устройство для контроля ориентации плоскости среза монокристаллических пластин
| Классы МПК: | G01N23/223 облучением образца рентгеновскими лучами и измерением рентгенофлуоресценции |
| Автор(ы): | Кумахов М.А., Ибраимов Н.С., Никитина С.В., Лихушина Е.В., Звонков А.Д. |
| Патентообладатель(и): | Общество с ограниченной ответственностью "Институт рентгеновской оптики" |
| Приоритеты: |
подача заявки:
2002-04-15 публикация патента:
20.12.2003 |
Устройство, предназначенное для контроля ориентации плоскости среза монокристаллических пластин при изготовлении активных твердотельных подложек и пьезоэлектрических резонаторов, содержит рентгеновскую трубку, фокусирующую рентгеновскую линзу, держатель контролируемой монокристаллической пластины, позиционно-чувствительный детектор и средство для обработки и анализа выходных сигналов детектора. Последний установлен с возможностью регистрации излучения, дифрагированного на контролируемой монокристаллической пластине. Линза установлена между выходным окном рентгеновской трубки и держателем таким образом, чтобы ее выходной фокус находился на поверхности среза контролируемой монокристаллической пластины или под этой поверхностью. Технический результат - повышение точности. 1 з.п.ф-лы, 6 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12, Рисунок 13, Рисунок 14
Формула изобретения
1. Устройство для контроля ориентации плоскости среза монокристаллических пластин, содержащее рентгеновскую трубку, держатель контролируемой монокристаллической пластины, позиционно-чувствительный детектор, установленный с возможностью регистрации излучения, дифрагированного на контролируемой монокристаллической пластине, и подключенное к выходу позиционно-чувствительного детектора средство для обработки и анализа, отличающееся тем, что оно снабжено рентгеновской фокусирующей линзой, установленной между выходным окном рентгеновской трубки и держателем контролируемой монокристаллической пластины с возможностью фокусирования излучения рентгеновской трубки на поверхности среза контролируемой монокристаллической пластины или под этой поверхностью.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно выполнено с возможностью регулирования взаимного расположения рентгеновской фокусирующей линзы, держателя контролируемой монокристаллической пластины и позиционно-чувствительного детектора.Описание изобретения к патенту
Текст описания в факсимильном виде (см. графическую часть)еКласс G01N23/223 облучением образца рентгеновскими лучами и измерением рентгенофлуоресценции
