датчик температуры
Классы МПК: | G01K7/18 с резисторами, имеющими линейную характеристику, например термометры с платиновыми резисторами |
Автор(ы): | Ажаева Л.А., Клементьев А.Т., Куликова С.В., Сергеева З.Н., Ходжаев В.Д. |
Патентообладатель(и): | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно- производственное объединение измерительной техники" |
Приоритеты: |
подача заявки:
2002-04-27 публикация патента:
27.01.2004 |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в приборостроении. Тонкопленочный медный термометр с защитными слоями из тугоплавкого материала и неорганического покрытия сформирован на адгезионном слое изолирующей подложки. Терморезистор выполнен в виде многослойной структуры Cr-Cu-Cr в форме меандра. Толщина слоя хрома составляет 0,05-0,06 мкм. Технический результат: получение хорошо воспроизводимого и стабильного значения температурного коэффициента сопротивления. 2 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2
Формула изобретения
Датчик температуры, содержащий тонкопленочный медный термометр с защитными слоями, снабженный контактами из меди и расположенный на поверхности изолирующей подложки, у которого терморезистор и контактные площадки расположены на адгезионном слое из тугоплавкого металла, защита терморезистора и контактных площадок выполнена из тугоплавкого металла толщиной 0,09-0,1 мкм с областью перекрытия 2-6 мкм по периметру элементов и из слоя неорганического диэлектрика, в котором в области контактных площадок сформированы "окна" для контактных узлов, куда нанесен токопроводящий слой, причем зона перекрытия токопроводящего узла с терморезистором составляет 0,1-0,5 мм, а по остальному периметру контактной площадки – 15-20 мкм, отличающийся тем, что терморезистор выполнен в виде многослойной структуры Cu-Сr-Сu в форме меандра, причем толщина слоя хрома составляет 0,05-0,06 мкм.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в приборостроении в технологии изготовления термопреобразователей сопротивления с заданным температурным коэффициентом сопротивления. Известен датчик температуры, содержащий тонкопленочный медныт тензорезистор с защитным слоем, снабженный контактами из меди в виде пленочных площадок и расположенный на поверхности изолирующей подложки [1]. Недостатком известного датчика является изменение параметров резистора при длительной эксплуатации. Наиболее близким по технической сущности к заявляемому является датчик температуры, содержащий тонкопленочный медный термометр с защитными слоями, снабженный контактами из меди и расположенный на поверхности изолирующей подложки, у которого терморезистор и контактные площадки расположены на адгезионном слое из тугоплавкого металла, защита терморезистора и контактных площадок выполнена из тугоплавкого металла толщиной 0,09-0,1 мкм с областью перекрытия 2-6 мкм по периметру элементов и из слоя неорганического диэлектрика, в котором в области контактных площадок сформированы "окна" для контактных узлов, куда нанесен токопроводящий слой, причем зона перекрытия токопроводящего узла с терморезистором составляет 0,1-0,5 мм, а по остальному периметру контактной площадки - 15-20 мкм [2]. Недостатком известного датчика является ограничение его применения в измерительных системах, где используются платиновые термометры сопротивления. Технический результат, создаваемый изобретением, состоит в получении дешевого, технологичного (тонкопленочного) датчика температуры, имеющего воспроизводимый и стабильный термический коэффициент сопротивления величиной (3,90![датчик температуры, патент № 2222790](/images/patents/246/2222014/177.gif)
![датчик температуры, патент № 2222790](/images/patents/246/2222002/8226.gif)
![датчик температуры, патент № 2222790](/images/patents/246/2222014/177.gif)
![датчик температуры, патент № 2222790](/images/patents/246/2222002/8226.gif)
![датчик температуры, патент № 2222790](/images/patents/246/2222014/177.gif)
![датчик температуры, патент № 2222790](/images/patents/246/2222002/8226.gif)
![датчик температуры, патент № 2222790](/images/patents/246/2222006/247.gif)
1. Патент РФ 2065143, МКИ G 01 K 7/18, 1993 г. 2. Патент РФ 2158419, МКИ G 01 K 7/18, 2000 г.
Класс G01K7/18 с резисторами, имеющими линейную характеристику, например термометры с платиновыми резисторами