тепловой микрорасходомер газа

Формула изобретения

Тепловой микрорасходомер газа, содержащий корпус с расположенными в нем теплообменником управляемой мощности с нагревательной спиралью, газораспределительной камерой и герметично соединенными с ней двумя измерительными и двумя термокомпенсационными каналами, в которых размещены соответствующие теплочувствительные элементы в виде идентичных термисторов, дополнительными спиралями, размещенными на внешних поверхностях измерительных и термокомпенсационных каналов, блок управления мощностью, к которому подключены термисторы термокомпенсационных каналов, а также последовательно соединенные спираль теплообменника и дополнительные спирали, а также блок преобразования выходного сигнала, отличающийся тем, что блок преобразования выходного сигнала теплового микрорасходомера выполнен в виде схемы резистивного делителя напряжения, элементами которого являются последовательно соединенные термисторы в измерительных каналах и резистор задаваемой величины.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к тепловым расходомерам для измерения расхода газа в диапазоне 0÷100 мг/с.

Общими недостатками тепловых расходомеров являются недостаточные точность и чувствительность по расходу.

Известен автономный четырехканальный расходомер газа, содержащий герметичный теплоизолированный металлический корпус с расположенными в нем теплообменником с нагревательной спиралью и газораспределительной камерой для подачи поступающего в нее потока газа в два измерительные и в два термокомпенсационные каналы, выполненные идентичными. В каналах размещены теплочувствительные элементы (ТЧЭ) в виде соединенных последовательно полупроводниковых сопротивлений (термисторов) без косвенного нагрева, а на внешних поверхностях каналов установлены дополнительные нагревательные спирали. ТЧЭ термокомпенсационных каналов включены в электронную схему блока управления мощностью теплообменника и дополнительных нагревательных спиралей. В известном расходомере блок преобразования выходного сигнала представляет собой мостовую схему, элементами которой являются последовательно соединенные измерительные термисторы в измерительных каналах, а выходным сигналом является напряжение, снимаемое с диагонали моста [1]. Этот расходомер принят за прототип.

Расходомер [1] имеет недостаточные точность и чувствительность, обусловленные тем, что выходным сигналом расходомера является напряжение, снимаемое с диагонали мостовой схемы, одним из плеч которого являются последовательно включенные измерительные термисторы.

Задачей изобретения является повышение точности и чувствительности теплового микрорасходомера газа.

Поставленная задача достигается тем, что блок преобразования выходного сигнала теплового микрорасходомера выполнен в виде схемы резистивного делителя напряжения, элементами которого являются последовательно соединенные термисторы в измерительных каналах и резистор задаваемой величины. Выходными сигналами теплового микрорасходомера являются регистрируемые падения напряжения большой величины на элементах резистивного делителя напряжения.

Как показали наши исследования, схема резистивного делителя напряжения, содержащая в качестве элементов термистор и резистор, обладает, подобно мостовой схеме, точкой равновесия, которая достигается при равенстве падения напряжения на элементах схемы U_tr =U_R=U_п / 2, где U_п - напряжение питания схемы, при котором наступает равновесие.

Сущность изобретения графически представлена на чертеже, в частности, на фиг.1 схематически изображено устройство теплового микрорасходомера газа, отличие которого от прототипа заключается в том, что вместо мостовой схемы используется схема резистивного делителя напряжения, элементами которой являются последовательно включенные измерительные термисторы 8, 9 и резистор R(T₀), и регистрируются падения напряжения на этих элементах так, как это представлено на фиг.1.

Заявляемый тепловой микрорасходомер содержит:

корпус 1 расходомера, корпус 2 теплообменника, газораспределительную камеру 3, каналы 4 и 5 с измерительными термисторами, каналы 6 и 7 с термокомпенсационными термисторами, измерительные термисторы 8 и 9, термокомпенсационные термисторы 10 и 11, нагревательную спираль 12 теплообменника, дополнительные спирали 13, 13', 14, 14' на поверхностях каналов, блок 15 управления мощностью спирали теплообменника и дополнительных спиралей; 2R_rt (Т_n+Т) - сопротивление последовательно соединенных измерительных термисторов; R(T₀) - сопротивление резистора; K - двухполюсный сдвоенный переключатель; V - вольтметр (типа В7-21а).

Тепловой микрорасходомер работает следующим образом.

Микрорасходомер заполняется исследуемым газом. Расположенные в каналах 6, 7 теплочувствительные элементы 10, 11 принимают температуру газа, и их омическое сопротивление становится равным R(Т_г). Если Т_г Т_п - максимальным по условиям эксплуатации значениям Т_вх и Т_ср, то под действием сигнала рассогласования R(T_г, Т_п) с блока управления мощностью (БУМ) 15, к которому электрически подключены термокомпенсационные термисторы 10, 11, к последовательно соединенным спиралям 12, 13, 13', 14, 14' подводится мощность, сводящая R к нулю. Это приводит к термостабилизации газовой среды на фиксированном уровне Т_п. При подаче расхода постоянство температуры газового потока на заданном уровне Т_п поддерживается БУМ автоматически, чем и обеспечивается независимость показаний расходомера от значений Т_вх и Т_ср , т.е. его температурная автономность, как и у прототипа. Функция дополнительных спиралей 13, 13', 14, 14' на внешних поверхностях каналов та же, что и у прототипа.

Затем задается температура Т₀ измерительных термисторов изменением напряжения питания схемы резистивного деления напряжения до тех пор, пока напряжение на элементах схемы не станет одинаковым и равным 2U_tr=U_R=U_п/2. При этом сумма сопротивлений термисторов становится равной сопротивлению резистора - 2R_tr(T₀)=R(T₀). Величина R(T₀) находится по зависимости сопротивления термистора от температуры - R_tr(T₀)=А·ехр(В/Т ₀), где А и В - постоянные термистора, определяемые экспериментально.

После этого через входной штуцер (не показан) газ расходом G и температурой Т_вх подается в теплообменник 2, в котором нагревается до температуры Т_г и поступает в газораспределительную камеру (ГРК) 3, делящую газовый поток на четыре одинаковые по расходу (G/4) и температуре Т_п потоки, поступающие затем в измерительные 4, 5 и в термокомпенсационные 6, 7 каналы соответственно. При этом в одинаковые по функции каналы газовые потоки расходом G/4 и одинаковой температуры Т _п поступают в строго противоположных направлениях независимо от ориентации оси расходомера, чем обеспечивается ориентационная независимость его показаний, как и у прототипа.

Соединенные последовательно теплочувствительные элементы 8, 9 в измерительных каналах 4, 5, перегретые относительно газового потока проходящим через них током на величину T 25-50 K относительно фиксированного температурного уровня Т_П, охлаждаются поступающими в измерительные каналы 4, 5 газовыми потоками и температура измерительных термисторов уменьшается. Это вызывает увеличение их омических сопротивлений, что при U_п=const приводит к перераспределению напряжений на элементах схемы резистивного делителя напряжения. При этом напряжение на термисторах U_tr(G) растет с ростом расхода, а на резисторе напряжение U_R(G) падает так, чтобы сумма напряжений U_tr(G) +U_R(G) равнялась напряжению питания U_П=const. Из каналов 4, 5 и 6, 7 газовые потоки расходом G/4 каждый поступают во внутренний объем герметичного корпуса 1 расходомера, и газ расходом G уходит в газовую сеть через выходной штуцер (не показан).

Практика показала, что при использовании термисторов типа СТ1-18, в диапазоне расхода 0÷15 мг/с напряжение на термисторах изменяется в пределах 130÷206 В, а на резисторе - 130÷54 В. Усредненная по диапазону чувствительность составила 10,13 В/(мг/с), что намного превышает чувствительность всех известных расходомеров, в том числе и прототипа. Большие по величине напряжения, снимаемые с элементов схемы резистивного делителя напряжения, позволяют не принимать меры для их помехозащищенности и отказаться от усилительных схем различной степени сложности. Кроме того, большая величина регистрируемых напряжений обеспечивает: повышение точности измерений; нелимитируемую длину разнесения собственно расходомера и его электронного блока, что позволяет использовать расходомер в изолированных объемах, в частности, в вакуумной камере установок различного назначения; осуществление контроля качества работы стабилизированного источника питания для внесения необходимых поправок при нарушении равенства U_п=U _tr+U_R исключение вопроса о дрейфе нуля в отсутствие расхода.