устройство для спектрального анализа

Классы МПК:G01J3/18 с помощью дифракционных элементов, например решеток
G01J3/42 абсорбционная спектрометрия; двулучевая спектрометрия; мерцающая спектрометрия; отражательная спектрометрия
Автор(ы):, , , ,
Патентообладатель(и):Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (ОАО "НПО ГИПО") (RU)
Приоритеты:
подача заявки:
2011-08-12
публикация патента:

Изобретение относится к технике спектрального анализа и может найти применение при эмиссионных и атомно-абсорбционных измерениях в спектроанализаторах с дифракционными решетками и многоэлементными фотоприемниками. Устройство для спектрального анализа содержит источник излучения, входную щель, дифракционную решетку, в фокальной плоскости которой установлен многоэлементный фотоприемник, выходом подключенный к первому входу блока регистрации и обработки информации. В устройство введен второй многоэлементного фотоприемник, установленный в плоскости зеркально отраженного изображения входной щели с возможностью регистрации лучей как реперной, так и определяемой спектральных линий, выход которого соединен со вторым входом блока регистрации и обработки информации. Технический результат заключается в обеспечении возможности повышения точности и оперативности определения длин волн спектральных линий, а также в обеспечении возможности сокращения времени измерений. 3 ил. устройство для спектрального анализа, патент № 2480718

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 устройство для спектрального анализа, патент № 2480718

Формула изобретения

Устройство для спектрального анализа, содержащее источник излучения, входную щель, дифракционную решетку, в фокальной плоскости которой установлен многоэлементный фотоприемник, выходом подключенный к первому входу блока регистрации и обработки информации, отличающееся тем, что в него введен второй многоэлементный фотоприемник, установленный в плоскости зеркально отраженного изображения входной щели с возможностью регистрации лучей как реперной, так и определяемой спектральных линий, выход которого соединен со вторым входом блока регистрации и обработки информации.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к технике спектрального анализа и может найти применение при эмиссионных и атомно-абсорбционных измерениях в спектроанализаторах с дифракционными решетками и многоэлементными фотоприемниками.

Известно устройство (А.Я.Суранов, А.В.Шпомер, А.Г.Якунин «Применение автоматизированного регистратора спектра на основе линейного ПЗС-фотодиодного приемника для спектрального анализа металлов» ЖПС, № 3, т.XLIII, 1985 г, стр.377), в котором для регистрации спектра используется многоэлементный фотоприемник. В этом устройстве в качестве координаты спектральной линии берется координата элемента с максимальной амплитудой сигнала центра тяжести ее изображения. Однако механические вибрации и изменение условий окружающей среды приводит к изменениям положения диспергирующего элемента и, как следствие, к смещению спектральных линий относительно чувствительных элементов фотоприемника. Для корректировки смещения необходимо дополнительно регистрировать реперный (известный) спектр.

Наиболее близким к предлагаемому устройству является устройство для спектрального анализа (а.с. № 1827550, G01J 3/42, опубликовано 15.07.93 г.), содержащее источник излучения, который через входную щель освещает дифракционную решетку, разлагающую излучение в спектр. Спектр регистрируется многоэлементным фотоприемником, который расположен в фокальной плоскости дифракционной решетки. Сигнал с фотоприемника поступает на устройство обработки информации (например, ЭВМ) и отображается в виде номеров элементов фотоприемника со своими величинами сигналов на индикаторном устройстве.

В этом устройстве последовательно измеряют значения сигналов со всех элементов фотоприемника, фиксируют номера элементов фотоприемника, для которых зарегистрированы сигналы от максимальных до фоновых значений для определяемой и реперной спектральных линий. Определяют точные координаты максимумов интенсивности реперной и определяемой спектральных линий. Определяют расстояния К1 и К2 между первым элементом фотоприемника и координатами максимумов интенсивностей определяемой и реперной спектральных линий и находят длину волны устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 x определяемой спектральной линии по формуле:

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718

где устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 x - длина волны определяемой спектральной линии;

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 1 - длина волны реперной спектральной линии;

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 1, устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 2 - расстояния между первым элементом фотоприемника и координатами максимумов интенсивностей определяемой и реперной спектральных линий соответственно;

P - среднее значение обратной линейной дисперсии.

Недостатком этого устройства является необходимость регистрации наряду с исследуемым дополнительно реперного спектра при каждом измерении. Следующим недостатком этого устройства является то, что в период времени между регистрацией реперного и исследуемого спектров вследствие механических вибраций и изменения условий окружающей среды может произойти изменение положения дифракционной решетки, в результате чего возникнет смещение исследуемого спектра и изменение координаты максимума интенсивности определяемой спектральной линии относительно первого элемента фотоприемника. Это приведет к дополнительной ошибке при нахождении длины волны определяемой спектральной линии.

Задачей, на решение которой направлено изобретение, является повышение точности и оперативности определения длин волн спектральных линий при проведении спектрального анализа за счет исключения ошибок, возникающих при изменении положения дифракционной решетки под воздействием вибраций и условий окружающей среды, при сокращении времени измерений.

Указанная задача решается тем, что в устройстве для спектрального анализа, содержащем источник излучения, входную щель, дифракционную решетку, в фокальной плоскости которой установлен многоэлементный фотоприемник, выходом подключенный к первому входу блока регистрации и обработки информации, введен второй многоэлементный фотоприемник, установленный в плоскости зеркально отраженного изображения входной щели с возможностью регистрации лучей как реперной, так и определяемой спектральных линий, выход которого соединен со вторым входом блока регистрации и обработки информации.

На фиг.1 приведена структурная схема устройства для спектрального анализа. На фиг.2 показан ход лучей при изменении положения дифракционной решетки. На фиг.3 изображены уровни выходных сигналов с элементов второго фотоприемника во время регистрации реперной и определяемой спектральных линий при условии изменения положения дифракционной решетки.

Устройство для спектрального анализа содержит источник излучения 1, входную щель 2, дифракционную решетку 3, в фокальной плоскости которой установлен многоэлементный фотоприемник 4, выходом подключенный к первому входу блока регистрации и обработки информации 5, второй многоэлементный фотоприемник 6, установленный в плоскости зеркально отраженного изображения входной щели, с возможностью регистрации лучей как реперной, так и определяемой спектральных линий, выходом подключенный ко второму входу блока регистрации и обработки информации 5.

Устройство работает следующим образом. От источника излучения 1, через входную щель 2 падающий луч L1 освещает дифракционную решетку 3, разлагающую излучение в спектр, расположенный в фокальной плоскости дифракционной решетки 3 многоэлементный фотоприемник 4 поочередно регистрирует разложенные в спектр лучи реперной L2 и определяемой L3 спектральных линий. Электрический сигнал с выхода фотоприемника 4 поступает в блок регистрации и обработки информации (например, ЭВМ с аналоговым входом) 5, где преобразуется в цифровую форму, запоминается для расчета положений максимумов реперной и определяемой спектральных линий. Одновременно с регистрацией реперной спектральной линии излучение зеркально отраженного изображения входной щели (луч L4) регистрируется вторым фотоприемником 6, с выхода которого электрический сигнал поступает на второй вход блока регистрации и обработки информации 5, где также преобразуется в цифровую форму, запоминается и определяется положение максимума зеркально отраженного изображения входной щели XmR , соответствующее положению дифракционной решетки во время регистрации реперной спектральной линии. Одновременно с регистрацией определяемой спектральной линии излучение зеркально отраженного изображения входной щели также регистрируется вторым фотоприемником 6, запоминается и определяется положение максимума зеркально отраженного изображения входной щели XmO, соответствующее положению дифракционной решетки во время регистрации определяемой спектральной линии. Если дифракционная решетка 3 оставалась неподвижной в период времени регистрации реперной и определяемой спектральных линий, то положения максимумов XmR и XmO совпадут.

Если же в процессе работы устройства вследствие механических вибраций или изменения условий окружающей среды (температуры, давления, влажности) за время от регистрации реперной до регистрации определяемой спектральных линий дифракционная решетка 3 изменит свое положение на угол устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 1-устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 и займет положение 3', нормаль n - положение n', зеркально отраженный луч L4 также изменит направление на угол устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 1-устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 (луч L'4), а луч разложенного излучения с длиной волны определяемой спектральной линии L3 изменит свое положение на угол устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 -устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 ' (луч L'3) в соответствии с основным уравнением дифракционной решетки (см. И.В.Пейсахсон, «Оптика спектральных приборов», Л. Машиностроение, стр.53):

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718

где устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 - порядок спектра;

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 - длина волны светового излучения;

N - число штрихов дифракционной решетки, приходящихся на миллиметр;

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 - угол падения светового излучения;

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 - угол разложения светового излучения длиной волны устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 .

Сплошной линией на фиг.3 показан сигнал на выходе второго фотоприемника 6 от изображения входной щели во время регистрации реперной спектральной линии с положением максимума XmR при аппроксимации выходных сигналов с элементов фотоприемника треугольной функцией (максимальное значение сигнала на элементе М). Пунктирной линией показан сигнал на выходе фотоприемника 6 от изображения входной щели во время регистрации определяемой спектральной линии (максимальное значение сигнала на элементе Н, положение максимума XmO), при изменении положения дифракционной решетки в позицию 3'. По линейному смещению устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 X зеркально отраженного луча L4 рассчитывают угол падения устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 1. Используя основное уравнение дифракционной решетки (2) находят угол разложения устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 1, по которому рассчитывают линейное смещение устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 y луча L3 определяемой спектральной линии. Окончательно внося поправку в (1), определяют длину волны определяемой спектральной линии устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 х как:

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718

где устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 x - длина волны определяемой спектральной линии;

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 1 - длина волны реперной спектральной линии;

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 1, устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 2 - расстояния между первым элементом фотоприемника и координатами максимумов интенсивностей определяемой и реперной спектральных линий соответственно;

Р - среднее значение обратной линейной дисперсии;

устройство для спектрального анализа, патент № 2480718 y - линейное смещение определяемой спектральной линии.

Введение дополнительного фотоприемника, установленного в плоскости зеркально отраженного изображения входной щели с возможностью регистрации лучей как реперной, так и определяемой спектральных линий, позволяет уменьшить погрешность за счет исключения ошибок, возникающих при изменении положения дифракционной решетки под воздействием вибраций и условий окружающей среды, а также повысить оперативность определения длин волн, так как регистрацию реперной спектральной линии достаточно выполнить однократно при проведении спектрального анализа.

Класс G01J3/18 с помощью дифракционных элементов, например решеток

многоканальный высокоэффективный кр-спектрометр -  патент 2492434 (10.09.2013)
дифракционный полихроматор -  патент 2476834 (27.02.2013)
прибор спектрального разложения света и измерения длин волн -  патент 2472117 (10.01.2013)
дисперсионный оптический элемент для получения линейного оптического спектра -  патент 2398193 (27.08.2010)
устройство для управления шаговым двигателем монохроматора -  патент 2373629 (20.11.2009)
способ формирования оптического спектра -  патент 2349885 (20.03.2009)
минигабаритный гиперспектрометр на базе дифракционного полихроматора -  патент 2332645 (27.08.2008)
спектрограф -  патент 2329476 (20.07.2008)
монохроматор для спектрофотометров -  патент 2248536 (20.03.2005)
способ модуляции интенсивности излучения и устройство для его реализации -  патент 2168155 (27.05.2001)

Класс G01J3/42 абсорбционная спектрометрия; двулучевая спектрометрия; мерцающая спектрометрия; отражательная спектрометрия

спектрометр на основе поверхностного плазмонного резонанса -  патент 2500993 (10.12.2013)
атомно-абсорбционный спектрометр, основанный на эффекте зеемана -  патент 2497101 (27.10.2013)
инфракрасный амплитудно-фазовый плазмонный спектрометр -  патент 2477841 (20.03.2013)
устройство для измерения длины распространения монохроматических поверхностных электромагнитных волн инфракрасного диапазона -  патент 2470269 (20.12.2012)
способ определения золота в отходах производства элементов электронной техники -  патент 2464546 (20.10.2012)
электротермический атомизатор для определения благородных металлов -  патент 2463582 (10.10.2012)
спектральная газоразрядная лампа для атомной абсорбции -  патент 2455621 (10.07.2012)
способ диэлектрической спектроскопии тонкого слоя на поверхности твердого тела в инфракрасном диапазоне -  патент 2432579 (27.10.2011)
способ определения коэффициента затухания поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона за время одного импульса излучения -  патент 2400714 (27.09.2010)
устройство для определения коэффициента поглощения поверхностных электромагнитных волн инфракрасного диапазона -  патент 2380665 (27.01.2010)
Наверх