Способы разделения, использующие полупроницаемые мембраны, например диализ, осмос, ультрафильтрация, устройства, вспомогательные принадлежности или операции, специально предназначенные для этих целей: ..управление или регулирование – B01D 61/22

Изобретение относится к способу и устройству для рецикла сбросной воды, содержащей суспензию, из процесса обработки полупроводников, в частности из процесса химико-механической полировки. Способ включает: стадию фильтрования, на которой свежую содержащую суспензию сбросную воду непрерывно подают в циркуляционную емкость (10), при этом смешанную сбросную воду непрерывно извлекают из циркуляционной емкости (10), извлеченную сбросную воду направляют через устройство (20) ультрафильтрации и концентрируют путем удаления жидкости для получения концентрированной сбросной воды, и концентрированную сбросную воду подают в циркуляционную емкость (10) и смешивают с содержимым циркуляционной емкости (10), чтобы получить смешанную сбросную воду; и стадию концентрирования, следующую по времени за стадией фильтрования, на которой добавление свежей сбросной воды в циркуляционную емкость (10) уменьшают или практически прекращают, при этом смешанную сбросную воду непрерывно удаляют из циркуляционной емкости (10), смешанную сбросную воду, которую удаляют, пропускают через устройство (20) ультрафильтрации и концентрируют им путем удаления жидкости для получения концентрированной сбросной воды, и концентрированную сбросную воду пропускают в циркуляционную емкость (10). Технический результат - повышение концентрации твердых веществ в концентрированной сбросной воде. 2 н. и 10 з.п.ф-лы, 6 ил.

Изобретение может быть использовано в хозяйственно-питьевом водоснабжении, пищевой, химической, медицинской промышленностях для предварительной подготовки воды перед дальнейшей более глубокой ее очисткой опреснением. Мембранная установка содержит насос для подачи исходной воды (1), батарею разделительных аппаратов на основе половолоконных ультрафильтрационных мембран (5), линию подвода исходной воды (3), линию отвода фильтрата (8) с запорным клапаном (9), емкость для фильтрата (10). Промывочный насос (11) соединен всасывающим патрубком с емкостью фильтрата (10) и напорным патрубком, имеющим обратный клапан (12), с линией отвода фильтрата (8). Компрессорная установка (13) соединена с линией подвода сжатого воздуха (14) к аппаратам (5), имеющей запорный клапан (15) и компенсатор (16). Трехходовой кран (2) соединен входом с насосом исходной воды (1), одним выходом с линией подвода исходной воды (3) к аппаратам (5), а другим выходом с линией отвода промывных вод (4). Способ очистки воды включает стадию фильтрования без отвода концентрата и стадию регенерации разделительных аппаратов посредством обратной фильтрации фильтрата Изобретения обеспечивают сокращение выхода промывных вод, повышение ресурса работы и удельной производительности мембранных аппаратов за счет более эффективной их регенерации. 2 н.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл., 1 пр.