальный клапан, чтобы ограничить поток жидкости из камеры.

9. Устройство по п. 8, в котором первое средство для образования пузырька представляет собой первый нагреватель и второе средство для образования пузырька представляет собой второй нагреватель.

10. Устройство по п. 9, в котором первый нагреватель и второй нагреватель возбуждаются общим сигналом.

11. Устройство по п. 9, в котором первый нагреватель и второй нагреватель соединены последовательно.

12. Устройство для использования пузырька в качестве виртуального клапана в микроинжекторе для выброса жидкости, содержащее камеру для размещения в ней жидкости, при этом камера включает верхний слой, отверстие, находящееся в гидравлической связи с камерой, причем отверстие расположено над камерой и проходит через верхний слой, первый нагреватель, имеющий первую энергию рассеивания для образования первого пузырька в камере, который работает в качестве виртуального клапана, когда камера заполнена жидкостью, причем первый нагреватель расположен вблизи отверстия, и второй нагреватель, имеющий вторую энергию рассеивания для образования второго пузырька, последующего за образованием первого пузырька, когда камера заполнена жидкостью, чтобы обеспечить выброс жидкости из камеры, при этом второй нагреватель расположен вблизи отверстия, а первая энергия рассеивания по существу больше, чем вторая энергия рассеивания.

13. Устройство по п. 12, в котором первый нагреватель и второй нагреватель соединены последовательно.

14. Устройство по п. 13, в котором первый нагреватель имеет первое сопротивление и второй нагреватель имеет второе сопротивление, причем первое сопротивление является по существу более высоким, чем второе сопротивление.

15. Устройство по п. 12, в котором первый и второй нагреватели выполнены с возможностью возбуждения общим сигналом.

16. Устройство по п. 12, в котором первый и второй нагреватели расположены так, что первый пузырек и второй пузырек расширяются по направлению друг к другу, чтобы резко прекратить выброс жидкости из камеры.

17. Устройство по п. 12, которое дополнительно включает слой пассивации, примыкающий к верхнему слою, отверстие проходит через слой пассивации и верхний слой, а первый и второй нагреватели расположены над камерой.

18. Устройство для использования пузырька в качестве виртуального клапана в микроинжекторе для выброса жидкости, содержащее камеру для размещения в ней жидкости, отверстие, находящееся в гидравлической связи с камерой, при этом отверстие расположено над камерой, средство для образования первого пузырька в камере, когда камера заполнена жидкостью, при этом средство для образования первого пузырька расположено вблизи отверстия и над камерой, и средство для образования второго пузырька в камере, последующего за образованием первого пузырька, когда камера заполнена жидкостью для выброса жидкости из камеры, при этом средство для образования второго пузырька расположено вблизи отверстия и над камерой.

19. Устройство по п. 18, в котором средство для образования первого пузырька представляет собой первый нагреватель.

20. Устройство по п. 19, в котором средство для сдавливания микроканала представляет собой второй нагреватель, обеспечивающий образование второго пузырька.

21. Устройство по п. 20, в котором первый и второй нагреватели расположены так, что первый пузырек и второй пузырек расширяются по направлению друг к другу, чтобы резко прекратить выброс жидкости из микроканала.

22. Устройство по п. 20, в котором первый и второй нагреватели выполнены с возможностью возбуждения общим сигналом.

23. Устройство по п. 20, в котором первый и второй нагреватели соединены последовательно.

24. Устройство по п. 18, в котором образование первого пузырька ограничивает поток жидкости в микроканале посредством его работы в качестве виртуального клапана.

25. Устройство для использования пузырька в качестве виртуального клапана в микроинжекторе для выброса жидкости, содержащее камеру, патрубок, находящийся в гидравлической связи с камерой для подачи жидкости в эту камеру, отверстие, находящееся в гидравлической связи с камерой, средство для образования первого пузырька внутри камеры, когда камера заполнена жидкостью, при этом средство для образования первого пузырька расположено вблизи отверстия над камерой, и средство для образования второго пузырька, последующего за образованием первого пузырька, причем средство для образования второго пузырька расположено вблизи отверстия и над камерой, при этом отверстие расположено вблизи средства для образования первого пузырька и средства для образования второго пузырька, а формирование второго пузырька обеспечивает выброс жидкости в камере через отверстие.

26. Устройство по п. 25, в котором средство для образования первого пузырька представляет собой первый нагреватель.

27. Устройство по п. 26, в котором средство для сдавливания камеры представляет собой второй нагреватель, обеспечивающий образование второго пузырька.

28. Устройство по п. 27, в котором первый и второй нагреватели выполнены с возможностью возбуждения общим сигналом.

29. Устройство по п. 27, в котором первый и второй нагреватели соединены последовательно.

30. Устройство по п. 27, в котором первый и второй нагреватели расположены вблизи отверстия, так что первый и второй пузырьки объединяются, чтобы резко прекратить выброс жидкости из отверстия.

31. Устройство по п. 25, в котором образование первого пузырька ограничивает прохождение жидкости из камеры во время сдавливания посредством его работы в качестве виртуального клапана между камерой и патрубком.

32. Способ выбрасывания жидкости из микроканала, имеющего отверстие, включающий следующие стадии: образование первого пузырька вблизи отверстия в заполненном жидкостью микроканале, образование второго пузырька вблизи отверстия в микроканале для сдавливания микроканала, обеспечивая выдавливание жидкости из него, при этом вторую стадию образования второго пузырька выполняют после стадии образования первого пузырька, в котором первый пузырек и второй пузырек размещают рядом с отверстием, увеличение первого пузырька в микроканале для работы в качестве виртуального клапана для ограничения прохождения жидкости в микроканале, и увеличение второго пузырька в микроканале, в результате чего первый пузырек и второй пузырек приближаются друг к другу, чтобы резко прекратить выброс жидкости через отверстие.

33. Способ по п. 32, дополнительно включающий стадию, при которой сжимают первый пузырек для ускорения прохождения жидкости в микроканал.

34. Способ по п. 32, в котором общий сигнал используют для последовательного инициирования образования как первого пузырька, так и второго пузырька.

35. Способ по п. 32, в котором первый и второй нагреватели соединяют последовательно.

36. Способ по п. 32, в котором первый нагреватель используют для образования и увеличения первого пузырька, а второй нагреватель используют для образования и увеличения второго пузырька, при этом первый нагреватель обеспечивает увеличение первого пузырька быстрее, чем второй нагреватель обеспечивает увеличение второго пузырька.

37. Способ выбрасывания жидкости из микроинжектора, имеющего камеру, патрубок для подачи жидкости в камеру и отверстие, находящееся в гидравлической связи с камерой, включающий следующие стадии: образование первого пузырька в камере, когда камера заполнена жидкостью, образование второго пузырька вблизи отверстия для выброса жидкости через него, при этом стадию образования второго пузырька выполняют после стадии образования первого пузырька, объединение первого пузырька и второго пузырька, чтобы резко отсечь выбрасывание жидкости через отверстие.

38. Способ по п. 37, дополнительно включающий стадию, при которой сжимают первый пузырек для ускорения прохождения жидкости в камеру.

39. Способ по п. 37, в котором общий сигнал используют для последовательного инициирования образования как первого пузырька, так и второго пузырька.

40. Способ по п. 37, в котором первый и второй нагреватели соединяют последовательно.

41. Способ по п. 37, в котором первый нагреватель используют для образования и увеличения первого пузырька, а второй нагреватель используют для образования и увеличения второго пузырька, при этом первый нагреватель обеспечивает увеличение первого пузырька быстрее, чем второй нагреватель обеспечивает увеличение второго пузырька.

Описание изобретения к патенту

Область техники, к которой относится изобретение

Это изобретение в основном относится к инжекторам жидкости, а точнее - к устройству и способу для выброса жидкости из микроустройства.

Описание уровня техники

Инжекторы капелек жидкости широко используют при печати на струйных принтерах. Однако инжекторы капелек жидкости можно также использовать во многих других прикладных областях, например в системах впрыскивания топлива, при сортировке клеток в системах подачи лекарств, в устройствах подачи красок, при прямой плоской печати и в реактивных микродвигателях, не говоря уже об иных областях. Для всех этих областей применения весьма необходим надежный и дешевый инжектор капелек жидкости, который может подавать капельки высокого качества с высокой частотой и с высоким пространственным разрешением.

Только некоторые устройства обладают способностью выбрасывать капельки жидкости по отдельности, при этом с одинаковым размером капелек. В известных и используемых в настоящее время устройствах для инжекции капелек жидкости наиболее успешно применяют инжекцию путем теплового возбуждения пузырька, поскольку такие устройства являются простыми и имеют относительно невысокую стоимость.

Недостатками устройств с тепловым возбуждением капелек, также называемых пузырьковыми струйными устройствами, являются взаимное влияние и сопутствующие капельки. В пузырьковых струйных устройствах используют импульсы тока для нагревания электрода, чтобы жидкость в камере закипела. По мере кипения в жидкости формируется и расширяется пузырек, действующий как насос для выбрасывания столбика жидкости из камеры через отверстие, которое придает столбику форму капельки. Когда импульс тока заканчивается, пузырек сжимается, а жидкость пополняет камеру с помощью капиллярной силы. Эффективность такого устройства можно выразить через скорость и направление выбрасывания, размеры капелек, максимальную частоту выбрасывания, взаимное влияние между соседними камерами, превышение и колебание менискового уровня при пополнении жидкостью и возникновение сопутствующих капелек. Во время печати сопутствующие капельки ухудшают резкость изображения, а при точном регулировании жидкости они снижают точность подсчета расхода. Взаимное влияние происходит тогда, когда струйные инжекторы размещены в решетках с небольшим шагом, а капли выбрасываются из соседних сопел.

В большей части тепловых пузырьковых струйных устройств на дне камеры расположен нагреватель, вследствие чего существуют значительные потери энергии в материале подложки. Кроме того, обычно используют соединение для прикрепления сопловой пластины к его нагревательной пластине, что ограничивает пространственное разрешение, задаваемое соплами, из-за допусков при сборке. Кроме того, процедура прикрепления может не совмещаться с технологией интегральных схем, что может оказаться существенным, если желательно объединить решетку микроинжекторов со схемой управления, чтобы упростить разводку и получить компактный узел.

Для решения проблем взаимного влияния и превышения уровня жидкости обычно обеспечивают увеличение длины канала или снабжение камеры шейкой, чтобы повысить гидродинамический импеданс между камерой и резервуаром. Однако такие шаги замедляют пополнение камеры жидкостью и существенно снижают максимальную частоту инжекции устройства.

Проблемой, которая вызывает больше всего трудностей в существующих струйных устройствах, связана с сопутствующей капелькой, поскольку она вызывает размытость изображения. Сопутствующие капельки, которые отстают от основной капельки, попадают на поверхность бумаги в другие места, чем основная капелька, поскольку печатающая головка и бумага находятся в относительном движении. Не существует известного эффективного, легко применимого и экономичного средства или способа для решения проблемы сопутствующих капелек.

Поэтому имеется необходимость в создании устройства для инжекции капелек жидкости, в котором сведено к минимуму взаимное влияние без замедления скорости пополнения жидкостью при сохранении высокой скорости срабатывания и исключении сопутствующих капелек, и все это - без усложнения конструкции и производства. Настоящее изобретение удовлетворяет этим требованиям, как и другим, и в целом обеспечивает устранение недостатков, имеющихся в уровне техники.

Краткое описание изобретения

Настоящее изобретение относится к устройству и способу для формирования пузырька внутри камеры микроинжектора для работы в качестве клапанного механизма между камерой и патрубком, при этом создается высокое сопротивление для жидкости, выходящей из камеры в патрубок во время выбрасывания жидкости через отверстие, а также создается низкое сопротивление для пополнения жидкостью камеры после выбрасывания жидкости и сжатия пузырька.

В общих чертах, устройство настоящего изобретения в целом содержит микроинжектор, имеющий камеру и патрубок, находящиеся в гидравлической связи между собой, отверстие, находящееся в гидравлической связи с камерой, по меньшей мере, одно средство для формирования пузырька между камерой и патрубком и средство для сдавливания камеры.

Когда на входе камеры формируется пузырек, выброс жидкости из камеры в патрубок ограничивается. Средство для сдавливания, которое сдавливает камеру после формирования пузырька, повышает давление в камере, так что жидкость выбрасывается из отверстия. После выброса жидкости через отверстие пузырек сжимается и обеспечивает возможность жидкости быстро пополнить камеру.

По мере сдавливания камеры пузырек отделяет камеру от патрубка и соседних камер, при этом проблема взаимного влияния успешно сводится к минимуму.

В предпочтительном варианте осуществления средство для формирования пузырька представляет собой первый нагреватель, расположенный вблизи камеры. Средство для сдавливания представляет собой второй нагреватель, обеспечивающий формирование второго пузырька внутри камеры. Нагреватели расположены вблизи отверстия и содержат электроды, соединенные последовательно и имеющие различные сопротивления вследствие разной ширины электродов. Первый нагреватель имеет более узкий электрод, чем второй нагреватель, что приводит к формированию первого пузырька раньше второго пузырька, даже когда к ним прикладывают общий электрический сигнал.

По мере того, как первый и второй пузырьки расширяются, они приближаются друг к другу и в конце концов объединяются, тем самым отчетливо отсекая поток жидкости через отверстие, и в результате исключаются или значительно уменьшаются сопутствующие капельки.

Задачей настоящего изобретения является создание микроинжекторного устройства, в котором исключены сопутствующие капельки.

Другой задачей настоящего изобретения является создание микроинжекторного устройства, в котором минимизировано взаимное влияние.

Еще одной задачей настоящего изобретения является создание микроинжекторного устройства, в котором обеспечивается быстрое пополнение жидкостью камеры после выбрасывания жидкости.

Еще одной задачей настоящего изобретения является создание способа для выброса жидкости из камеры микроинжектора, в котором сведены до минимума сопутствующие капельки.

Еще одной задачей настоящего изобретения является создание способа для выбрасывания жидкости из камеры микроинжектора, в котором сведено до минимума взаимное влияние.

Еще одной задачей настоящего изобретения является создание способа для выброса жидкости из камеры микроинжектора, который обеспечивает возможность быстрого пополнения камеры жидкостью после выбрасывания жидкости.

Указанные задачи достигаются за счет использования всех признаков формулы изобретения.

Дополнительные задачи и преимущества изобретения будут понятны из последующих частей описания, при этом подробное описание выполнено с целью полного раскрытия предпочтительных вариантов осуществления изобретения без ограничения ими изобретения.

Краткое описание чертежей

Изобретение будет более полно изложено со ссылками на чертежи, приведенные только для иллюстрации, на которых:

фиг.1 - перспективное изображение секции решетки микроинжекторных устройств согласно настоящему изобретению;

фиг. 2А - поперечное сечение камеры и патрубка из решетки микроинжекторных устройств, показанной на фиг.1;

фиг. 2В - поперечное сечение камеры и патрубка, показанных на фиг.2А, иллюстрирующее формирование первого пузырька, за которым следует второй пузырек, для выброса жидкости из отверстия;

фиг. 2С - поперечное сечение камеры и патрубка, показанных на фиг.2А, иллюстрирующее объединение первого и второго пузырьков для завершения выброса жидкости из отверстия;

фиг. 2D - поперечное сечение камеры и патрубка, показанных на фиг.2А, иллюстрирующее сжатие первого пузырька с последующим сжатием второго пузырька для обеспечения возможности пополнения камеры жидкостью;

фиг. 3 - вид сверху кремниевой пластины, используемой для изготовления решетки микроинжекторных устройств согласно настоящему изобретению;

фиг. 4 - поперечное сечение кремниевой пластины, показанной на фиг.3, по линии 4-4;

фиг.5 - вид сверху кремниевой пластины, показанной на фиг.3, протравленной с обратной стороны для формирования патрубков;

фиг. 6 - поперечное сечение кремниевой пластины, показанной на фиг.5, по линии 6-6;

фиг.7 - вид сверху кремниевой пластины, показанной на фиг.5, протравленной для увеличения глубины камер;

фиг. 8 - поперечное сечение кремниевой пластины, показанной на фиг.7, по линии 8-8;

фиг. 9 - вид сверху кремниевой пластины, показанной на фиг.7, с нагревателями, которые осаждены и структурированы;

фиг.10 - поперечное сечение кремниевой пластины, показанной на фиг.9, по линии 10-10;

фиг.11 - вид сверху кремниевой пластины, показанной на фиг.9, с образованными отверстиями и

фиг. 12 - поперечное сечение кремниевой пластины, показанной на фиг.11, по линии 12-12.

Подробное описание изобретения

Настоящее изобретение показано в целом на фигурах с 1 по 12. Должно быть понятно, что устройство можно изменять как в отношении конфигурации, так и элементов узлов без отступления от основных идей, раскрытых в настоящей заявке.

На фиг.1 в основном показана решетка 10 микроинжекторного устройства 12. Решетка 10 содержит множество микроинжекторов 12, расположенных рядом друг с другом. Каждый микроинжектор содержит камеру 14, патрубок 16, отверстие 18, первый нагреватель 20 и второй нагреватель 22. Первый нагреватель 20 и второй нагреватель 22 обычно представляют собой электроды, соединенные последовательно и подключенные к общему электроду 24.

На фиг.2А показана камера 14, выполненная с возможностью заполнения жидкостью 26. В зависимости от области применения жидкость 26 может представлять собой чернила, бензин, масло, химические продукты, биомедицинский раствор, воду и т.п., но без ограничения ими. Менисковый уровень 28 жидкости 26 в отверстии 18, как правило, стабилизирован. Патрубок 16 примыкает к камере 14 и находится с ней в гидравлической связи. Жидкость из резервуара (непоказанного) подается в камеру 14 с прохождением через патрубок 16. Первый нагреватель 20 и второй нагреватель 22 находятся вблизи отверстия 18 и над камерой 14, чтобы исключить потери тепла в подложке. Первый нагреватель 20 прилегает к патрубку 16, тогда как второй нагреватель 22 прилегает к камере 14. Как можно видеть на фиг.2А, поперечное сечение первого нагревателя 20 является более узким, чем поперечное сечение второго нагревателя 22.

На фиг.2В показаны первый нагреватель 20 и второй нагреватель 22, соединенные последовательно, при этом для одновременного возбуждения как первого нагревателя 20, так и второго нагревателя 22 можно использовать общий электрический импульс. Вследствие того, что первый нагреватель 20 имеет более узкое поперечное сечение, то в результате действия импульса тока на нем рассеивается большая мощность, что приводит к более быстрому нагреву первого нагревателя 20 под действием общего электрического импульса, чем второго нагревателя 22, который имеет более широкое поперечное сечение. Это обеспечивает упрощение конструкции посредством исключения средства для последовательного возбуждения первого нагревателя 20 и второго нагревателя 22. Возбуждение первого нагревателя обеспечивает формирование первого пузырька 30 между патрубком 16 и камерой 14. По мере того, как первый пузырек 30 расширяется в направлении стрелок Р, первый пузырек 30 начинает ограничивать поток жидкости в патрубке 16, в результате чего образуется виртуальный клапан, который изолирует камеру 14 и защищает соседние камеры от взаимного влияния. Второй пузырек 32 формируется под вторым нагревателем 22 после образования первого пузырька 30, и по мере расширения второго пузырька 32 в направлении стрелок Р давление в камере 14 повышается, приводя к выбросу жидкости 26 через отверстие 18 в направлении F в виде столбика 36 жидкости.

На фиг.2С показано, что по мере расширения первого пузырька 30 и второго пузырька 32 первый пузырек 30 и второй пузырек 32 приближаются друг к другу и ограничивают выбрасывание жидкости через отверстие 18. В то время, как первый пузырек 30 и второй пузырек 32 начинают объединяться, хвостовая часть 34 столбика 36 жидкости резко сокращается, вследствие чего предотвращается образование сопутствующих капелек.

На фиг. 2D показано окончание электрического импульса, который вызывает сжатие первого пузырька 30 в направлении, показанном стрелками Р. Почти мгновенное сжатие первого пузырька 30 обеспечивает возможность жидкости 26 быстро пополнить камеру 14 в направлении, показанном стрелками R, поскольку больше нет препятствия для жидкости между патрубком 16 и камерой 14.

Поэтому, как можно видеть, способ для выбрасывания жидкости 26 из микроинжекторного устройства 12 согласно настоящему изобретению состоит, в основном, из стадий, при осуществлении которых:

(a) образуют первый пузырек 30 в заполненной жидкостью камере 14 микроинжекторного устройства 12;

(b) сдавливают камеру 14 для выбрасывания жидкости 26 из камеры 14, при этом на стадии сдавливания образуют второй пузырек 32 в камере 14;

(c) увеличивают первый пузырек 30 в камере 14 для работы в качестве виртуального клапана для ограничения потока жидкости между камерой 14 и патрубком 16;

(d) увеличивают второй пузырек 32 в камере 14, в результате чего первый пузырек 30 и второй пузырек 32 приближаются друг к другу, чтобы резко завершить выброс жидкости из камеры 14; и

(е) сжимают первый пузырек 30 для ускорения пополнения жидкостью камеры 14.

На фиг. 3 и фиг.4 показано использование комбинированной технологии поверхностной и объемной обработки для изготовления решетки 10 микроинжекторов на кремниевой пластине 38 без использования какого-либо процесса закрепления пластины. Технологический процесс начинают с осаждения и формирования рельефа фосфорно-силикатного стекла в качестве временного слоя 40 камеры и осаждения находящегося почти в слабо напряженном состоянии нитрида кремния 42 в качестве верхнего слоя камеры.

Как показано на фиг. 5 и фиг.6, затем кремниевую пластину 38 травят с обратной стороны 44 с помощью гидроксида калия (КОН) для образования патрубка 16. Временный слой 40 фосфорно-силикатного стекла удаляют с помощью фтористоводородной кислоты (HF). Как можно видеть на фиг.7 и на фиг.8, еще одним травлением с помощью КОН при точном контроле времени увеличивают глубину камеры 14. Во время этой стадии следует соблюдать особую осторожность, поскольку выпуклые углы камеры 14 также разъедаются и закругляются.

Кроме того, на фиг.9 и фиг.10 показаны первый нагреватель 20 и второй нагреватель 22, которые уже осаждены и структурированы. Первый нагреватель 20 и второй нагреватель 22 являются предпочтительно платиновыми. Образованы металлические проводники 44, а для пассивации оксидный слой 46 осажден на верхней части. Электрическое соединение 48 между первым нагревателем 20 и общим электродом 24 расположено под оксидным слоем 46. На фиг.11 и фиг.12 показано отверстие 18, при этом в предположении разрешающей способности литографии, выраженной через линию шириной 3 мкм, отверстие 18 может быть таким малым, как примерно 2 мкм, а шаг между отверстиями 18 может быть таким малым, как примерно 15 мкм. Можно видеть, что выпуклые углы 47 камеры 14 становятся особенно ясно определенными в результате травления.

Таким образом, изобретение направлено на создание нового микроинжектора, в котором пузырек используют для ограничения потока жидкости в микроканале, в результате чего предотвращается выход жидкости из камеры в патрубок во время выброса жидкости через отверстие. Кроме того, второй пузырек используют в сочетании с первым пузырьком для резкой отсечки столбика жидкости, выбрасываемой через отверстие, в результате чего исключаются сопутствующие капельки. Хотя приведенное выше описание содержит многочисленные конкретные признаки, они не должны толковаться как ограничивающие объем изобретения, а как только иллюстрирующие некоторые предпочтительные в настоящее время варианты осуществления этого изобретения. Поэтому объем этого изобретения должен определяться приложенной формулой и соответствующими эквивалентами.