Особые виды SPM (Микроскопии Сканирующего Зонда) или устройства для них, обязательные компоненты для них: ..зонды, их изготовление или относящееся к ним оснащение, например держатели – G01Q 60/16

Изобретение относится к области физики поверхности, а именно к способам получения острий из монокристаллического вольфрама для сканирующей туннельной микроскопии. Способ заключается в том, что электрохимическое травление монокристаллической заготовки с поперечным сечением 0,5×0,5 мм проводят в области мениска, высота которого уменьшается по мере образования шейки между верхней и нижней частями заготовки. Нижняя часть заготовки погружена в электролит на 3 мм, травление ведут до отрыва нижней части заготовки под действием собственной массы, затем проводят заострение в сверхвысоком вакууме, последовательно используя коаксиальную электронную и ионную бомбардировку ионами аргона, причем острие иглы направлено навстречу бомбардировке. Технический результат - повышение стабильности и продолжительности работы зонда. 4 ил.

Изобретение относится к электроизмерительной технике и предназначено для использования в зондовых сканирующих устройствах. Способ изготовления игл состоит в подборке режимов электрохимического травления в растворе электролита проволоки-заготовки из вольфрама, платины или платиносодержащих сплавов. Травление проволоки-заготовки проводят в ячейке, в которой ее поляризуют с помощью противоэлектрода в зазоре между двумя стеклянными капиллярами, надетыми на конец проволоки-заготовки. За счет дополнительного веса толстостенного стеклянного капилляра и возникающего гравитационного воздействия на перетравливаемое образующее жало иглы обеспечивается мгновенный отрыв иглы, прекращающий ее травление, и обеспечивается максимальная острота ее жала. Техническая задача изобретения - предотвращение дотравливания жала иглы с использованием для этого доступного неядовитого электролита, а также обеспечение точного электрохимического контроля за процессами травления. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 1 ил.