способ определения концентрации ионов свинца в монокристаллических ферритах-гранатах

Классы МПК:H01L21/66 испытания или измерения в процессе изготовления или обработки
Автор(ы):, ,
Патентообладатель(и):Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет)
Приоритеты:
подача заявки:
2001-10-31
публикация патента:

Изобретение относится к физике твердого тела и к физике магнитных явлений, в частности к мессбауэровской спектроскопии. Регистрируется мессбауэровский спектр монокристалла или пленки феррита-граната, а концентрация ионов Pb определяется по определенной формуле. Техническим результатом изобретения является возможность определения концентрации ионов свинца в монокристаллических ферритах-гранатах с минимальной концентрацией ионов свинца. 6 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6

Формула изобретения

Способ определения концентрации ионов свинца в монокристаллических ферритах-гранатах, включающий их спектроскопическое исследование, отличающийся тем, что в качестве метода исследования используется мессбауэровская спектроскопия, о наличии в кристаллической решетке феррита-граната ионов свинца концентрации CPb способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143 0,005 формульных единиц судят по появлению в мессбауэровском спектре парамагнитного дублета с изомерным сдвигом способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143 = -0,117 мм/с и квадрупольным расщеплением способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143 = 0,573 мм/с, а концентрацию ионов свинца определяют по формуле

способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143

где CPb - концентрация ионов свинца, формульные единицы;

Sдубл - площадь соответствующего ионам свинца дублета в мессбауэровском спектре исследуемого феррита-граната, ед.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к физике твердого тела и физике магнитных явлений, в частности к мессбауэровской спектроскопии, и может использоваться для определения концентрации ионов Рb в монокристаллических феритах-гранатах, а также позволит проводить отбраковку для высокодобротных приборов СВЧ-электроники и магнитооптики ферритов-гранатов с минимальной концентрацией ионов свинца.

Известно, что вводимые в решетку магнитного кристалла даже в мизерных количествах примесные ионы влияют на параметры мессбауэровского спектра (см. 1. Жураковский Е.А., Киричок П.П. Электронные состояния в ферромагнетиках. - Киев, Наукова думка, 1985, 280 с.; 2. Любутин И.С., Макаров Е.Ф., Повицкий Е.А. Эффект Мессбауэра на ядрах Fe57 в соединении Y3-xCaxFe5-xSnxO12. Журнал экспериментальной и теоретической физики, 1967, 53, 7, c. 65-70; 3. Любутин И.С., Макаров Е.Ф., Повицкий Е.А. Эффективные магнитные поля на ядрах Fe57 и Sn119 в ферритах-гранатах с большим содержанием ионов Sn4+. Физика твердого тела, 1968, 10, 2, с. 534-541; 4. Боков В.Л., Попов Г.В., Ющук С.И. Влияние числа обменных связей ионов Fe3+ на эффективные магнитные поля на ядрах Fe57 в гранатах Y3-xCaxV5O12. Физика твердого тела, 1969, 11, 3, с. 593-597; 5. Исследование сверхтонких взаимодействий в ферритах Y3Co0,5xTi0,5xFe5-xО12 / П. П. Киричок, Л.Г. Кустовский, Ю.С. Авраамов и др. Известия вузов. Физика, 1975, 3, с. 141-143).

С увеличением концентрации примеси изменяется форма мессбауэровского спектра и такие его параметры как изомерный сдвиг способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143, квадрупольное расщепление способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143 и эффективные магнитные поля Нэфф на ядрах мессбауэровского иона в разных положениях кристаллической решетки. По изменению определенных параметров можно оценить, а во многих случаях и количественно определить концентрацию примеси.

Существуют способы контроля примеси в кристаллах гранатов, в которых пики дополнительного поглощения (центры окраски) связывают с конкретным типом примеси (ростовых дефектов) (см. Н.С. Ковалева и др. Связь образования радиационных центров окраски с ростовыми дефектами в кристаллах ИАГ: Nd, "Квантовая электроника", 1991, т.8, 11, с. 2435-2438). Однако данные способы применимы только для лазерных кристаллов-гранатов на основе Y3Al5O12 и не могут использоваться для контроля ионов Рb в монокристаллических ферритах-гранатах.

Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является оптический способ контроля качества монокристаллических ферритов-гранатов (см. Костишин В.Г., Медведь В.В., Летюк Л.М., Шипко М.Н. Патент РФ на изобретение 2157576, зарегистрирован в государственном реестре изобретений 10.10.2000). Однако данный способ не дает возможности количественных измерений концентрации ионов Рb в монокристаллических ферритах-гранатах.

Сущность предлагаемого способа состоит в следующем. При вхождении в решетку магнитного граната свинец входит в состоянии Рb2+ в додекаэдрическую под решетку, а в состоянии Рb4+ - в додекаэдрическую и октаэдрическую подрешетку (см. Рандошкин В.В., Червоненкис А.Я. Прикладная магнитооптика. - М. : Энергоатомиздат, 1990, 320 с.). Поскольку ферримагнетизм ферритов обусловлен косвенным обменным взаимодействием ионов Fe3+ через ионы О2-, то ионы Рb4+, замещая додекаэдрические и октаэдрические позиции, из-за большого количества немагнитных соседей в ближайшей координационной сфере выключают часть ионов Fe3+(d) из обмена (см. Костишин В.Г., Медведь В.В., Летюк Л.М. Влияние температуры роста на структуру и некоторые свойства эпитаксиальных пленок Y3Fe5O12. Неорганические Материалы, 1999, т. 35, 2, с. 222-226 и фиг. 1, 2). Этот факт проявляется на мессбауэровском спектре в виде центрального парамагнитного дублета с изомерным сдвигом способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143= -0,117 мм/с и квадрупольным расщеплением способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143= 0,573 мм/с; площадь дублета растет с ростом концентрации ионов Рb (см. 1). Костишин В.Г., Медведь В.В., Летюк Л.М. Влияние температуры роста на структуру и некоторые свойства эпитаксиальных пленок Y3Fe5O12. Неорганические Материалы, 1999, т. 35, 2, с. 222-226; 2) Костишин В.Г., Медведь В.В., Летюк Л.М. и Шипко М.Н. Мессбауэровская спектроскопия и некоторые оптические свойства эпитаксиальных пленок Y3Fe5O12 с различным содержанием ионов Рb. Известия Вузов. Материалы электронной техники, 1, 2000, с. 42-47 и фиг.3 ).

Мессбауэровская спектроскопия выбрана как метод исследования из соображений высокой чувствительности.

Таким образом, признаками предлагаемого изобретения являются:

1) В качестве метода исследования используется мессбауэровская спектроскопия;

2) О наличии в кристаллической решетке феррита-граната ионов свинца концентрации СPbспособ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 22061430,005 ф. е. судят по появлению в мессбауэровском спектре парамагнитного дублета с изомерном сдвигом способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143=-0,117 мм/с и квадрупольным расщеплением способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143=0,573 мм/с;

3) Концентрацию ионов свинца определяют по формуле

способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143

где СPb - концентрация ионов свинца в формульных единицах;

Sдубл - площадь соответствующего ионам свинца дублета в мессбауэровском спектре исследуемого феррита-граната (%).

На фиг. 1, 2 представлено схематическое изображение ближайших соседей-катионов, связанных с ионом Fe3+ в структуре стехиометрического Y3Fe5O12 через ионы О2-: фиг.1: для Fe3+ (d)-иона; фиг.2: для Fe3+ (а)-иона;

на фиг. 3 - характерный мессбауэровский спектр эпитаксиальной монокристаллической пленки Y3Fe5O12 с концентрацией ионов свинца СPb=0,015 ф.е. (Tg= 985oС, Vg=1,20 мкм/мин, h=31,5 мкм);

на фиг.4 - графическая зависимость относительной площади парамагнитного дублета мессбауэровских спектров Y3Fe5O12 от концентрации ионов свинца;

на фиг.5 - мессбауэровский спектр пленки ЖИГ (Tg=930oС, Vg=0,64 мкм/мин, h=29,0 мкм;

на фиг.6 - мессбауэровский спектр монокристаллической пластинки, полученной из кристалла, выращенного методом БЗП (с использованием высокочистого сырья).

Как видно из фиг.4, эта зависимость имеет вид прямой линии у=kx+b. Обработка экспериментальных точек методом наименьших квадратов показала, что прямая имеет вид Sдубл=508,61способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143 СPb - 3,632, где Sдубл - относительная площадь парамагнитного дублета в мессбауэровском спектре, %; СPb - концентрация ионов Рb в кристаллической решетке магнитного граната.

Разработанный способ был реализован следующим образом. Образцами служили эпитаксиальные пленки Y3Fe5O12 толщиной h=(10-50) мкм и монокристаллические пластинки Y3Fe5O12, Y3(FeGa)5O12 толщиной ~ 100 мкм. Пленки были выращены при разных температурах роста на подложках Gd3Ga5O12 кристаллографической ориентации <111> с 5%-ным обогащением изотопом Fe57. Использовался как свинцовый растворитель РbО-В2О3, так и не содержащий свинца Li2O-В2O3.

Подложка с нерабочей стороны структуры сошлифовывалась до толщины ~100 мкм; после этого образец для придания механической прочности и сохранения при этом хорошей пропускной способности к излучению мессбауэровского источника наклеивался на тонкие пластинки Be.

Мессбауэровские спектры регистрировали на спектрометре МС 1101Е фирмы "МОСТЕК" при нормальных атмосферных условиях в режиме пропускания.

Пример 1. В качестве образца использовалась монокристаллическая пленка Y3Fe5O12, выращенная методом жидкофазной эпитаксии из раствора в расплаве на основе PbO-B2O3 на подложке гадолиний-галлиевого граната кристаллографической ориентации (111). Для увеличения вероятности эффекта Мессбауэра в шихту добавлялся оксид Fe2 57О3. Было получено 5%-ное обогащение объектов исследования изотопом Fе57. Для реализации геометрии пропускания в мессбауэровском эксперименте нерабочая часть структуры (нерабочая пленка и большая часть подложки) сошлифовывалась и сполировывалась до толщины, достаточной для прохождения способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 2206143-квантов, а полученный образец для придания ему механической прочности наклеивался на тонкую бериллиевую пластинку. Температура роста пленки Tg=985oС, скорость роста Vg=1,20 мкм/мин, толщина пленки h=31,5 мкм. На фиг. 4 изображен мессбауэровский спектр образца, полученный в геометрии пропускания с 256 каналами измерения. На чертеже наряду с традиционным для феррит-гранатов наложением секстетов от а- и d-подрешеток, в центре спектра отчетливо виден симметричный дублет. Площадь дублета равна дубл=3,29% от площади всего спектра. По формуле СРb=(Sдубл+3,632)/508,61 находим концентрацию ионов свинца: СPb=(3,29+3,632)/508,61способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 22061430,014 (формульных единиц).

Пример 2. В качестве образца использовалась монокристаллическая пленка Y3Fe5O12, полученная в аналогичных предыдущему примеру условиям, но при другой температуре роста с целью добиться иного содержания свинца. Температура роста пленки Tg=930oС, скорость роста Vg=0,64 мкм/мин, толщина пленки h=29,0 мкм. На фиг. 5 изображен мессбауэровский спектр образца, полученный в геометрии пропускания с 256 каналами измерения. На чертеже наряду с традиционным для феррит-гранатов наложением секстетов от а- и d-подрешеток в центре спектра отчетливо виден симметричный дублет. Площадь дублета равна дубл= 0,69% от площади всего спектра. По формуле СPb=(Sдубл+3,632)/508,61 находим концентрацию ионов свинца: СPb=(0,69+3,632)/508,61способ определения концентрации ионов свинца в   монокристаллических ферритах-гранатах, патент № 22061430,009 (формульмых единиц).

Пример 3. В качестве образца использовалась монокристаллическая пластинка, полученная из кристалла, выращенного методом бестигельной зонной плавки (БЗП) с использованием высокочистого сырья. На фиг.6 изображен мессбауэровский спектр, полученный в геометрии пропускания с 256 каналами измерения. В отличие от предыдущих примеров в центре спектра нет дублета. Это связано с тем, что в этом случае не используются флюсы и растворители, поэтому в кристалл не попадает свинец и дублета нет.

Класс H01L21/66 испытания или измерения в процессе изготовления или обработки

способ определения мольной доли li2o в монокристаллах linbo3 -  патент 2529668 (27.09.2014)
устройство для сортировки на группы по электрическим параметрам плоских хрупких изделий -  патент 2528117 (10.09.2014)
способ контроля качества алмазных пластин, предназначенных для изготовления детекторов ионизирующих излучений -  патент 2525636 (20.08.2014)
способ обнаружения скрытых дефектов матричных бис считывания -  патент 2523752 (20.07.2014)
термокамера для испытания электронных изделий -  патент 2523098 (20.07.2014)
способ контроля качества светодиодной структуры -  патент 2521119 (27.06.2014)
способ определения электропроводности и толщины полупроводниковых пластин или нанометровых полупроводниковых слоев в структурах "полупроводниковый слой - полупроводниковая подложка" -  патент 2517200 (27.05.2014)
способ контроля дефектности эпитаксиальных слоев кремния на диэлектрических подложках -  патент 2515415 (10.05.2014)
способ увеличения выхода годных при изготовлении высокоплотных электронных модулей -  патент 2511007 (10.04.2014)
способ определения стойкости электронных компонентов и блоков радиоэлектронной аппаратуры к воздействию ионизирующих излучений -  патент 2504862 (20.01.2014)
Наверх