оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения

Классы МПК:G01J4/04 поляриметры с использованием электрических детекторов
Автор(ы):,
Патентообладатель(и):Учреждение Российской академии наук Институт прикладной механики Уральского отделения РАН (RU)
Приоритеты:
подача заявки:
2011-09-01
публикация патента:

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения поляризации света. Оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения содержит оптоэлектрический преобразователь, выполненный в виде нанесенной на диэлектрическую подложку проводящей пленки, обладающей свойством генерации поверхностных токов под действием света, и двух параллельных измерительных электродов, размещенных на поверхности пленки, цилиндрической втулки, несущего стержня, средства индикации углового положения оптоэлектрического преобразователя и устройства обработки электрических сигналов. Пленка размещена наклонно на цилиндрической втулке, обладающей возможностью вращения относительно несущего стержня. Электроды закреплены на противоположных краях пленки параллельно осевому сечению цилиндрической втулки, ориентированному перпендикулярно плоскости наклона пленки. Изобретение позволяет упростить конструкцию измерителя поляризации лазерного излучения, расширить спектральный диапазон его работы, увеличить допустимую апертуру анализируемого излучения. 3 ил. оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457

оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457

Формула изобретения

Оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, включающий поляризатор со средством индикации его углового положения, фотоприемник и устройство обработки электрических сигналов, отличающийся тем, что поляризатор и фотоприемник выполнены в виде оптоэлектрического преобразователя, состоящего из нанесенной на диэлектрическую подложку проводящей пленки, обладающей свойством генерации поверхностных токов под действием света по закону j=k(оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 )Psin2Ф,

где j - плотность поверхностных токов;

k(оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 ) - коэффициент пропорциональности, зависящий от материала пленки и угла падения оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 излучения на пленку;

Р - мощность падающего оптического излучения;

Ф - угол между плоскостью падения и плоскостью поляризации падающего излучения,

и размещенной наклонно на цилиндрической втулке, обладающей возможностью вращения вокруг своей оси относительно несущего стержня, и двух параллельных измерительных электродов, размещенных на поверхности проводящей пленки на ее противоположных краях параллельно осевому сечению цилиндрической втулки, ориентированному перпендикулярно плоскости наклона пленки.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения поляризации света. Устройство по данному изобретению может быть использовано для определения состояния поляризации оптического излучения.

В различных процессах с применением оптических и лазерных источников часто приходится контролировать поляризацию излучения. Обычно для этих целей используются хорошо известные анализаторы поляризации, состоящие из поляризатора со средством индикации его углового положения. Поляризация излучения определяется поворотом поляризатора до положения, в котором достигается минимум интенсивности проходящего через поляризатор излучения, наблюдаемого визуально напрямую или на экране [Ахманов С.А., Никитин С.Ю. Физическая оптика: Учебник. М.: Изд-во Моск. ун-та, 1998]. Найденное положение соответствует плоскости, перпендикулярной плоскости поляризации излучения. Недостатками данного метода являются ограниченный спектральный диапазон применения, обусловленный ограниченным спектром восприятия глаза человека, и неточность измерения, обусловленная субъективностью визуального определения минимума интенсивности проходящего через поляризатор излучения и возможностью посторонней засветки.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для определения поляризации лазерного излучения [Жевандров Н.Д. Применение поляризованного света. М.: Наука, 1978], содержащее поляризатор со средством индикации его углового положения, фотоприемник и устройство обработки электрических сигналов.

Пучок линейно поляризованного излучения от источника света проходит через поляризатор и затем попадает на фотоприемник, сигнал с которого регистрируется устройством обработки электрических сигналов. Поворотом поляризатора добиваются положения, в котором достигается минимум сигнала, регистрируемого с фотоприемника устройством обработки.

При этом используемые поляризаторы могут быть разной конструкции. Широкое применение нашли поляризаторы, состоящие из двулучепреломляющих призм на основе оптически прозрачных двулучепреломляющих кристаллов. Принцип работы таких поляризаторов основан на пространственном разделении обыкновенного и необыкновенного лучей за счет эффекта двулучепреломления.

Однако такие поляризаторы имеют ряд недостатков. Одним из таких недостатков является ограниченность спектрального диапазона работы двулучепреломляющих призм. Обычно область оптического пропускания применяемых в них двулучепреломляющих кристаллов ограничена диапазоном от ультрафиолета до ближней инфракрасной области. Так, у кальцита область оптического пропускания находится в пределах от 220 до 2300 нм. Такие поляризаторы, следовательно, и анализаторы в принципе не могут работать в средней инфракрасной области. В реальности указанный спектральный диапазон дополнительно сужается из-за невозможности обеспечения условия пространственного разделения обыкновенного и необыкновенного лучей на всей его протяженности.

Более того, фотоприемники, работающие на внутреннем и внешнем фотоэффекте, входящие в состав распространенных устройств определения поляризации, также имеют ограниченный спектральный диапазон применения. Например, обычный фотоприемник, работающий на внешнем фотоэффекте, не может работать в области длин волн более 1200 нанометров.

Ограниченность спектральных диапазонов пропускания поляризатора и чувствительности фотоприемника требует применения нескольких различных поляризаторов и фотоприемников для охвата широкой части спектра.

Кроме этого, анализаторы поляризации на основе двулучепреломляющих призм не могут применяться для световых пучков с широкой апертурой ввиду ограничений, накладываемых принципом действия таких поляризаторов (обычно поляризаторы на основе двулучепреломляющих призм изготавливаются апертурой от 5×5 до 10×10 мм2).

Задача изобретения - упрощение конструкции измерителя поляризации оптического излучения, расширение спектрального диапазона его работы, увеличение допустимой апертуры анализируемого излучения.

Поставленная задача решается тем, что поляризатор и фотоприемник выполнены в виде оптоэлектрического преобразователя, состоящего из нанесенной на диэлектрическую подложку проводящей пленки, обладающей свойством генерации поверхностных токов под действием света по закону j=k(оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 )Psin2Ф,

где j - плотность поверхностных токов,

k(оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 ) - коэффициент пропорциональности, зависящий от материала пленки и угла падения оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 излучения на пленку,

P - мощность падающего оптического излучения,

Ф - угол между плоскостью падения и плоскостью поляризации падающего излучения, размещенной наклонно на цилиндрической втулке, обладающей возможностью вращения вокруг своей оси относительно несущего стержня и двух параллельных измерительных электродов, размещенных на поверхности проводящей пленки на ее противоположных краях параллельно осевому сечению цилиндрической втулки, ориентированному перпендикулярно плоскости наклона пленки.

Техническим результатом является упрощение конструкции измерителя поляризации оптического излучения, расширение спектрального диапазона его работы, увеличение допустимой апертуры анализируемого излучения.

Фиг.1 показывает продольную геометрию наблюдения (плоскость падения параллельна измерительным электродам) оптоэлектрического отклика в проводящих пленках в зависимости от поляризации оптического излучения: 1 - нанесенная на диэлектрическую подложку проводящая пленка; 3 - измерительные электроды; 7 - устройство обработки электрических сигналов; «+» и «-» - положительный и отрицательный входы устройства обработки электрических сигналов соответственно; оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 - плоскость падения; k, E - соответственно волновой и электрический векторы падающего излучения (kоптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 E, kоптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 , ось оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 лежит в плоскости оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 ); n - нормаль к поверхности пленки; оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 - угол падения; Ф - угол между оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 и плоскостью поляризации, определяемой k и E.

Фиг.2 показывает нормированную на максимальное значение зависимость оптоэлектрического сигнала Unorm в нанографитной пленке от угла между плоскостью падения и плоскостью поляризации падающего излучения Ф для продольной геометрии наблюдения, полученную на длине волны 532 нм при оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =50° и указанной на Фиг.1 схеме подключения измерительных электродов ко входам устройства обработки электрических сигналов (точки - эксперимент, сплошная кривая - аппроксимирующая функция Unorm=sin2Ф).

Фиг.3 показывает оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения согласно данному изобретению: 1 - нанесенная на диэлектрическую подложку проводящая пленка; 2 - цилиндрическая втулка; 3 - измерительные электроды; 4 - несущий стержень; 5 - угловые отметки средства индикации углового положения, пронумерованные по часовой стрелке, если смотреть со стороны проводящей пленки; 6 - риска начала отсчета средства индикации углового положения; 7 - устройство обработки электрических сигналов; «+» и «-» - положительный и отрицательный входы устройства обработки электрических сигналов соответственно; оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 0 - осевое сечение несущего стержня (здесь оно совпадает с вертикальной плоскостью); оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1 - осевое сечение цилиндрической втулки; оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 2 - плоскость наклона нанесенной на диэлектрическую подложку проводящей пленки (оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 2, измерительные электроды 3 расположены параллельно плоскости оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1).

Оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения работает следующим образом. Представим, что нанесенная на диэлектрическую подложку проводящая пленка 1 (Фиг.1) с двумя параллельными измерительными электродами 3 расположена наклонно под ненулевым углом оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 по отношению к падающему пучку линейно поляризованного оптического излучения с вектором электрического поля E и волновым вектором k. Пусть плоскость падения излучения оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 параллельна измерительным электродам, а угол между плоскостью поляризации (вектором E) и плоскостью падения составляет Ф (угол поляризации). В этом случае в проводящей пленке за счет поверхностного фотогальванического эффекта (ПФГЭ) и эффекта передачи квазиимпульса света электронам (ЭПКИ) при межзонных квантовых переходах возможна генерация поверхностных токов по закону:

оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457

где j - плотность поверхностных токов,

k(оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 ) - коэффициент пропорциональности, зависящий от материала пленки и угла падения оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 излучения на пленку,

P - мощность падающего оптического излучения,

Ф - угол между плоскостью падения и плоскостью поляризации падающего излучения.

При этом k(оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 ) - нечетная функция от оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 . То есть генерация поверхностного тока отсутствует при нулевом угле падения оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 . В результате между измерительными электродами возникает электрическое напряжение, амплитуда которого зависит от поляризации падающего оптического излучения по закону:

оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457

где f(оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 ) - коэффициент пропорциональности, имеющий размерность В/Вт, зависящий от материала пленки, являющийся нечетной функцией от угла падения оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 , принимающий нулевые значения при оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =0, а максимальные по модулю значения при углах оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =±(45÷70)°.

На Фиг.2 показаны типичная экспериментальная (точки) и теоретическая (линия) зависимости нормированной на максимальное значение амплитуды электрического напряжения Unorm от поляризации падающего оптического излучения, полученные при продольной геометрии наблюдения (Фиг.1) для нанографитной пленки, в которой наблюдаются ПФГЭ и ЭПКИ, при оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =50° и указанной на Фиг.1 схеме подключения измерительных электродов к входам устройства обработки электрических сигналов.

Зависимость вида Uоптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 sin2Ф позволяет сконструировать оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения. Для этого разместим нанесенную на диэлектрическую подложку проводящую пленку 1 (см. Фиг.3) наклонно на цилиндрической втулке 2, например, под углом 50° между нормалью к проводящей пленке n и осью OO' втулки таким образом, чтобы измерительные электроды 3, размещенные на поверхности проводящей пленки на ее противоположных краях, были расположены параллельно осевому сечению оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1 втулки, ориентированному перпендикулярно плоскости наклона оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 2 проводящей пленки. Допустим, что цилиндрическая втулка имеет возможность вращаться вокруг своей оси ОО' относительно жестко закрепленного несущего стержня 4, имеющего отметку в виде риски 6 на пересечении внешней поверхности с его осевым сечением оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 0, совпадающим с вертикальной плоскостью. Пусть на втулке нанесены пронумерованные по часовой стрелке, если смотреть со стороны проводящей пленки, угловые отметки 5, выполняющие совместно с риской на стержне роль средства индикации углового положения. Представим, что осевое сечение оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1 втулки проходит через отметку «0». В этом случае угловое положение втулки относительно несущего стержня можно определять углом оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 между плоскостями оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1 и оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 0, пользуясь имеющимися на втулке угловыми отметками.

Направим луч света на проводящую пленку вдоль оси ОО' цилиндрической втулки, тогда плоскость его падения оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 будет всегда совпадать с осевым сечением оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1 втулки, а угол его падения оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 будет равен углу наклона пленки относительно втулки. Если представить, что вектор E лежит в вертикальной плоскости, а плоскости оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1 и оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 0 совпадают, т.е. оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =0, то плоскость падения оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 совпадет также с плоскостью оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 0, а угол поляризации Ф будет равен нулю. Теперь, если повернуть втулку против часовой стрелки по ходу луча относительно стержня на угол оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 , то плоскость падения изменит свое положение и повернется против часовой стрелки на угол оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 относительно вертикальной плоскости оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 0. В результате угол поляризации, т.е. угол между плоскостью падения и плоскостью поляризации изменится на величину оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 Ф, при этом справедливо следующее соотношение:

оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457

Таким образом, вращая втулку, на которой проводящая пленка расположена наклонно, можно менять угол поляризации Ф. При этом сигнал на измерительных электродах, регистрируемый устройством обработки электрических сигналов 7, нормированный на максимальное значение, согласно (2) и (3) будет меняться в соответствии со следующей зависимостью:

оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457

где C=±1 - полярность регистрируемого сигнала, зависящая от типа проводимости материала проводящей пленки. При оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 >0 и указанной на Фиг.3 схеме подключения измерительных электродов к входам устройства обработки электрических сигналов полярность сигнала принимает положительное значение в случае электронного типа проводимости материала проводящей пленки и отрицательное - при дырочной проводимости.

Из формулы (4) следует, что сигнал исчезает при углах оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =0 и 180°, а также при оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =90° и 270°. Углы оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =0 и 180° показывают направление плоскости оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 s, в которой лежит вектор E, а углы оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =90° и 270° показывают направление другой плоскости оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 s, которая перпендикулярна первой. В соответствии с зависимостью (4), которая для материалов с электронной проводимостью имеет вид, аналогичный кривой на Фиг.3, в окрестности точек оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =0, 180° увеличение угла оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 сопровождается изменением полярности сигнала с отрицательной на положительную, а в окрестности точек оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =90°, 270° увеличение оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 приводит к смене полярности с положительной на отрицательную. Соответственно, для материалов с дырочной проводимостью будет иметь место обратная взаимосвязь.

Условимся, что C всегда равно единице. Для проводящих пленок с дырочным типом проводимости добиться этого можно изменением схемы подключения измерительных электродов к входам устройства обработки электрических сигналов на противоположную, указанную на Фиг.3.

Таким образом, если изначально поляризация оптического излучения неизвестна, то ее можно определить следующим путем. Луч анализируемого излучения направляется на проводящую пленку вдоль оси цилиндрической втулки ОО'. Вращением цилиндрической втулки с проводящей пленкой определяется угол оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1, при котором сигнал, регистрируемый устройством обработки электрических сигналов, обращается в нуль. Если в окрестности точки оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1 увеличение угла оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 сопровождается изменением полярности электрического сигнала с отрицательной на положительную, то этот угол показывает положение плоскости поляризации оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 p оптического излучения. Если же в окрестности точки оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 =оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1 увеличение угла оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 сопровождается изменением полярности электрического сигнала с положительной на отрицательную, то плоскость поляризации определяется углами оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 2=оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457 1±90°.

В случае эллиптически поляризованного излучения при продольной геометрии наблюдения формула (2) приобретает следующий вид:

оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения, патент № 2477457

где a и b - большая и малая оси эллипса поляризации, а Фma - азимутальный угол большой оси эллипса поляризации. Следовательно, вышеизложенную методику определения плоскости поляризации линейно поляризованного излучения можно непосредственно использовать для определения направления большой оси эллипса поляризации эллиптически поляризованного оптического излучения.

Очевидно, что данное устройство может быть использовано для полного анализа поляризованного света с применением четвертьволновой пластинки, размещенной перед оптоэлектронным анализатором поляризации по данному изобретению, по методике, описанной в [Жевандров Н.Д. Применение поляризованного света. М.: Наука, 1978, С.67-69].

Пример осуществления изобретения

Данный оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения использовался для измерения поляризации излучения импульсного YAG:Nd3+-лазера с длительностью импульсов 20 наносекунд. В качестве нанесенной на диэлектрическую подложку проводящей пленки использовалась нанографитная пленка (пленка из углеродного материала, осажденная на полированную подложку из высокоомного кремния). Основными структурными элементами такой пленки являются кристаллиты графита, состоящие из нескольких (примерно от 5 до 50) параллельных хорошо упорядоченных атомных слоев углерода. Толщина кристаллитов находится в пределах от 2 до 20 нанометров при размерах в других измерениях около 1÷3 микрометров. Все кристаллиты имеют преимущественную ориентацию атомных слоев в направлении нормали к поверхности подложки с максимальным отклонением не более ±20 градусов. Расстояние между отдельными кристаллитами составляет около 0.5÷1 микрометров. Средняя толщина такой нанографитной пленки колеблется от 3 до 4 микрометров. Эксперименты показали, что такие пленки при облучении лазерным излучением генерируют поверхностные токи по закону (1) за счет эффектов ПФГЭ и ЭПКИ.

В качестве электродов использовались медные пластины, механически прижатые к поверхности пленки. Сопротивление постоянному току между электродами, замкнутыми через такую пленку, составляло около 50 Ом, а емкость между электродами составляла менее 1 пФ.

Нанографитная пленка размером 25×25 мм2 размещалась на цилиндрической втулке под углом 50°, определяемым нормалью n и осью ОО' (Фиг.3). Указанные размеры пленки позволяли определять поляризацию пучков лазерного излучения апертурой до 16×20 мм2, что превосходит аналогичный параметр анализаторов поляризации на основе двулучепреломляющих призм. Апертура анализатора поляризации по данному изобретению может быть дополнительно увеличена за счет применения проводящей пленки больших размеров.

В качестве устройства обработки электрических сигналов использовался цифровой осциллограф Tektronix TDS-7704B с входным сопротивлением 50 Ом и полосой пропускания 7 ГГц, подключенный к измерительным электродам с помощью коаксиального кабеля.

Исследования показали, что оптоэлектронный анализатор поляризации оптического излучения с нанографитной пленкой может работать в спектральном диапазоне от 266 до 4000 нанометров.

Класс G01J4/04 поляриметры с использованием электрических детекторов

способ определения отклонения угла наклона плоскости поляризации оптического излучения -  патент 2527654 (10.09.2014)
способ определения знака циркулярной поляризации лазерного излучения -  патент 2452924 (10.06.2012)
способ измерения поляризационной чувствительности приемника оптического излучения (варианты) -  патент 2426078 (10.08.2011)
устройство измерения поляризационных параметров оптического излучения -  патент 2422783 (27.06.2011)
устройство компенсации фарадеевского вращения плоскости поляризации света -  патент 2365957 (27.08.2009)
устройство измерения параметров поляризации оптического излучения -  патент 2340879 (10.12.2008)
способ измерения азимута плоскости поляризации оптического излучателя -  патент 2337331 (27.10.2008)
устройство упругой поляризационной спектроскопии -  патент 2292531 (27.01.2007)
способ измерения изменений азимута плоскости поляризации оптического излучения -  патент 2276348 (10.05.2006)
турбополяриметр -  патент 2269101 (27.01.2006)
Наверх