способ и устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении

Формула изобретения

1. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:

(a) крепят пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и

(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.

2. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:

(а) крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и

(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения многослойного пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.

3. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:

(a) крепят первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и крепят второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, вдоль верхней наклонной поверхности элемента перемещения клиновидной формы, и

(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.

4. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:

(a) крепят первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и крепят второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, к верхней наклонной поверхности элемента перемещения клиновидной формы,

(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения первого пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины поверхности листа, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, и

(c) дополнительно, посредством быстрой деформации и перемещения второго пьезоэлектрического элемента осуществляют точное позиционирование подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины поверхности листа.

5. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:

(а) крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, к верхней наклонной поверхности элемента перемещения клиновидной формы, и

(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, из многослойного пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, и многослойного пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к верхней наклонной поверхности, и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, и посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, из многослойного пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к верхней наклонной поверхности, посредством чего также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.

6. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:

(а) крепят первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки на обеих сторонах, и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, и крепят второй и третий пьезоэлектрические элементы, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, к каждой верхней наклонной поверхности обоих сторон элемента перемещения клиновидной формы, и

(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы в поперечном направлении на основании посредством быстрой деформации и перемещения первого пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел, перемещаемых в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины поверхности листа, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении не изменялась, и посредством быстрой деформации и перемещения второго и третьего пьезоэлектрических элементов также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины поверхности листа.

7. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:

(а) крепят пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки по обеим сторонам, и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, и крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, к каждой верхней наклонной поверхности по обеим сторонам элемента перемещения клиновидной формы, и

(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, и пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел, перемещаемых в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины поверхности листа, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел, так чтобы общая потенциальная энергия подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, размещенного на верхней наклонной поверхности и формирующего деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины поверхности листа.

8. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, в котором устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, в котором первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, прикреплен к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на первом основании, имеющем поверхности стенки по обеим сторонам, и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, второй и третий пьезоэлектрические элементы, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, прикреплены к каждой верхней наклонной поверхности обоих сторон элемента перемещения клиновидной формы, элемент перемещения клиновидной формы перемещается в поперечном направлении на первом основании посредством быстрой деформации и перемещения первого пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел, перемещаемых в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины поверхности листа, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и посредством быстрой деформации и перемещения второго и третьего пьезоэлектрических элементов точное позиционирование подвижных тел в направлении глубины поверхности листа, содержащее размещение устройства на втором основании посредством четвертого пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига и который прикреплен к нижней поверхности первого основания, и перемещение устройства точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении на втором основании в горизонтальном направлении посредством быстрой деформации и перемещения четвертого пьезоэлектрического элемента, посредством чего осуществляется позиционирование подвижных тел в направлении xyz.

9. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.8, в котором второй и третий пьезоэлектрические элементы являются многослойными пьезоэлектрическими элементами, в которых связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа.

10. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, и второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, и подвижное тело, которое размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и приведения в действие первого и третьего пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз, в поперечном направлении и вертикальном направлении поверхности листа, и посредством быстрой деформации и приведения в действие второго и четвертого пьезоэлектрических элементов также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.

11. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, и второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, при этом подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и приведения в действие первого и третьего пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, перемещаемого в направлении вверх и вниз, в поперечном направлении и в вертикальном направлении поверхности листа, и посредством быстрой деформации и перемещения второго и четвертого пьезоэлектрических элементов также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.

12. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:

(a) элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела, и к нижней поверхности прикреплен пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига,

(b) источник импульсов для быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, и

(c) подвижное тело, вертикально перемещаемое в направлении вверх и вниз к поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела посредством перемещения элемента перемещения клиновидной формы, при этом

(d) посредством ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы к/из подвижного тела осуществляется позиционирование перемещения подвижного тела.

13. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:

(а) элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела, и к нижней поверхности прикреплен многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию,

(b) источник импульсов для быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, и

(c) подвижное тело, вертикально перемещаемое в направлении вверх и вниз к поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела посредством перемещения элемента перемещения клиновидной формы, при этом

(d) посредством ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы к/из подвижного тела осуществляется позиционирование перемещения подвижного тела.

14. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.12, в котором дополнительно второй пьезоэлектрический элемент закреплен на верхней поверхности элемента перемещения клиновидной формы.

15. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.14, в котором второй пьезоэлектрический элемент является многослойным пьезоэлектрическим элементом.

16. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.14, в котором второй пьезоэлектрический элемент является пьезоэлектрическим элементом, который осуществляет сдвиг в направлении глубины поверхности листа.

17. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.15, в котором второй многослойный пьезоэлектрический элемент представляет собой слои из пьезоэлектрического элемента, который осуществляет сдвиг в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрического элемента, который осуществляет сдвиг в направлении глубины поверхности листа.

18. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.15, в котором второй многослойный пьезоэлектрический элемент представляет собой слои из пьезоэлектрического элемента, который осуществляет сдвиг в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрического элемента, который осуществляет растяжение и сжатие в направлении нормали наклонной поверхности.

19. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.12, в котором дополнительно третий пьезоэлектрический элемент прикреплен к поверхности подвижного тела, которое контактирует со стороной поверхности стенки неподвижного тела.

20. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.13, в котором дополнительно третий многослойный пьезоэлектрический элемент прикреплен к поверхности подвижного тела, которое контактирует со стороной поверхности стенки неподвижного тела.

21. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:

(a) пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, прикрепленный к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки на обеих сторонах, и имеет треугольную форму в поперечном сечении, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, который прикреплен к каждой верхней наклонной поверхности обеих сторон элемента перемещения клиновидной формы, и

(b) средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы элемент перемещения клиновидной формы перемещается на основании, и посредством ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел справа и слева, перемещаемых в вертикальном направлении и в направлении глубины поверхности листа, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в поперечном направлении и в вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и дополнительно содержит средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, размещенных на внешней наклонной поверхности и формирующих деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины поверхности листа.

22. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:

(a) пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, прикрепленный к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки по обеим сторонам, и имеет треугольную форму в поперечном сечении, и многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, который крепится к каждой верхней наклонной поверхности по обеим сторонам элемента перемещения клиновидной формы, и

(b) средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, из пьезоэлектрического элемента нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы и многослойных пьезоэлектрических элементов, прикрепленных к верхним наклонным поверхностям, элемент перемещения клиновидной формы перемещается на основании, и посредством ударения или извлечения подвижного элемента клиновидной формы в/от двух подвижных тел справа и слева, перемещаемых в вертикальном направлении и в направлении глубины поверхности листа, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в поперечном направлении и в вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и дополнительно содержит средство, в котором из многослойных пьезоэлектрических элементов, размещенных на верхних наклонных поверхностях, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины поверхности листа.

23. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:

(a) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, и

(b) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, при этом

(с) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения в поперечном направлении поверхности листа и вертикальном направлении подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении и направлении глубины поверхности листа, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.

24. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:

(а) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа,

(в) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, при этом

(с) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, которое перемещается в вертикальном направлении и направлении глубины поверхности листа, в поперечном направлении поверхности листа и вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.

25. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:

(а) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый многослойный пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрического элемента, который формирует вертикальную деформацию, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа,

(b) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий многослойный пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрического элемента, который формирует вертикальную деформацию, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, при этом

(c) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и посредством ударения или извлечения элементов перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении и направлении глубины поверхности листа, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в поперечном направлении поверхности листа и вертикальном направлении, и средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.

26. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:

(a) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию,

(b) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, при этом

(с) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и посредством ударения или извлечения элементов перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении и направлении глубины поверхности листа, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.

Описание изобретения к патенту

Текст описания приведен в факсимильном виде.