способ регистрации светового потока

Классы МПК:G01J1/42 действующие с помощью электрических детекторов излучения
Автор(ы):, , ,
Патентообладатель(и):Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет технологии и дизайна" (RU),
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (RU)
Приоритеты:
подача заявки:
2004-11-17
публикация патента:

Изобретение относится к методам приема и регистрации светового излучения и может быть использовано при создании датчиков для инфракрасной области спектра. Датчики используют в микро- и нанотехнологиях. Сущность изобретения: измеряемый световой поток фокусируют на области максимальной фоточувствительности автокатода, изготовленного из высокоомного полупроводника, при условии hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 1>способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Е, где h - постоянная Планка, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 1 - частота регистрируемого света, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Е - ширина запрещенной зоны используемого полупроводникового эмиттера, на который подают минус постоянного напряжения и измеряют величину автоэмиссионного тока, протекающего в анодной цепи, по которой судят об интенсивности регистрируемого светового потока, причем дополнительно весь автокатод освещают постоянным по интенсивности светом в области частот способ регистрации светового потока, патент № 2280845 2, удовлетворяющих условию hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 2>способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Е. Техническим результатом является увеличение чувствительности метода за счет дополнительного освещения автокатода. 3 ил. способ регистрации светового потока, патент № 2280845

способ регистрации светового потока, патент № 2280845 способ регистрации светового потока, патент № 2280845 способ регистрации светового потока, патент № 2280845

Формула изобретения

Способ регистрации светового потока, заключающийся в том, что измеряемый световой поток фокусируют на области максимальной чувствительности автокатода, изготовленного из полупроводника, при условии

hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 1>способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Е,

где h - постоянная Планка, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 1 - частота, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Е - ширина запрещенной зоны материала используемого полупроводникового автокатода, на который подают минус постоянного напряжения, и измеряют величину автоэмиссионного тока, протекающего в анодной цепи, по которой судят об интенсивности регистрируемого светового потока, отличающийся тем, что дополнительно весь автокатод освещают постоянным по интенсивности светом в области частот способ регистрации светового потока, патент № 2280845 2, удовлетворяющих условию

hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 2>способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Е.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к методам приема и регистрации светового излучения и может быть использовано при создании датчиков для инфракрасной области спектра.

Известен способ регистрации светового потока, падающего на фотокатод, описанный в [1] И.В.Савельев способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Курс общей физикиспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 , т.3, Наука, М., 1971, с.275, на который подают минус от выпрямителя и регистрируют ток вырванных из фотокатода под действием света электронов, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 внешний фотоэффектспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 . Фотоприемники, работающие по этому способу, называются фотоэлементами. Условием их работоспособности является выполнение неравенства hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 >А, где hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 - энергия падающего на катод светового кванта, А - работа выхода электрона из материала катода. К недостаткам способа относится трудность изготовления катода с низкой работой выхода и низкие значения квантового выхода k<1. k равен отношению числа вырванных световыми квантами из катода электронов к числу упавших на него квантов.

Известен способ регистрации светового потока, описанный в [2] И.В.Савельев способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Курс общей физикиспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 , т.3, Наука, М., 1971, с.280, заключающийся в освещении полупроводника исследуемым светом и измерении тока, протекающего через полупроводник при постоянной величине поданного напряжения. Работа способа основана на так называемом способ регистрации светового потока, патент № 2280845 внутреннем фотоэффектеспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 , когда под действием света в полупроводнике возрастает концентрация свободных зарядов, приводящая к уменьшению сопротивления полупроводника. Условием работоспособности метода является выполнение неравенства hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 >способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Eg, где h - постоянная Планка, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 - частота света, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Eg - ширина запрещенной зоны в собственном полупроводнике, величина энергетического зазора между зоной проводимости и примесными уровнями в полупроводнике n-типа или величина энергетического зазора между валентной зоной и примесными уровнями в полупроводнике p-типа.

К недостатку метода относится малая величина квантового выхода k<1.

Наиболее близким к заявляемому является способ регистрации светового потока, использованный в [3] Б.В.Стеценко, А.Ф.Яценко способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Фотокинетика автофотоэлектронной эмиссии из кремния p-типаспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 Украинский Физический Журнал, т.17, №10, с.1637, 1972, заключающийся в том, что исследуемый световой поток фокусируют на кончике игольчатого автокатода, изготовленного из полупроводника, на который подается минус постоянного напряжения, и измеряют величину автоэмиссионного тока, протекающего в анодной цепи, по которой судят об интенсивности регистрируемого светового потока.

Работоспособность метода обусловлена тем, что при освещении кончика эмиттера, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 внутренний фотоэффектспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 , увеличивается концентрация фотоэлектронов в приповерхностной области его кончика, которые движутся в проникающем ускоряющем поле к его поверхности и туннелируют сквозь потенциальный барьер. Это происходит там, где значения напряженности электрического поля максимальны, минимален радиус кривизны поверхности и, следовательно, максимальна прозрачность барьера.

Условием работоспособности метода является выполнение неравенства hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 >способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Eg, где способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Eg - ширина запрещенной зоны используемого полупроводника.

Величина автоэмиссионного тока, протекающего в анодной цепи, непосредственно связана с концентрацией фотоэлектронов и растет с ростом концентрации, что дает возможность судить по этой величине об интенсивности падающего на автокатод светового потока. Квантовый выход в фотоприемниках по способу [3] может значительно превышать значения, типичные для методов [1-2], то есть k>1.

Недостатком способа можно считать относительно низкую чувствительность, что сказывается при приеме слабых сигналов.

Техническим результатом настоящего изобретения является увеличение чувствительности метода из-за увеличения квантового выхода.

Поставленная задача по способу увеличения чувствительности метода достигается тем, что измеряемый световой поток фокусируют на области максимальной фоточувствительности автокатода, изготовленного из полупроводника, при условии

hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 1>способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Е,

где h - постоянная Планка, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 1 - частота регистрируемого света, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 E - ширина запрещенной зоны материала используемого полупроводникового автокатода, на который подают минус постоянного напряжения и измеряют величину автоэмиссионного тока, протекающего в анодной цепи, по которой судят об интенсивности регистрируемого светового потока, причем дополнительно весь автокатод освещают постоянным по интенсивности светом в области частот способ регистрации светового потока, патент № 2280845 2, удовлетворяющих условию hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 2>способ регистрации светового потока, патент № 2280845 E.

Заявляемое решение является новым, так как ранее нигде не описано.

На представленных фиг.1-3 показан принцип действия изобретения.

Для проверки работоспособности метода был собран макет действующей установки по заявляемому методу, представленный на фиг.1.

Свет от гелий-неонового лазера 1, ЛГН-109, с длиной волны способ регистрации светового потока, патент № 2280845 =0,63 мкм через прорези в диске модулятора 2, вращающегося от двигателя 3, плоскопараллельное стекло 4 фокусируется линзой 5 на кончике иголчатого автокатода 6, изготовленного в качестве примера реализации заявляемого решения из высокоомного кристалла арсенида галлия, p=106 Ом·см.

На автокатод подается минус от высоковольтного выпрямителя 7. Величина автоэмиссионного тока контролируется с помощью осциллографа 8, С1-70, входное сопротивление которого 106 Ом подключается к анодному выходу вакуумного прибора 10. Часть света, отраженного от стекла 4, поступает на фотодиод 11, преобразующий его в электрический сигнал, который после усиления в блоке 12 подается на синхронизирующий вход осциллографа. Изображение на экране осциллографа с помощью цифровой камеры 13 переносится на дисплей компьютера 14. Для подсветки автокатода используется свет от вольфрамовой лампы накаливания 15, питаемой через ключ 16 от постоянного источника 17, батарея стандартных элементов.

На фиг.2 показано увеличенное изображение игольчатого автокатода 6. Свет 18 от лазера 1 фокусируется в области максимальной фоточувствительности на кончике игольчатого автокатода 6 при выполнении условия hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 1>способ регистрации светового потока, патент № 2280845 E. Для арсенида галлия способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Е=1,4 эВ. Постоянным по интенсивности светом 19 от вольфрамовой лампы накаливания осуществляется полное освещение всего автокатода 6.

На фиг.3 приведены две типичные последовательные осциллограммы для абсолютного значения автоэмиссионного тока. Зависимость тока от времени 20, изображенная пунктиром, получена при отключении ключа 16, то есть тогда, когда реализуется способ регистрации по прототипу настоящего изобретения [3]. Зависимость 21, изображенная сплошной линией, получена при включенном ключе 16, то есть тогда, когда в соответствии с формулой изобретения весь автокатод дополнительно освещают постоянным по интенсивности светом в видимой области спектра, когда для использованного в качестве примера реализации заявляемого решения арсенида галлия выполняется условие hспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 2>способ регистрации светового потока, патент № 2280845 E.

Где h - постоянная Планка, h=6,62·10 -34Дж·c, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 - частота, способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Е - ширина запрещенной зоны используемого полупроводникового эмиттера.

Из сравнения кривых 20 и 21, фиг.3, видно, что чувствительность заявляемого решения в 1,57 раза больше, чем в способе по прототипу. Кривая 21 идет значительно выше кривой 20, что доказывает его работоспособность.

Дополнительно, из данных фиг.3, следует, что время установления переднего и заднего фронтов импульса фототока, то есть время релаксации, в заявляемом способе меньше, чем в способе по прототипу, что также является полезным эффектом, так как увеличивает быстродействие заявляемого решения. Работоспособность способа объясняется тем, что при освещении острия постоянным по интенсивности светом в указанном диапазоне частот, то есть способ регистрации светового потока, патент № 2280845 внутренний фотоэффектспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 , уменьшается сопротивление эмиттера, а следовательно, и обусловленное протеканием автоэмиссионного тока падение напряжения на эмиттере, что приводит к росту напряженности электрического поля у его кончика и соответствующему увеличению прозрачности потенциального барьера у его поверхности. Последнее увеличивает величину добавки фототока, обусловленную действием регистрируемого светового потока, то есть увеличивать чувствительность метода из-за увеличения квантового выхода, как показано в [4] S.N.Goncharov, V.D.Kalganov, N.V.Mileshkina, A.I.Priloutsky and P.G.Shlyhtenko, editor - in - chief: Yu.A.Ossipyan, Cchernogolovka, Russia; region editors: A.Kahn. Princeton, USA; U.Valbusa, Genova, Italy; способ регистрации светового потока, патент № 2280845 Optical and Emission Properties of Photosensitive Field Electron Current from GaAs and Ge Single Crystalsспособ регистрации светового потока, патент № 2280845 , Phys. Low-Dim. Struct., 9/10, 2001 р.143-154. Чувствительность - это отношение фотоотклика к интенсивности света.

Существенное отличие достигается тем, что весь автокатод дополнительно освещают постоянным по интенсивности светом, что обеспечивает достижимый результат.

Класс G01J1/42 действующие с помощью электрических детекторов излучения

способ сканирования поля яркости и фотооптическая система для его осуществления -  патент 2524054 (27.07.2014)
ультрафиолетовое устройство разведки целей -  патент 2520726 (27.06.2014)
светочувствительное устройство, имеющее датчик цвета и бесцветный датчик для инфракрасного отражения -  патент 2498237 (10.11.2013)
способ измерения световой характеристики импульсного фотоприемника -  патент 2492432 (10.09.2013)
способ обработки видеосигнала в пзс-контроллере для матричных приемников изображения -  патент 2480717 (27.04.2013)
измерительное устройство для измерения параметров сфокусированного лазерного пучка -  патент 2474795 (10.02.2013)
способ регистрации ультрафиолетового излучения и устройство для его осуществления -  патент 2431121 (10.10.2011)
трап-детектор -  патент 2405129 (27.11.2010)
устройство контроля дозы ультрафиолетового излучения -  патент 2385451 (27.03.2010)
приемник импульсного лазерного излучения -  патент 2367915 (20.09.2009)
Наверх