способ подготовки к сварке изделий с серебряным покрытием
Классы МПК: | B23K20/24 предварительная обработка B23K20/10 с использованием колебаний, например ультразвуковая сварка |
Автор(ы): | Зенин Виктор Васильевич (RU), Сегал Юрий Ефимович (RU), Фоменко Юрий Леонидович (RU), Пьяных Виктор Яковлевич (RU), Спиридонов Борис Анатольевич (RU), Шарапов Виктор Анатольевич (RU) |
Патентообладатель(и): | Воронежский государственный технический университет (RU), ООО Консультационно-технический центр "Электроника" (RU) |
Приоритеты: |
подача заявки:
2004-01-08 публикация патента:
20.04.2006 |
Изобретение может быть использовано в микроэлектронике при ультразвуковой сварке изделий. С поверхности изделия удаляют сульфидную пленку Ag2S путем отжига в кислороде при температуре 250-350°С в течение 15-45 мин и последующим восстановлением серебра из оксида путем отжига в водороде при температуре 350-400°С в течение 3-10 мин. Отсутствие на серебряном покрытии сульфидных и оксидных пленок повышает качество сварных соединений.
Формула изобретения
Способ подготовки к сварке изделий с серебряным покрытием, характеризующийся удалением с поверхности сульфидной пленки Ag 2S путем отжига в кислороде при температуре 250-350°С в течение 15-45 мин и последующим восстановлением серебра из оксида путем отжига в водороде при температуре 350-400°С в течение 3-10 мин.
Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к области сварки, в частности к подготовке к сварке изделий с серебряным покрытием, которое может быть использовано в микроэлектронике, а также в других областях техники.
Основной трудностью сварки изделий с серебряным покрытием является наличие сульфидной пленки Ag2S на поверхности покрытия.
Известен химический метод обработки серебряных покрытий /1/, заключающийся в растворении пленки Ag2S в растворе следующего состава: 80 г тиомочевины, 10 г серной кислоты и 1 л воды.
Недостатком данного метода является необходимость промывки и сушки изделий после травления, а также низкое качество обработанной поверхности, особенно в изделиях, имеющих небольшие размеры и сложную форму. Кроме того, использование этой технологии ухудшает экологию производства.
С целью защиты серебра от воздействия серосодержащих соединений и потемнения поверхности разработан способ /2/, по которому на серебро наносят гальванические пленки палладия и родия толщиной до 1 мкм.
Недостатком данного способа является использование в технологии драгоценных металлов, что повышает себестоимость выпускаемых изделий.
Известен способ подготовки к пайке изделий с серебряным покрытием /3/, заключающийся в удалении с поверхности сульфидной пленки Ag2S путем отжига в кислороде при 250-350°С в течение 15-45 мин.
Основным недостатком данного способа является образование на поверхности серебряного покрытия оксидной пленки Ag2O толщиной 500-600 Å. Оксидная пленка Ag2O обеспечивает необходимое растекание припоев при пайке, но при сварке не обеспечивает необходимого качества сварных соединений.
Задачами заявляемого решения являются: упрощение технологического процесса и улучшение экологии; снижение себестоимости выпускаемых изделий; повышение качества сварных соединений.
Технические результаты достигаются тем, что предлагаемый способ подготовки к сварке изделий с серебряным покрытием характеризуется удалением с поверхности сульфидной пленки Ag2S путем отжига в кислороде при температуре 250-350°С в течение 15-45 мин и последующим восстановлением серебра из оксида путем отжига в водороде при температуре 350-400°С в течение 3-10 мин.
Способ осуществляется следующим образом. Для проведения экспериментальных исследований использовали медные корпуса, покрытые слоем химически осажденного никеля толщиной 4 мкм. Электроосаждение серебра на никелевое покрытие проводили в электролите следующего состава (г/л):
AgCl - 40;
К4[- Fe(CN)6]·3Н2O - 200;
К2 СО3 - 20.
В качестве анодов использовались пластины из чистого серебра. Режимы осаждения: Iк=1-1,5 А/дм2, температура электролита 50°С, время 10 мин. После осаждения серебра корпуса отмывались в дистиллированной воде.
Исследовались различные способы подготовки к сварке корпусов с серебряным покрытием.
Для оценки влияния состояния поверхности серебряных покрытий изделий на качество сварных соединений с алюминиевой проволокой использовали три группы образцов. Образцы первой группы выдерживали при комнатной температуре и нормальной влажности (с целью образования на поверхности сульфидной пленки Ag2S) в течение 2880 ч. Вторую группу образцов выдерживали в тех же условиях в течение 3400 ч, а затем отжигали в кислороде при температуре 250-350°С в течение 15-45 мин. Третью группу образцов выдерживали на воздухе в течение 3400 ч, а потом отжигали сначала в кислороде при температуре 250-350°С в течение 15-45 мин, а затем в водороде при температуре 350-400°С в течение 3-10 мин.
Ко всем образцам ультразвуковой сваркой на режимах, обеспечивающих получение максимальной прочности соединений, присоединяли алюминиевую проволоку марки АОЦПоМ диаметром 0,25 мм на установке У-153. Прочность соединений определялась механическим натяжением проволоки до разрушения с одновременным анализом характера разрушений.
Анализ внешнего вида, прочности и характера разрушений сварных соединений показал следующие результаты: поверхность образцов первой группы имеет ярко выраженный желтовато-коричневый цвет с разводами, а поверхность второй и третьей групп - блестящий и серебристый цвет; прочность соединений у образцов первой группы составила 260-300 сН, второй группы - 210-270 сН; третьей группы - 310-340 сН; наблюдались разрушения микросоединений у корпусов первой группы в виде отслоения проволоки от покрытий; на образцах второй и третьей групп разрушение происходило по проволоке.
Исследования показали, что наиболее эффективным способом подготовки, к сварке изделий с серебряным покрытием, заключающийся в удалении с поверхности сульфидной пленки Ag2S, является способ, при котором изделия, отожженные в кислороде при температуре 250-350°С в течение 15-45 мин, перед сваркой отжигают в водороде при температуре 350-400°С в течение 3-10 мин.
Повышение качества сварных соединений у образцов третьей группы объясняется физико-химическими процессами, протекающими на поверхности серебряных покрытий.
Известно, что восстановление серебра водородом из сульфида серебра протекает в соответствии с реакцией
Ag2 S+H22Ag+H 2S.
Из термодинамических расчетов следует, что эта реакция в стандартных условиях (Т=25°С) не идет, поскольку изменение свободной энергии Гиббса G°>0 (G°=7,0 кДж). Используя значения стандартных энтальпий и энтропий, участвующих в реакции веществ, рассчитаны значения энтальпии ( ), энтропии (S 0) и температуры равновесного состояния или начала реакции (Т):
, т.е. реакция эндотермическая.
Температура равновесного состояния
Таким образом, для проведения реакции восстановления сульфида серебра водородом необходимо повышать температуру выше 443°С, что неприемлемо в технологии производства полупроводниковых изделий.
Поверхность серебра от сульфидной пленки Ag2 S можно очищать и в атмосфере кислорода
Ag2S+O 22Ag+SO 2.
Эта реакция может протекать в стандартных условиях, поскольку G 0<0 (G 0=-259,57 кДж). С заметной скоростью она протекает при температуре 250-350°С в течение 15-45 мин. Однако в избытке кислорода серебро частично окисляется.
Образующуюся оксидную пленку восстанавливают до чистого серебра в водороде
Ag2O+H22Ag+Н 2О.
Для этой реакции G 0<0 (G 0=-217,98 кДж), т.е. она может протекать в стандартных условиях.
Для ускорения процессов восстановления серебра из его оксида отжиг проводят в водороде при температуре 350-400°С в течение 3-10 мин.
Отсутствие на серебряном покрытии сульфидных и оксидных пленок повышает качество сварных соединений с алюминиевой проволокой.
На основании вышеизложенного сделано заключение, что восстановление серебра из его сульфида целесообразно проводить в кислороде с последующим восстановлением оксидной пленки в водороде.
Таким образом, использование предлагаемого способа подготовки к сварке изделий с серебряным покрытием обеспечивает по сравнению с существующими способами следующие преимущества:
1. Упрощается технологический процесс и улучшается экология за счет исключения химического метода очистки.
2. Снижается себестоимость выпускаемых изделий за счет исключения из технологии драгоценных металлов.
3. Повышается качество сварных соединений по покрытиям без сульфидных и оксидных пленок.
Источники информации
1. Буркат Г.К. Серебрение, золочение, палладирование и родирование. - Л.: Машиностроение. Ленингр. Отд-ние, 1984. С.24.
2. Буркат Г.К. Серебрение, золочение, палладирование и родирование. - Л.: Машиностроение. Ленингр. Отд-ние, 1984. С.28.
3. Патент RU 2194597 С1 В 23 R 1/20. Способ подготовки к пайке изделий с серебряным покрытием / Зенин В.В., Сегал Ю.Е., Беляев В.Н. (RU). Опубл. 20.12.2002. Бюл. № 35. - 3 с.
Класс B23K20/24 предварительная обработка
Класс B23K20/10 с использованием колебаний, например ультразвуковая сварка