способ изготовления геркона с азотированными контакт-деталями

Формула изобретения

Способ изготовления геркона с азотированными контакт-деталями, включающий очистку пермаллоевой проволоки, штамповку контакт-деталей, обезжиривание и промывку, магнитный отжиг, заварку и отжиг геркона, покрытие выводов и контроль электрических параметров, отличающийся тем, что после магнитного отжига контакт-деталей производят заварку геркона с поддувом азота и после покрытия выводов геркон подвергают ионно-плазменной обработке в режиме многократного воздействия высоковольтных искровых разрядов напряжением 1000-2500 В в течение 0,05-0,2 мс с периодом воздействия 0,7-1 мс со сменой через каждые 7-10 мс полярности импульсов на выходе высоковольтного генератора, приводящей после такой обработки в течение 30 с к образованию на контактирующих поверхностях контакт-деталей участков объемного азотирования с глубиной до 80 нм.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано в электронной промышленности при изготовлении герметизированных магнитоуправляемых контактов (герконов).

Технический результат - снижение себестоимости геркона за счет замены контактного гальванопокрытия из дорогостоящих драгоценных металлов на контактирующую поверхность из азотированного пермаллоя.

Предлагаемая ионно-плазменная обработка контактирующих поверхностей пермаллоевых контакт-деталей позволяет сформировать износостойкие наноструктуры из нитридов железа и никеля, что позволяет отказаться от экологически опасных гальванических операций.

Известные способы азотирования стальных изделий в импульсном тлеющем разряде и ионно-плазменной обработки контакт-деталей геркона с родиевым гальванопокрытием изложены в источниках [1, 2, 3].

Наиболее близким способом является технологический процесс, используемый при изготовлении серийного геркона МКА-14103 с длиной стеклянного баллона 14 мм согласно СЯ 4.830.031-01 МК, изложенный в [4].

Технологический процесс изготовления геркона МКА-14103 включает следующие операции.

Пермаллоевую проволоку подвергают очистке от консервирующей смазки в результате обезжиривания в ванне с горячим трихлорэтиленом и последующей ультразвуковой (УЗВ) очистке, после чего она поступает на автомат штамповки контакт-деталей геркона.

После обезжиривания в ванне с перхлорэтиленом, сортировки и укладки в технологическую тару контакт-детали подвергают УЗВ промывке в ванне с деионизованной водой и после осушки отжигают в печи с поддувом азота с формированием заданных магнитных параметров.

Технологический процесс нанесения на контакт-детали гальванического покрытия включает 17 переходов между различными операциями, в том числе экологически опасные обезжиривание, докапирование в кислотном растворе, предзолочение, золочение, рутенирование. После УЗВ промывки и осушки в центрифуге контакт-детали поступают на заварку в стеклянный баллон, заполненный азотом. Заваренные герконы после отжига стеклянного баллона и магнитострикционной тренировки поступают на химическое полирование выводов с последующим лужением и контролем электрических параметров.

Однако существующий способ изготовления серийно выпускаемых герконов имеет следующие недостатки:

- высокая трудоемкость, сложность и нестабильность процесса гальванического нанесения контактного покрытия;

- высокая стоимость используемых драгоценных металлов;

- большой расход и невозвратные потери драгоценных металлов;

- большая длительность осаждения покрытия;

- сложность осаждения сплава заданного химического и фазового состава и заданной структуры;

- сложность получения тонких беспористых пленок с низким внутренним напряжением и с высокой адгезией к материалу контакт-детали;

- сложность и дороговизна оборудования;

- большие энергетические затраты;

- наличие экологически опасных технологических операций;

- недостаточно хорошие санитарно-гигиенические условия труда.

Задачей предлагаемого изобретения является упрощение способа изготовления геркона за счет замены гальванических операций на новый технологический процесс, позволяющий исключить использование дорогостоящих драгоценных металлов, а также снижение трудоемкости и себестоимости изготовления геркона.

Поставленная задача решается тем, что предлагается способ изготовления геркона с азотированными контакт-деталями, включающий очистку пермаллоевой проволоки, штамповку контакт-деталей, обезжиривание и промывку, магнитный отжиг, заварку и отжиг геркона, покрытие выводов и контроль электрических параметров, отличающийся тем, что после магнитного отжига производят заварку геркона с поддувом азота и после покрытия выводов геркон подвергают ионно-плазменной обработке в режиме многократного воздействия высоковольтных искровых разрядов с напряжением 1000-2500 В в течение 0,05-0,2 мс с периодом воздействия 0,7-1 мс со сменой через каждые 7-10 мс полярности импульсов на выходе высоковольтного генератора, приводящей после такой обработки в течение 30 с к образованию на контактирующих поверхностях контакт-деталей участков объемного азотирования с глубиной до 80 нм.

Согласно [3] снижение длительности импульсов до нескольких десятков микросекунд позволяет в 2-3 раза повысить порог зажигания аномального тлеющего разряда (1200 В в импульсном режиме вместо 400 В на постоянном токе). В результате этого увеличивается энергия, набираемая на длине свободного пробега положительными ионами азота при бомбардировке катода, что приводит к росту глубины объемного азотирования поверхности контакт-детали, являющейся в данный момент катодом.

Заявляемые диапазоны длительности и периода повторения импульсов высокого напряжения недостаточны для перехода искрового разряда в дуговой и не вызывают нарушений на контактирующих поверхностях после ионно-плазменной обработки в импульсном режиме. Кроме того, взаимодействие обрабатываемой поверхности с низкоэнергетичными ионами азота из столба плазмы вызывает дополнительно к объемному и поверхностное азотирование контактирующих поверхностей.

Совокупность отличительных признаков, заключающихся в проведении ионно-плазменной обработки "чистых" (без гальванопокрытия) контактирующих поверхностей контакт-деталей геркона, приводит к достижению нового технического результата.

Способ осуществляется следующим образом.

Контакт-детали от серийно выпускаемого геркона, например МКА-14103, после магнитного отжига завариваются в стеклянном баллоне в атмосфере азота. После отжига герконов и нанесения покрытия на выводы, герконы высыпаются в бункер автоматического устройства, из которого формируют электрическую цепь из 11 последовательно включенных герконов. Концы этой цепи на 30 с подключают к генератору высоковольтных импульсов с амплитудой от 20000 до 25000 В, что обеспечивает напряжение при искровом разряде в герконе в пределах от 1000 до 2500 В. За время такой обработки контактирующая поверхность каждой контакт-детали подвергается воздействию 1500 искровых разрядов длительностью (0,05-0,2)мс. После ионно-плазменной обработки герконы автоматически выгружают и передают по существующему маршруту на следующую технологическую операцию.

Сравнительные результаты применения заявляемого способа изготовления геркона с азотированными контакт-деталями для геркона МКА-14103 приведены в табл.1, 2.

В табл.1 приведено распределение для 1000 герконов МКА-14103 с гальванопокрытием рутений по золоту с магнитодвижущей силой срабатывания (МДС) (10-15) А по величине сопротивления в замкнутом герконе.

Таблица 1
Всего 1000 шт.	Сопротивление, Ом
0,08-0,09	0,091-0,1	0,11-0,12	0,121-0,13	0,131-0,14	0,141-0,15
в том числе	81	92	387	320	91	29

В табл.2 приведено распределение для 1000 герконов с азотированными контакт-деталями геркона МКА-14103 с МДС (10-15) А по величине сопротивления в замкнутом герконе.

Таблица 2
Всего 1000 шт.	Сопротивление, Ом
0,08-0,09	0,091-0,1	0,11-0,15	0,151-0,2	0,21-0,25
в том числе	95	181	390	271	63

Заявляемый способ позволяет обеспечить стабилизацию исходного значения сопротивления геркона с азотированными контакт-деталями на уровне серийно выпускаемых герконов с гальванопокрытием из драгоценных металлов.

Герконы с азотированными контакт-деталями проходили испытания на безотказность в режимах коммутации с частотой 50 Гц электрических цепей постоянного тока с активной нагрузкой. В режиме 50 мВ-5 мкА наработка до первого отказа составила 5·10⁷ циклов коммутаций, в режиме 20 В-0,5А - 5·10⁶ циклов, а в режиме 6 В-10 мА - 10⁶ циклов коммутаций.

Из каждого режима коммутации на нескольких герконах проводилась оценка глубины азотирования контактирующей поверхности контакт-детали. С помощью электронного Оже-спектрометра снимались Оже-спектрограммы поверхности контакт-детали до и после фиксированного распыления ионами аргона.

Интенсивность пиков азота на Оже-спектрограмме на глубине 80 нм уменьшалась примерно на порядок по сравнению с интенсивностью пиков азота на Оже-спектрограмме, полученной на поверхности не подвергавшейся травлению ионами аргона.

Предлагаемая совокупность отличительных признаков позволит добиться нового положительного эффекта.

Ионно-плазменная обработка контакт-деталей, проведенная согласно предлагаемому способу, обеспечивает объемное азотирование с глубиной до 80 нм включительно, что позволяет исключить из технологического процесса изготовления геркона 17 операций, необходимых при нанесении на контакт-детали гальванического многослойного покрытия из драгоценных металлов. Кроме того, сохраняя уровень качества герконов, экономия за счет стоимости драгметаллов и 40% снижения трудоемкости изготовления геркона позволила существенно снизить себестоимость геркона.

Источники информации

1. АС СССР № 385335, Н01Н 11/04, опубликован 29.05.1973 г. Бюл.25.

2. АС SU № 1690011, Н01Н 11/04, опубликован 07.11.1991 г. Бюл.41.

3. Патент Украины № 19782, С23С 8/06, опубликован 15.12.2006 г. Бюл.12.

4. P.M.Майзельс. Герконы. Перспективы применения. Новые разработки «ОАО РЗМКП» «Магнитоуправляемые контакты (герконы) и изделия на их основе». Сборник трудов первой международной научно-практической конференции. Рязань, Россия, 11-14 октября 2005 г., стр.3-14.