Изготовление или обработка наноструктур – B82B 3/00

Изобретение относится к области обработки давлением и может быть использовано для получения нанокристаллических заготовок металлов и сплавов с улучшенными физико-механическими свойствами. Производят равноканальное угловое прессование цилиндрической заготовки. При этом в металле заготовки формируют ультрамелкозернистую структуру с размером зерна 200-300 нм. Затем заготовку разрезают на диски, каждый из которых подвергают интенсивной пластической деформации кручением при помощи двух вращающихся бойков. Деформацию кручением проводят при комнатной температуре под давлением 4-6 ГПа при количестве оборотов бойков n 2. При этом обеспечивают формирование однородной нанокристаллической структуры с размером зерна 100 нм. В результате улучшаются физико-механические свойства обрабатываемого металла. 1 з.п. ф-лы, 1 табл., 1 пр.

Изобретение относится к средствам для защиты от электромагнитных полей электротехнических и электронных устройств и биологических объектов и может использоваться для создания электромагнитных экранов и безэховых камер. Композиционный материал для защиты от электромагнитного излучения состоит из полимерной основы с распределенными в ней частицами сплава системы Fe-Cu-Nb-Si-B, отличается тем, что он представляет собой многослойную конструкцию, каждый слой которой выполнен из указанного состава, а содержание частиц сплава в каждом слое составляет 70-90 мас.% и ограничено определенным диапазоном размеров частиц из непрерывного ряда 1-200 мкм с увеличением размерности частиц в каждом последующем слое. Техническим результатом изобретения является увеличение рабочего диапазона частот материала от 100 МГц до 10 ГГц с сохранением низких значений коэффициента отражения и высоких значений магнитной проницаемости. 2 з.п. ф-лы, 1 табл., 2 ил., 2 пр.

Изобретение направлено на получение функционализированных углеродных нанотрубок, обладающих хорошей совместимостью с полимерными матрицами. Углеродные нанотрубки подвергают обработке в парах перекиси водорода при температуре от 80°С до 160°С в течение 1-100 ч. Обработку можно проводить в аппарате с псевдоожиженным слоем углеродного наноматериала. Способ характеризуется высокой эффективностью, отсутствием токсичных продуктов окисления, малым расходом реагентов, легко масштабируется. 1 з.п. ф-лы, 2 ил., 4 табл., 4 пр.

Изобретение относится к нанокомпонентной энергетической добавке в жидкое углеводородное топливо в виде наночастиц металла, при этом в качестве наночастиц металла используются неоксидированные наночастицы алюминия размером не более 25 нм, покрытые антиоксидантным протектором. Также описывается жидкое углеводородное топливо, содержащее указанные неоксидированные наночастицы алюминия размером не более 25 нм, покрытые антиоксидантным протектором, и стабилизатор. Техническим результатом является повышение эффективности горения топлива при использовании неоксидированных наночастиц алюминия в качестве энергетической добавки в жидкое углеводородное топливо. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.

Изобретение относится к способу получения насыщенных карбоновых кислот, в частности к новому способу гидрирования непредельных карбоновых кислот, и позволяет получать насыщенные карбоновые кислоты, которые находят применение в качестве полупродуктов в органическом синтезе. Способ получения насыщенных карбоновых кислот общей формулы

Изобретение может быть использовано в химической промышленности для тонкой очистки водородсодержащих газовых смесей от оксидов углерода путем их гидрирования до метана. Изобретение относится к способу получения катализатора для процесса метанирования, включающему пропитку носителя на основе активной окиси алюминия в виде гранул в растворе, содержащем нитрат никеля, с последующей сушкой при температуре 100°C - 120°C и прокаливанием при температуре 450°C-500°C пропитанного носителя, при этом в раствор нитрата никеля вводят модифицирующую добавку - органическую кислоту с концентрацией 0,5-20,0 мас.%, а готовый катализатор содержит монокристаллиты NiO со средневыборочным размером, лежащим в диапазоне 2-3 нанометра, с концентрацией NiO 12,0-25,0 мас.% и -Аl₂О₃ - остальное. Технический результат заключается в создании способа получения катализатора метанирования, обладающего повышенной надежностью и активностью, позволяющего снизить себестоимость и сократить период времени осуществления способа. 2 з.п. ф-лы, 1 табл., 13 пр.

Изобретение может быть использовано для получения модифицированных углеродных нанотрубок. Способ модифицирования углеродных нанотрубок включает обработку углеродных нанотрубок водным раствором окислителя, в качестве которого применяют раствор персульфата или гипохлорита при рН более 10, проводимую одновременно с механической обработкой. Изобретение позволяет получить модифицированные углеродные нанотрубки, обладающие хорошей диспергируемостью в воде и в полярных органических растворителях при малом расходе реагентов по сравнению с известными способами. 2 з.п. ф-лы, 2 пр.

Изобретение относится к нанотехнологии, а именно к материалу и способу получения сферических конгломератов, содержащих наноразмерные частицы (НРЧ) металла, в частности меди, в оболочке из другого вещества или органического полимера. При этом НРЧ получают как в индивидуальном состоянии, так и в виде составных частей нанокомпозитов, в том числе и полимерсодержащих. Изобретение касается способа получения полимерного медьсодержащего композита, состоящего из однородных сферических диаметром 50-200 нм конгломератов полимера с внедренными в них сферическими наночастицами меди диаметром 5-10 нм. Изобретение также касается способа получения полимерного медьсодержащего композита, заключающегося в термическом разложении предшественника композита при 450°С в инертной атмосфере. Технический результат - получение композита из однородных сферических конгломератов, содержащих множество внедренных в полимерную матрицу наночастиц меди с узкой областью распределения по размерам. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к композиции матриксного носителя для применения в фармацевтической системе доставки для перорального введения, которая является суспензией состоящего из частиц материала в непрерывной масляной фазе. Состоящий из частиц материал содержит первую твердую фазу, содержащую наночастицы диоксида кремния, имеющие гидрофобную поверхность, с размером частиц 5-1000 нм, и вторую твердую фазу, содержащую биополимер, имеющий гидрофильные и гидрофобные части, где указанный биополимер содержит полисахарид. Указанная непрерывная масляная фаза ассоциирована с первой и второй твердыми фазами, и масса биополимера в два раза больше, чем масса наночастиц диоксида кремния. Изобретение также относится к способу получения композиции матриксного носителя, который включает смешивание первой твердой фазы, содержащей наночастицы диоксида кремния, с маслом, активирование второй твердой фазы, содержащей полисахарид, причем активирование предусматривает размалывание, вакуумную обработку, химическую обработку или ультразвуковую обработку, добавление этой активированной второй твердой фазы в масло и смешивание масла, содержащего первую твердую фазу, и масла, содержащего активированную вторую твердую фазу. Изобретение обеспечивает улучшение эффективности и биодоступности лекарственного средства, заключенного в матриксный носитель. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл., 8 пр.

Изобретение относится к полимерному электрохромному устройству, способному контролируемо изменять величину светопоглощения при приложении электрического напряжения. Полимерное электрохромное устройство включает, по крайней мере, два электрода и электрохромный состав. Электрохромный состав содержит катодный компонент(ы) и анодный компонент(ы), по крайней мере один из которых является электрохромным компонентом, а также электролит. Электрохромный компонент представляет собой дисперсию наночастиц нерастворимого электрохромного полимера в органическом растворителе. Изобретение обеспечивает упрощение изготовления устройства за счет использования более легкодоступного в технологическом отношении нерастворимого электрохромного полимера по сравнению с используемыми по известному уровню растворимыми электрохромными полимерами. 3 з.п. ф-лы, 4 ил., 6 пр.

Использование: для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники. Сущность изобретения заключается в том, что в нанотехнологический комплекс на основе ионных и зондовых технологий, включающий распределительную камеру со средствами откачки, в которой расположен центральный робот распределитель с возможностью осевого вращения, содержащий захват носителей подложек, при этом распределительная камера содержит фланцы, которыми она соединена с камерой загрузки и модулем ионной имплантации, захват носителей подложек имеет возможность взаимодействия с камерой загрузки и модулем ионной имплантации, введен измерительный модуль, включающий сканирующий зондовый микроскоп и модуль ионных пучков с системой газовых инжекторов, при этом они соединены с фланцами распределительной камеры и имеют возможность взаимодействия с захватом носителей подложек. Технический результат: обеспечение возможности варьирования технологическими маршрутами и расширение функциональных возможностей. 4 з.п. ф-лы, 1 ил. распределительной камеры и имеют возможность взаимодействия с захватом носителей подложек.

Подобное выполнение расширяет функциональные возможности нанотехнологического комплекса.

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано для получения композитов, которые применяются в фотокаталитических процессах, в качестве катализаторов олигомеризации олефинов и полимеризации этилена. Композиционный материал на основе силикагеля получают путем осаждения диоксида кремния из силиката натрия в присутствии диоксида титана или закиси меди барботированием углекислого газа через толщину суспензии при атмосферном давлении с образованием композиционного материала по типу «ядро (диоксид кремния)/оболочка (оксид металла)». Изобретение позволяет упростить процесс получения композита, так как отпадает необходимость сложного аппаратного оформления процесса, связанного с применением высоких давлений диоксида углерода при получении силикагеля, а также экологическая чистота технологии, которая связана с отсутствием выбросов диоксида углерода, достигаемая повторным его использованием. Способ может быть использован как в лабораторных, так и в промышленных условиях. 3 ил., 2 пр.

Изобретение относится к области технологий изготовления пленочных электретов и может быть использовано, например, при производстве биполярных электретных микрофонов и нового класса пьезодатчиков на основе ламинированных электретных пленок, обладающих гигантским пьезомодулем (до 1000 пКл/Н). Целью изобретения является повышение величины и стабильности поверхностной плотности положительного заряда в пленочных фторполимерах. Это достигается тем, что в способе изготовления пленочного электрета, включающем нанесение на металлический электрод слоя фторполимера, нанесение на поверхность фторполимера дискретного слоя, состоящего из изолированных друг от друга наноразмерных агрегатов титансодержащих наноструктур, и последующее электретирование в положительном коронном разряде, перед нанесением титансодержащих наноструктур поверхность фторполимера обрабатывают плазмой высокочастотного емкостного разряда в атмосфере насыщенного водяного пара. Использование данного технического решения позволяет не менее чем в 1.45 раза увеличить поверхностную плотность положительного заряда во фторполимерах, а также повысить временную и термостабильность заряда. 2 ил., 5 пр.

Заявлен способ изготовления поглощающего покрытия для солнечного нагрева, наносимого на металлическую подложку, в частности наносимого на тонкий алюминиевый лист, и покрытие, изготовленное таким способом. Покрытие представляет собой покрытие золь-гель типа на основе золя оксида металла, в котором частицы пигмента тщательно перемешивают с золем, с последующим нанесением лака смешанного золя на подложку, затем высушивают при температуре 180-600°С на воздухе при повышенной температуре для получения золь-гель покрытия, в котором покрытие представляет собой покрытие золь-гель типа на основе золя оксида металла с частицами пигмента черного феррита марганца (Mn₃Cu₂FeO ₈), которые тщательно перемешаны с золем до нанесения на подложку. Изобретение предлагает способ и покрытие, в котором требования по поглощению солнечной энергии, термоэмиссионной способности, термостабильности и стойкости реализованы в приемлемой степени. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 3 ил., 2 табл.

Изобретение относится к области органической электроники, а именно к органическим фотовольтаическим устройствам (солнечным батареям и фотодетекторам), изготовленным с использованием органических фторсодержащих соединений в качестве модифицирующих добавок. Изобретение относится к органическому фотовольтаическому устройству с объемным гетеропереходом, содержащему последовательно расположенные подложку, дырочно-собирающий электрод, дырочно-транспортный слой, фотоактивный слой, состоящий из смеси полупроводникового материала n-типа, полупроводникового материала p-типа и органического фторсодержащего соединения, электрон-транспортный слой, электрон-собирающий электрод, подложку. При этом фотоактивный слой дополнительно содержит фторсодержащий модификатор F1-F8 в концентрации от 0.000000001% до 40% по весу. Также изобретение относится к способу изготовления фотовольтаического устройства, который заключается в том, что фторсодержащий модификатор вводят в раствор полупроводниковых компонентов, из которого отливают затем фотоактивные пленки. Также изобретение относится к применению фторсодержащих модификаторов F1-F8 для улучшения характеристик органических солнечных батарей с объемным гетеропереходом. Технический результат заключается в разработке новых добавок-модификаторов наноструктуры полимер-фуллереновых систем, способных улучшать характеристики фотовольтаических устройств. 3 н.п. ф-лы, 14 ил., 8 табл., 8 пр.

Изобретение относится к области химии, биологии и молекулярной медицины, а именно к способу получения наноразмерной системы доставки нуклеозидтрифосфатов. Способ включает модификацию носителя, в качестве которого используют аминосодержащие наночастицы диоксида кремния размером до 24 нм, путем обработки последних N-гидроксисукцинимидным эфиром алифатической азидокислоты, далее получение модифицированного нуклеозидтрифосфата (pppN) путем обработки последнего смесью трифенилфосфин/дитиодипиридин с последующим инкубированием образующегося активного производного pppN с 3-пропинилоксипропиламином и последующую иммобилизацию модифицированного pppN на полученных азидомодифицированных наночастицах в течение 2-4 ч. Изобретение обеспечивает сокращение длительности способа и повышение качества целевого продукта. 2 з.п. ф-лы, 4 ил., 9 пр.

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при изготовлении стеклянных шариков как цельных, так и пустотелых, например, для фильтров различного назначения, светоотражающих устройств. Технической задачей изобретения является повышение производительности и безопасности процесса производства. В керосин вводят наночастицы карбонильного железа, в качестве которого используют магнетит, размером 5,0-10,0 нанометров, покрытого поверхностно-активным веществом, в качестве которого используют олеиновую кислоту. Затем через форсунку керосин с наночастицами карбонильного железа распыляется каплями 20-30 мкм в камеру с трехфазной электрообмоткой, создающей спиральное вращающееся магнитное поле. В ту же камеру сжатым воздухом подается стеклопорошок, который захватывается вращающимися в магнитном поле каплями керосина. После этого он поступает в первую зону малой интенсивности микроволновой печи, где наночастицы карбонильного железа разогреваются до 700-800°C, в результате чего керосин разлагается, а наночастицы карбонильного железа оседают на поверхности частиц стеклопорошка. При дальнейшем продвижении частиц стеклопорошка с наночастицами карбонильного железа температура наночастиц повышается до 1300-1350°C. Стекло плавится и под действием молекулярных сил перемещается по всему объему и образует микрошарики, которые затем охлаждаются, наночастицы карбонильного железа восстанавливаются и притягиваются к полюсам постоянного электромагнита. 1 ил.

Изобретение относится к технологии получения естественных загустителей и может быть использовано в пищевой промышленности. Способ получения пектина из створок зеленого гороха предусматривает замачивание предварительно измельченных створок зеленого гороха в воде. Далее полученную смесь фильтруют и отделяют жом, который экстрагируют водой температурой 45-55 °С в течение 25-35 минут при соотношении жом:вода - 1:6. Полученный экстракт охлаждают и фильтруют с отделением жома, при этом жом после водного экстрагирования подвергают кислотно-термическому гидролизу раствором винной кислоты с последующим отделением пектинсодержащего гидролизата. Гидролизат подвергают ступенчатой молекулярно-массовой сепарации методом нанофильтрации с использованием полимерных нанофильтров в две ступени. На первой ступени гидролизат пропускают через фильтр с порогом удержания в пределах 1 кДа с разделением на низкомолекулярную менее 1 кДа и высокомолекулярную более 1 кДа фракции. Низкомолекулярную фракцию отводят, а высокомолекулярную, на второй ступени, пропускают через фильтр с порогом удержания в пределах 50 кДа и полученные фракции разделяют на две высокомолекулярные фракции - более 50 кДа и от 1 до 50 кДа, при этом последнюю фракцию концентрируют обратным осмосом с использованием полимерных мембран до содержания растворимых сухих веществ в концентрате 4-5 %. Затем ее высушивают с получением пектина. Предлагаемый способ получения пектина позволяет сократить потери пектина, повысить выход продукта и его качество. 2 з.п. ф-лы, 3 пр.

Изобретение относится к технологии изготовления композиционных ионообменных мембран, обладающих свойством селективности сорбции или переноса нитрат-аниона. Предложена композиционная ионообменная мембрана, характеризующаяся повышенной подвижностью нитрат-анионов и повышенной константой ионного обмена по отношению к нитрат-аниону. Мембрана содержит ионообменную полимерную матрицу, которая объемно или градиентно модифицирована наночастицами оксида церия. Изобретение обеспечивает эффективное использование полученной мембраны в процессах очистки различных растворов, в том числе жидких продуктов питания, от нитрат-анионов. 2 з.п. ф-лы, 1 табл., 4 пр.

Изобретение относится к получению тонкодисперсных органических суспензий, включающих металл/углеродный нанокомпозит, и может использоваться для создания функциональных полимерных материалов. Механически измельченный порошок металл/углеродного нанокомпозита, представляющий собой наночастицы 3d металла, такого как медь, или никель, или железо, стабилизированные в углеродных нанопленочных структурах, механически перетирают совместно с порционно вводимым органическим соединением в соотношении 3:1. Полученную смесь диспергируют с помощью ультразвука в течение времени, соответствующего максимальному соотношению пиковых интенсивностей на ИК-спектре при одинаковых волновых числах полученной суспензии и органического соединения. В качестве органических сред использованы этиловый спирт, толуол, ацетон, изометилтетрагидрофталевый ангидрид, смеси органических веществ. Технический результат состоит в получении суспензии на основе органического соединения и металл/углеродного нанокомпозита с регулируемой активностью, контролируемой методом ИК-спектроскопии. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 17 табл.

Изобретение относится к области машиностроения и ремонта техники, в частности металлических деталей и узлов машин. Композиция для склеивания металлических изделий содержит анаэробный герметик АН-111 и наполнитель - углеродные нанотрубки «Таунит-М». Изобретение обеспечивает сокращение времени отверждения и повышение прочности клеевых соединений. 3 ил., 2 табл.

Изобретение относится к технологии нанесения пленок и касается конструкций, включающих молекулярные структуры с высоким аспектным соотношением (ВАСМ-структуры), и способа их изготовления. Наноуглеродная пленочная конструкция, включающая ВАСМ-структуры, где конструкция включает по существу плоскую сеть из случайным образом ориентированных ВАСМ-структур и подложку, находящуюся в контакте с сетью. Подложка имеет отверстие, причем по периферийной области указанного отверстия сеть контактирует с подложкой так, что средняя часть сети является незакрепленной на подложке. Способ включает стадии изготовления плоской сети из ВАСМ-структур на подготовительной подложке вблизи или в контакте с подложкой, имеющей отверстие, путем нанесения ВАСМ-структур на подготовительную подложку и в отверстие подложки, и удаления подготовительной подложки с сети. Изобретение обеспечивает создание новых типов конструкций, включающих ВАСМ-структуры. 3 н. и 6 з.п. ф-лы, 12 ил., 2 пр.

Изобретение относится к нанотехнологии и может быть использовано для эффективного изменения оптоэлектронных свойств ансамблей покрытых лигандной оболочкой наночастиц серебра в вязких средах и пленках. Изобретение может быть использовано для создания фотонных кристаллов, оптических фильтров и нового поколения Рамановских лазеров. Для получения высокоупорядоченных ансамблей наночастиц серебра с лигандной оболочкой в высоковязкий водный раствор поливинилового спирта или желатины добавляют 3-6 ммоль/г раствора азотнокислого серебра, 15 ммоль/г олеата натрия и 10 ммоль/г боргидрида натрия. Реакция протекает без перемешивания. Изобретение позволяет получать в высоковязких средах и пленках ансамбли покрытых лигандной оболочкой наночастиц с низкой степенью агрегации. 4 пр.

Изобретение может быть использовано для оптических приборов и методов исследования в различных областях науки и техники. Светоперераспределяющее покрытие включает в качестве пленкообразующей основы тетраэтоксисилан, этиловый спирт и соляную кислоту. Пленкообразующий раствор, используемый для получения покрытия, дополнительно содержит кристаллогидрат хлорида эрбия при следующем соотношении компонентов, мас.%: тетраэтоксисилан - 3,56 - 4,74, кристаллогидрат хлорида эрбия - 5,32-6,63, соляная кислота - 0,01, 96% этиловый спирт - остальное. Техническим результатом изобретения является усиление просветляющего эффекта за счет получения покрытия с более низким показателем преломления. Показатель преломления полученного покрытия - 1,18-1,20. 3 пр.

Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Наноразмерные оксиды металлов получают химической реакцией окисления металлоорганического соединения при инициировании процессов энергетическим воздействием, в качестве которого используют импульсный электронный пучок энергией электронов 100÷500 кэВ, длительностью 10÷100 нс и с полным током пучка 1-10 кА. Предложенное изобретение позволяет увеличить производительность и расширить номенклатуру получаемых наноразмерных оксидов на одном и том же оборудовании без изменения режима синтеза. 2 табл., 1 ил.

Изобретение может быть использовано в области химии, медицины и нанотехнологии. Способ получения наночастиц серебра включает приготовление водных растворов нитрата серебра концентрации 0,001÷0,02 М/л и L-цистеина концентрации 0,00125÷0,04 М/л. Полученные растворы смешивают при мольном соотношении нитрата серебра и L-цистеина в диапазоне 1,25÷2,00 и выдерживают при температуре 15÷55°C в течение 0,34÷48 часов в защищенном от света месте с получением раствора супрамолекулярного полимера. Полученный раствор супрамолекулярного полимера разбавляют водой в объемном соотношении 1:1. Готовят водный раствора борогидрида натрия концентрации 0,003÷0,010 М/л и добавляют в раствор супрамолекулярного полимера при постоянном перемешивании. Изобретение позволяет получить наночастицы серебра со средним гидродинамическим радиусом 20 нм. 4 ил., 1 пр.

Изобретение относится к технологии создания сложных структур с помощью потока ускоренных частиц и может быть использовано в нанотехнологии, микроэлектронике для создания сверхминиатюрных приборов, интегральных схем и запоминающих устройств. Изобретение обеспечивает уменьшение размеров магнитных элементов. Способ формирования магнитной паттернированной структуры в немагнитной матрице включает формирование на подложке рабочего слоя из оксидов или нитридов магнитных материалов, нанесение на него промежуточного слоя из вещества с параметром кристаллической решетки, отличающимся от параметра кристаллической решетки вещества рабочего слоя на величину не более 15%, и с толщиной не менее 5 нм, последующее нанесение на промежуточный слой защитной маски с заданной топологией и облучение через нее потоком ускоренных частиц с энергией, достаточной для селективного удаления атомов кислорода или азота. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к контрастному агенту на основе наночастицы, где наночастицы содержат ядро, поверхность которого не содержит диоксид кремния, и оболочку, которая присоединена к поверхности ядра и содержит силан-функционализированную цвиттер-ионную группировку. В одном варианте наночастица не содержит лиганда, обеспечивающего направленную доставку. В другом варианте наночастица содержит лиганд, обеспечивающий направленную доставку, при этом цвиттер-ионная группировка и лиганд, обеспечивающий направленную доставку, не являются одинаковыми. Изобретение также относится к способам изготовления указанных выше наночастиц, к композиции контрастного агента, содержащей множество наночастиц, а также к применению наночастиц в качестве диагностического агента. Также изобретение относится к способам применения композиции, которая содержит множество указанных выше наночастиц, для рентгеновской визуализации, компьютерной томографии (КТ) или магнитно-резонансной визуализации (МРВ), где способ включает введение субъекту композиции и визуализацию субъекта с использованием диагностического устройства. 9 н. и 14 з.п. ф-лы, 2 табл., 6 ил.

Изобретение относится к способу лазерно-плазменного наноструктурирования металлической поверхности обрабатываемого металла. Способ включает образование в непрерывном оптическом разряде приповерхностной лазерной плазмы в парах металла и подачу в лазерную плазму ионов активных химических элементов от независимого плазменного источника энергии. Лазерное излучение и лазерная плазма взаимодействуют с обрабатываемой поверхностью и расплавляют поверхностный слой. Химические элементы из лазерной плазмы адсорбируются жидкой фазой поверхности и диффундируют в глубь расплавленного слоя. При охлаждении расплавленного слоя атомы химически активных элементов выполняют роль искусственных центров кристаллизации. Управление энергетическими и временными параметрами лазерной плазмы, лазерного излучения, химическим составом лазерной плазмы, параметрами лазерно-плазменной обработки поверхности позволяют целенаправленно создавать в поверхностном слое наноструктуры. Шероховатость обрабатываемой поверхности после лазерно-плазменной обработки улучшается или, по меньшей мере, сохраняется. 11 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых наноматериалов. Способ включает подготовку кремниевой пластины путем нанесения на ее поверхность нанодисперсных частиц катализатора с последующим помещением в ростовую печь, нагревом и осаждением кристаллизуемого вещества из газовой фазы по схеме пар капельная жидкость кристалл, при этом перед нанесением частиц катализатора и помещением подложки в ростовую печь пластину кремния легируют фосфором до удельного сопротивления 0,008-0,018 Ом·см и анодируют длительностью не более 5 мин с подсветкой галогенной лампы в смеси 48%-ного раствора HF и C₂H₅ OH (96%) в соотношении 1:1, причем плотность тока анодизации поддерживают на уровне не менее 10 мА/см², а наночастицы катализатора наносят электронно-лучевым напылением пленки металла толщиной не более 2 нм. Изобретение обеспечивает возможность получения тонких полупроводниковых нитевидных нанокристаллов диаметром менее 10 нм, равномерно распределенных по поверхности подложки и имеющих высокую поверхностную плотность. 7 пр.