электронно-лучевая установка

Формула изобретения

Электронно-лучевая установка, содержащая технологический вакуумный корпус с откачным патрубком и координатным столом, над которым последовательно и осесимметрично размещены триодная электронная пушка с катодным узлом и анодным фланцем, аксиально-симметричная система транспортировки электронного пучка к координатному столу, выполненная в виде герметичного корпуса с расположенными вдоль него диафрагмами, центрирующей, фокусирующей и отклоняющей магнитными линзами, систему высоковольтного питания и управления линзами, отличающаяся тем, что в установку встроена пара Г-образных откачных патрубков с автономными откачными устройствами, анодный фланец пушки выполнен в виде цилиндрического стакана, установленного аксиально-асимметрично в корпусе лучевода, при этом стакан герметично соединен с цилиндрической стенкой, а на боковой поверхности стакана имеется отверстие, ортогонально сопряженное с первым Г-образным патрубком, а второй патрубок с откачным устройством ортогонально вмонтирован в цилиндрическую стенку анодного фланца пушки, центрирующая магнитная линза отделена дисковой перегородкой от фокусирующей магнитной линзы и установлена между диафрагмами, выполненными в форме усеченных конусов, меньшие основания которых ориентированы в сторону координатного стола, а большие основания закреплены на внешней поверхности торца анодного фланца и на внутренней поверхности дисковой перегородки, причем расстояние между торцами диафрагм равно удвоенному диаметру центрального отверстия.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к электротехнике, в частности к приборам, предназначенным для электронно-лучевой сварки металлических изделий, деталей и узлов.

Известна электронно-лучевая установка [1], предназначенная для микросварки и термической обработки изделий в вакууме, содержащая триодную электронную пушку, установленную на торце цилиндрического вакуумного корпуса, аксиально-симметричный блок транспортировки электронного пучка с магнитными линзами и рабочую камеру с координатным столом.

Основными недостатками известного устройства являются большая протяженность тракта транспортировки электронного пучка и низкая надежность системы в режимах, когда необходимо обеспечивать большой перепад давлений между областью ускорения и формирования пучка и рабочей камерой.

Кроме этого, известное устройство ограничено в своих технологических и функциональных возможностях в случае необходимости проведения механической юстировки элементов пушки, блока транспортировки пучка и вариаций режима газодинамического тракта при изменениях типа технологического процесса - сварка, термическая и размерная обработка.

Известна также электронно-лучевая установка [2], содержащая технологический вакуумный корпус с откачными патрубками и координатным столом, с которым осесимметрично состыкованы и последовательно размещены триодная электронная пушка с катодным узлом и анодным фланцем и аксиально-симметричная система транспортировки электронного пучка, выполненная в виде корпуса лучевода с расположенными вдоль него диафрагмами, центрирующей, фокусирующей и отклоняющей магнитными линзами, систему высоковольтного питания и управления линзами.

В известной установке предусмотрена возможность механической и электромагнитной юстировки системы транспортировки электронного пучка, однако вариации градиентов давления и режима газодинамического тракта, необходимые при изменениях типа технологического процесса, ограничены выбранной геометрией основных узлов установки. Это влияет на надежность системы и ограничивает ее функциональные возможности.

Настоящее изобретение решает задачу эффективного создания необходимых градиентов давления и режима фокусировки, центрирования и отклонения электронного пучка для широкого спектра технологических условий и процессов. Кроме этого, обеспечивается уменьшение протяженности тракта транспортировки электронного пучка и соответственно улучшение удельных массогабаритных параметров и повышение кпд и надежности.

Для решения этой задачи в известной [2] электронно-лучевой установке, содержащей технологический вакуумный корпус с откачными патрубками и координатным столом, с которым осесимметрично состыкованы и последовательно размещены триодная электронная пушка с катодным узлом и анодным фланцем и аксиально-симметричная система транспортировки электронного пучка к координатному столу, выполненная в виде корпуса лучевода с расположенными вдоль него диафрагмами, центрирующей, фокусирующей и отклоняющей магнитными линзами, систему высоковольтного питания и управления линзами, в установку встроена пара Г-образных откачных патрубков с автономными откачными устройствами, анодный фланец пушки выполнен в виде цилиндрического стакана, установленного аксиально-асимметрично в корпусе лучевода, при этом стакан герметично соединен с цилиндрической стенкой, а на боковой поверхности стакана имеется отверстие, ортогонально сопряженное с первым Г-образным патрубком, а второй патрубок с откачным устройством ортогонально вмонтирован в цилиндрическую стенку анодного фланца пушки, центрирующая катушка отделена дисковой перегородкой от фокусирующей линзы и установлена между диафрагмами, выполненными в форме усеченных конусов, меньшие основания которых ориентированы в сторону координатного стола, а большие основания закреплены на внешней поверхности торца анодного фланца и на внутренней поверхности дисковой перегородки, причем расстояние между торцами диафрагм равно удвоенному диаметру центрального отверстия.

Изобретение поясняется чертежами, где на фиг.1 представлен общий вид установки, скомпонованной в технологическом вакуумном корпусе, а на фиг.2 - общий вид ЭЛТУ, в которой электронно-лучевой блок с дополнительными автономными откачными устройствами расположен над технологическим корпусом.

Предлагаемая электронно-лучевая установка содержит технологический вакуумный корпус 1 с откачными патрубками 2 и координатным столом 3.

Триодная электронная пушка 4 снабжена анодным фланцем 5, выполненным в виде цилиндрического стакана.

Система транспортировки электронного пучка 6 выполнена в виде корпуса лучевода 7 с расположенными в нем диафрагмами 8, а также центрирующей 9, фокусирующей 10 и отклоняющими 11 магнитными линзами.

Установка содержит систему высоковольтного питания 12 и систему питания и управления линзами 13.

Встроенные Г-образные откачные патрубки 14 соединены с автономными откачными устройствами 15.

Цилиндрический стакан анодного фланца 16 установлен асимметрично в корпусе лучевода 7 и герметично соединен отверстием в цилиндрической стенке 18 с первым Г-образным патрубком 14. Второй патрубок с откачным устройством вмонтирован герметично в цилиндрическую стенку 17 корпуса лучевода 7. Центрирующая магнитная линза 9 отделена дисковой перегородкой 19 в лучеводе 7 и установлена между диафрагмами 8, выполненными в форме усеченных конусов. Меньшие основания диафрагм 20 ориентированы в сторону координатного стола. Большие основания диафрагм закреплены соответственно на внешней стороне торца анодного фланца 21 и на внутренней поверхности дисковой перегородки 22. Расстояние h (23) между торцами диафрагм 20 равно удвоенному диаметру d (24) центрального отверстия. Высоковольтный ввод 25 электронной пушки по фиг.1 герметично крепится на верхней крышке технологического корпуса и используется также для подвода питания накала для катодного узла 26. Анодный электрод 27 и фланец заземлены.

Электронно-лучевая установка работает следующим образом.

Перед началом работы проводится механическая юстировка блоков и затем производится включение откачной системы технологической камеры и электронной пушки.

Давление в рабочей камере, поддерживаемое форвакуумным насосом, может оставаться в пределах 10^-2 - 10^-3 мм рт.ст.

Автономные откачные устройства 15, собранные, например, на основе турбомолекулярных насосов, могут включаться параллельно и одновременно либо поочередно в зависимости от типа технологического процесса.

Система высоковольтного питания установки 12 автоматически обеспечивает стабилизацию высокого напряжения по сигналу с высоковольтного делителя напряжения, а также подавление пульсаций напряжения до заданного уровня. Система питания и управления линзами 13, как и в прототипе, снабжена датчиками контроля режима и положения электронного пучка для ведения сварки.

Встроенные Г-образные откачные патрубки 14 с откачными устройствами 15 формируют режим дифференциальной откачки рабочего объема триодной электронной пушки с электродами 26 и 27 и области расположения центрирующей магнитной линзы 9, ограниченной конусными диафрагмами 8. Эмпирически найденное отношение расстояния между торцами диафрагм и диаметра их центрального отверстия h/d=2 обеспечивает эффективное действие механизма газодинамического затвора на входе пучка в лучевод 7. При этом вероятность развития разряда в системе транспортировки электронного пучка 6, обусловленного взаимодействием пучка и остаточного газа, резко снижается и повышается эффективность магнитной коррекции положения и диаметра пучка. Для выбранного количества ступеней откачки n=2 длина пучка в области центрирования его положения оказывается минимальной, поскольку откачные патрубки 14 расположены ортогонально по отношению к оси системы и к лучеводу 7.

Кроме этого, предлагаемое выполнение основных блоков электроннолучевой установки обеспечивает возможность по фиг.2 их юстировки и демонтажа без разборки всего комплекса. Минимизация длины тракта пучка в зоне дифференциальной откачки, в свою очередь, расширяет допустимый диапазон рабочих параметров: плотность тока, поперечное сечение, мощность.

Источники информации

1. Спивак В.М. и др. Системы управления лучевых технологических установок. Киев. 1988 г., стр.202-206, рис.52.

2. Патент РФ №2192687, 7 H 01 J 37/30, 2002 г. Бюл. №31.