способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин
Классы МПК: | C03C25/68 травлением C03C15/00 Обработка поверхности стекла, кроме волокон или нитей, травлением C03B37/00 Изготовление или обработка хлопьевидных частиц, волокон или нитей из стекломассы, расплавленных минералов или шлака |
Автор(ы): | Кулов С.К., Макаров Е.Н., Платов Э.А. |
Патентообладатель(и): | Общество с ограниченной ответственностью Владикавказский технологический центр "БАСПИК" |
Приоритеты: |
подача заявки:
2001-09-13 публикация патента:
10.06.2003 |
Изобретение относится к обработке стекловолокнистых нитей, в частности к изготовлению микроканальных пластин МКП, и может быть использовано в электронно-оптических преобразователях. Технической задачей является улучшение качества МКП за счет снижения уровня забитости каналов, улучшения чистоты поля зрения электронного изображения МКП, повышения порога "сотовой структуры" и улучшения восстанавливаемости МКП. В способе изготовление вытравленных заготовок МКП, включающим травление опорной жилы из каналов микроканальной пластины в соляной кислоте и натриевой щелочи, промывку в дистиллированной или деионизованной воде после каждой из обработок и обезвоживание, травление осуществляют последовательной обработкой заготовок в соляной кислоте, натриевой щелочи и дополнительно в азотной кислоте, с последующим обезвоживанием в изопропиловом спирте и суховоздушной сушкой. При этом травление осуществляют в 0,2 N растворе соляной кислоты при температуре (20
2)oС в течение (4
0,2) ч с четырехкратной сменой раствора через каждый час. Щелочную обработку ведут в 8-12%-ном растворе NaOH при 70-80oС в течение 5-15 мин, а обработку в азотной кислоте осуществляют в 8-12%-ном ее растворе при (20
2)oС в течение 10-20 мин. Обезвоживание заготовок после последней промывки осуществляют в изопропиловом спирте при (20
2)oС в течение 5-15 мин с последующей суховоздушной сушкой в термостате при 80-100oС не менее двух часов. 5 з.п. ф-лы.
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
Формула изобретения
1. Способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, включающий травление опорной жилы из каналов микроканальной пластины в соляной кислоте и натриевой щелочи, промывку в дистиллированной или деионизованной воде после каждой из обработок и обезвоживание, отличающийся тем, что травление осуществляют последовательной обработкой заготовок в соляной кислоте, натриевой щелочи и дополнительно в азотной кислоте, с последующими обезвоживанием в изопропиловом спирте и суховоздушной сушкой. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что травление осуществляет в 0,2 N соляной кислоте при (20![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к обработке стекловолокнистых нитей травлением, в частности к изготовлению микроканальных пластин (МКП), и может быть использовано в электронно-оптических преобразователях. Известен способ изготовления МКП, включающий изготовление многожильных световодов, сборку, спекание блоков, резку его на пластины, кругление, шлифовку, полировку, вытравливание опорной жилы из каналов, термоводородное восстановление и металлизацию (см. Г.Т.Петровский, Д.К.Саттаров, З.И.Канчиев и др. Основные принципы технологии МКП//Микроканальные пластины. Сб. материалов конференции, М., ЦНИИ инф., 1985 г., с. 53-55). Недостатками данного способа являются низкое качество МКП, недостаточная восстанавливаемость пластин при термоводородной обработке. Наиболее близким к заявляемому является способ вытравливания опорной жилы из каналов МКП, включающий вытравливание опорной жилы 0,2 N раствором соляной кислоты при 55![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
- значительная доля (более 1%) забитых остаточными продуктами жилы каналов,
- низкая чистота поля зрения,
- низкий порог появления "сотовой структуры" на электронном изображении МКП по входному току (Iln<(2-5)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/8226.gif)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/8226.gif)
- недостаточная восстанавливаемость пластин на термоводородной обработке, что затрудняет получение сопротивления МКП меньше 1
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/8226.gif)
- недостаточное усилением МКП, рабочее напряжение Up, соответствующее коэффициенту усиления 103, 780-820 В, при норме не более 800 В. Задачей предлагаемого технического решения является создание способа изготовления вытравленных заготовок МКП с высоким их качеством. Технический результат заключается в снижении уровня забитости каналов МКП, улучшении чистоты поля зрения электронного изображения МКП, повышении порога "сотовой структуры" на электронном изображении и улучшении восстанавливаемости МКП. Этот технический результат достигается тем, что в известном способе изготовления вытравленных заготовок МКП, включающим травление опорной жилы из каналов микроканальной пластины в соляной кислоте и натриевой щелочи, промывку в дистиллированной или деионизованной воде после каждой из обработок и обезвоживание, согласно изобретению, травление осуществляют последовательной обработкой заготовок в соляной кислоте, натриевой щелочи и дополнительно в азотной кислоте, с последующим обезвоживанием в изопропиловом спирте и суховоздушной сушкой, при этом травление осуществляют в 0,2 N растворе соляной кислоты при температуре 20
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
![способ изготовления вытравленных заготовок микроканальных пластин, патент № 2205805](/images/patents/265/2205002/177.gif)
Класс C03C15/00 Обработка поверхности стекла, кроме волокон или нитей, травлением
способ химического травления труб из кварцевого стекла - патент 2477713 (20.03.2013) | |
паста для травления - патент 2449000 (27.04.2012) | |
способ уменьшения шероховатости поверхности кварцевого стекла - патент 2433968 (20.11.2011) | |
травильный раствор - патент 2367628 (20.09.2009) | |
раствор для матирования стекла - патент 2340576 (10.12.2008) | |
травильный раствор - патент 2338709 (20.11.2008) | |
травильный раствор - патент 2323181 (27.04.2008) | |
травильный раствор - патент 2320589 (27.03.2008) | |
полировальный раствор - патент 2301204 (20.06.2007) | |
гравировальные пасты для неорганических поверхностей - патент 2274615 (20.04.2006) |
Класс C03B37/00 Изготовление или обработка хлопьевидных частиц, волокон или нитей из стекломассы, расплавленных минералов или шлака