способ изготовления фотоэлектронного прибора

Формула изобретения

Способ изготовления фотоэлектронного прибора, включающий предварительное изготовление фотокатода в отдельном активировочном баллоне, который предварительно помещают через шиберное устройство в шлюзовую камеру установки переноса и далее в общую камеру установки переноса, помещение корпусной части прибора в общую камеру, обезгаживание корпусной части прибора, вскрытие активировочного баллона и сочленение корпусной части прибора с фотокатодом, отличающийся тем, что корпусную часть прибора предварительно помещают в шлюзовую камеру, далее через шиберное устройство перемещают в отдельную предварительно обезгаженную камеру обезгаживания установки переноса, производят обезгаживание корпусной части и через другое шиберное устройство перемещают в предварительно обезгаженную общую камеру установки переноса, причем предварительное обезгаживание камер установки переноса проводят только один раз при запуске ее в эксплуатацию.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления фотоэлектронных приборов способом раздельной обработки фотокатода и корпусной части прибора, т.е. способом переноса.

Предлагаемое техническое решение направлено на увеличение производительности изготовления фотоэлектронных приборов способом переноса.

Известен метод изготовления фотоэлектронного прибора способом переноса (США, патент 4309066, кл. 316-19, 1982 г., аналог), в котором активировочный баллон с фотокатодом и корпусную часть прибора помещают в общую камеру установки переноса, корпусную часть прибора и саму камеру обезгаживают, а затем из активировочного баллона извлекают фотокатод, устанавливают его на корпусную часть и проводят герметизацию.

Недостатком данного способа является длительный цикл изготовления прибора и падение чувствительности фотокатода.

Также известен метод изготовления фотоэлектронного прибора способом переноса (Россия, патент 2033656, H 01 J 9/12, 1987, прототип), когда активировочный баллон с предварительно изготовленным в нем фотокатодом перед его помещением в общую камеру установки переноса предварительно помещают в шлюзовую непрогреваемую камеру через шиберное устройство, затем производят вскрытие баллона, а обезгаживание корпусной части прибора проводят одновременно с обезгаживанием общей камеры установки переноса до помещения в нее вскрытого баллона с фотокатодом, далее извлекают фотокатод и устанавливают его на корпусную часть прибора, затем проводят герметизацию.

Недостатком данного способа изготовления является низкая производительность изготовления фотоэлектронных приборов, так как обезгаживание корпусной части прибора производят одновременно с обезгаживанием общей камеры установки переноса. Время, необходимое для обезгаживания общей камеры, составляет 24-48 ч, тогда как для обезгаживания самой корпусной части достаточно 10-20 ч, т.е. из-за совместного обезгаживания корпусной части прибора и общей камеры установки переноса производительность данного способа уменьшается в 2 раза и более.

Заявляемое техническое решение направлено на увеличение производительности изготовления фотоэлектронных приборов способом переноса.

Способ изготовления фотоэлектронного прибора включает предварительное изготовление фотокатода в отдельном активировочном баллоне, который предварительно помещают через шиберное устройство в шлюзовую камеру установки переноса, помещение корпусной части прибора в общую камеру, обезгаживание корпусной части прибора, вскрытие активировочного баллона и сочленение корпусной части прибора с фотокатодом. Предлагаемый способ изготовления фотоэлектронного прибора отличается от прототипа тем, что корпусную часть прибора предварительно помещают в шлюзовую камеру, далее через шиберное устройство перемещают в отдельную предварительно обезгаженную камеру обезгаживания установки переноса, производят обезгаживание корпусной части и через другое шиберное устройство перемещают в предварительно обезгаженную общую камеру установки переноса, причем предварительное обезгаживание камер установки переноса проводят только один раз при запуске ее в эксплуатацию.

Таким образом, заявляемый способ изготовления фотоэлектронных приборов соответствует критерию "новизна". Сравнение заявляемого технического решения не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области, не позволило выявить в них признаки, отличающие заявляемое решение от прототипа, что позволяет сделать вывод о соответствии критерию "изобретательский уровень".

На чертеже структурно изображена установка переноса, на которой осуществляется изготовление фотоэлектронного прибора в соответствии с заявляемым способом.

Установка переноса имеет сверхвысоковакуумную общую камеру 1, отдельную камеру обезгаживания 2, шлюзовую камеру 3. Связь между камерами установки переноса проводится через шиберные устройства 4, 5 и 6, шиберное устройство 7 связывает шлюзовую камеру 3 с атмосферой.

Способ изготовления фотоэлектронного прибора осуществляется следующим образом. Камеры установки переноса предварительно обезгажены и откачаны, камера 1 откачана до давления остаточных газов порядка 110^-8-110^-9 Па, камера 2 откачана до давления остаточных газов порядка 10^-6-110^-7 Па, шиберные устройства 4, 5, 6, 7 находятся в закрытом состоянии. Корпусную часть прибора и активировочный баллон с фотокатодом через кратковременно открытое шиберное устройство 7 помещают в шлюзовую камеру 3, которую откачивают до давления остаточных газов порядка 110^-4-110^-5 Па, затем через кратковременно открытое шиберное устройство 5 корпусную часть перемещают в отдельную камеру обезгаживания 2, давление остаточных газов в камере 2 кратковременно повышается, после закрытия шиберного устройства 5 давление в камере 2 восстанавливается и в предварительно обезгаженной и откачанной камере 2 производят обезгаживание корпусной части прибора, т.к. камера 2 предварительно обезгажена, то время обезгаживания корпусной части прибора по сравнению с одновременным обезгаживанием корпусной части прибора и самой камерой уменьшается в 2 раза и более, т.к. практически отсутствует газоотделение из самой камеры 2.

Активировочный баллон с фотокатодом вскрывают в откачанной шлюзовой камере 3 и через кратковременно открытое шиберное устройство 6 перемещают в предварительно обезгаженную и откачанную общую камеру 1, после закрытия шиберного устройства 6 давление в камере 1 восстанавливается до первоначального уровня. Из камеры 2 обезгаженную корпусную часть прибора через кратковременно открытое шиберное устройство 4 перемещают в общую камеру 1, в которой давление остаточных газов кратковременно повышается, а после закрытия шиберного устройства 4 давление в камере 1 восстанавливается до первоначального уровня. Из активировочного баллона извлекают в условиях сверхвысокого вакуума фотокатод, устанавливают его на корпусную часть прибора и проводят герметичное сочленение корпусной части прибора с фотокатодом по известному способу, после чего готовый прибор через кратковременно открытое шиберное устройство 6 перемещают в шлюзовую камеру 3, после закрытия шиберного устройства 6 давление остаточных газов в камере 1 восстанавливается до первоначального уровня. Шиберное устройство 7 открывают и в шлюзовую камеру 3 производят напуск газов до атмосферного давления, после чего готовый прибор извлекают из шлюзовой камеры 3, а в нее помещают следующий активировочный баллон с фотокатодом и следующую корпусную часть прибора и цикл изготовления прибора повторяют.

Здесь изложена только суть предлагаемого способа изготовления фотоэлектронного прибора, при практической реализации установка переноса может быть значительно сложней. Так, например, за один цикл может изготавливаться не один прибор, а сразу несколько, при этом корпусные части и активировочные баллоны устанавливаются на специальные кассеты, которые позволяют точно позиционировать как корпусные части, так и активировочные баллоны. Установка переноса может иметь не одну камеру обезгаживания, а две и более, в которых проводят термическое и электронное обезгаживание, а также установка переноса может иметь отдельную камеру герметизации. Установка переноса может включать и другие типы камер, например электростатической очистки от посторонних частиц, камеры плазменной очистки, выходную шлюзовую камеру и другие. Все это не противоречит предлагаемому способу изготовления фотоэлектронных приборов, а лишь является практическим воплощением предлагаемого способа.

Предлагаемый способ изготовления практически реализован на установке переноса, которая имеет две входные шлюзовые камеры, две камеры обезгаживания, общую сверхвысоковакуумную камеру, камеру герметизации, выходную шлюзовую камеру готовых приборов, камеру вскрытия активировочных баллонов и камеру передачи фотокатода в общую камеру установки переноса. Одновременно в установку переноса загружаются на кассетах десять корпусных частей прибора и десять активировочных баллонов с фотокатодами. Цикл изготовления приборов составляет 24 часа, т.е. в течение суток установка обеспечивает изготовление 10 готовых приборов, а одновременно в установке переноса находятся в среднем четыре кассеты с корпусными частями на различных стадиях изготовления.

Таким образом, за счет предварительного однократного обезгаживания установки переноса и исключения за счет этого одновременного обезгаживания общей камеры установки переноса совместно с корпусной частью производительность изготовления фотоэлектронного прибора увеличена более чем в 2 раза и доказана практически на действующей установке переноса, работающей по предложенному способу.