Конструктивные элементы устройств, использующих метод сканирующего зонда: .зонды – G12B 21/02

Изобретение касается области туннельной и атомно-силовой микроскопии и описывает способ изготовления композитных кантилеверов для СЗМ с консолью из нитрида кремния и с кремниевой иглой. Предлагаемый способ включает в себя формирование из массива кремния вокруг служебных углублений оснований игл, соединяющих кремниевые иглы и консоли из нитрида кремния, что позволяет упростить технологический контроль за остротой иглы и расширить спектр выпускаемых изделий за счет кантилеверов с иглой любой высоты и формы. Технический результат - обеспечение остроты иглы кантилевера и малого угла при ее вершине, а также обеспечение одинаковой формы игл. 14 ил.

Изобретение относится к нанотехнологии, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим получение информации о топологии и других свойствах поверхности объекта. Сущность изобретения заключается в том, что в зонд на основе пьезокерамической трубки для сканирующего зондового микроскопа, содержащий основание с чувствительным элементом, на котором установлена игла, введен полый корпус, основание выполнено в виде пластины с контактными площадками, чувствительный элемент состоит из пьезокерамической трубки с, по меньшей мере, первым и вторым электродами, сформированными на внешней поверхности пьезокерамической трубки, и, по меньшей мере, одним первым электродом, сформированным на внутренней поверхности пьезокерамической трубки, и, по меньшей мере, вторым и третьим электродами, сформированными на внешней поверхности пьезокерамической трубки. Чувствительный элемент закреплен консольно на основании с электрическим контактом одного из внешних электродов с одной контактной площадкой. Две другие контактные площадки электрической разводкой соединены с двумя другими электродами пьезокерамической трубки. Полый корпус закреплен на основании таким образом, что место закрепления пьезокерамической трубки и электрическая разводка расположены внутри его полости. Игла электрически соединена с третьим электродом. Технический результат - повышение надежности использования зонда и его функциональных возможностей. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к устройствам, обеспечивающим наблюдение в безапертурных оптических микроскопах ближнего поля для получения локально усиленных спектров ГКР. Способ получения зонда для получения локально усиленных спектров комбинационного рассеяния света осуществляется в следующей последовательности: изготавливают гидрозоль, содержащий наночастицы благородных металлов; гидрозоль концентрируют в 3-5 раз с последующим центрифугированием и получают гидрозолевый осадок; смешивают осадок с 10% раствором 3-меркаптопропил-3-метоксисилана (MPS) в метаноле с получением смеси золевых наночастиц благородных металлов и MPS; размещают зонд в плоской ванне с водой; добавляют в воду упомянутую смесь с формированием на поверхности пленки из золевых частиц, покрытых MPS, и проводят осаждение полученной пленки на зонд. По варианту способа осуществляют следующие операции: изготавливают гидрозоль, содержащий наночастицы благородных металлов; проводят электрохимическое осаждение наночастиц на зонд из упомянутого гидрозоля, погружают зонд с нанесенным покрытием в 10% раствор MPS в метаноле с формированием на поверхности пленки из золевых частиц, покрытых MPS. 3 н. и 5 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к системам измерения емкости между зондом и образцом из металла или полупроводника, покрытого тонким слоем диэлектрика. Зонд состоит из консоли с укрепленной на одном ее конце иглой, закрепленной на чипе другой стороной. Зонд имеет проводящий слой на поверхности зонда со стороны иглы. Устанавливают проводящий экран, отделенный от проводящего слоя диэлектрической прослойкой. При этом проводящий экран и первая диэлектрическая прослойка могут быть установлены как на всей поверхности чипа, так и на поверхности консоли, за исключением площади, занимаемой иглой. Технический результат - увеличение общей чувствительности измерительной схемы без перегрузки ее оконечных каскадов и уменьшение в несколько раз влияния позиции чипа зонда относительно образца на измерения величины емкости образец-игла. 5 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию. Зонд с основой содержит от 1 до 50 игл. Диаметр у основания от 10 до 30 нм. Длина от 10 до 300 нм. Радиус кривизны острия иглы 0,7-2 нм. Иглы образованы из материала, имеющего поликристаллическую структуру. Способ изготовления зонда для сканирующей зондовой микроскопии заключается в выращивании игл на острие основы зонда. Острие основы зонда размещено на электроде. Выращивание осуществляют в парах органического соединения, содержащего элемент - материал игл, путем вакуумного напыления в высокочастотном разряде. При этом на электрод с размещенной на нем основой зонда подают положительный потенциал. Технический результат - универсальность, повышение производительности, повышение разрешающей способности полученных зондов вследствие получения зондов с меньшим радиусом. 2 н. и 3 з.п.ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим получение информации о поверхности образцов и модификацию поверхности образцов в туннельном и атомно-силовом режимах в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ). Силовой зонд на основе кварцевого резонатора для сканирующего зондового микроскопа содержит кварцевый резонатор с иглой, закрепленной на плоскости одного из плеч кварцевого резонатора, за счет сил химической связи между иглой и плоскостью. Существуют варианты, в которых в качестве иглы используют нитевидные кристаллы из углерода, металла, полупроводника и изолятора, а также нанотрубки. Кроме этого возможно закрепление игл на внешнюю плоскость плеча кварцевого резонатора, а также торцевую и боковую его плоскости. При этом иглы могут располагаться как параллельно оси симметрии кварцевого резонатора, так и перпендикулярно его оси. Существует также вариант, в котором игла закреплена под произвольным углом к оси плоскости одного из плеч кварцевого резонатора. В отдельных случаях целесообразно закрепление на плоскости одного из плеч кварцевого резонатора нескольких игл различной длины. Подобное выполнение повышает чувствительность зонда и расширяет его функциональные возможности. 12 з.п. ф-лы, 6 ил.