Азот, его соединения: ..содержащие один или несколько атомов галогена – C01B 21/083
Патенты в данной категории
СПОСОБ ОЧИСТКИ ТРИФТОРИДА АЗОТА
Изобретение относится к способу очистки трифторида азота от инертных примесей и тетрафторида углерода адсорбционным способом. Трифторид азота используется в химической промышленности как фторирующий агент и окислитель для горючего, в микроэлектронной промышленности в процессах сухого травления. Способ очистки трифторида азота адсорбцией трифторида азота твердым сорбентом и последующая его десорбция, при этом согласно изобретению стадию адсорбции проводят при температуре от -40°С и выше, десорбцию осуществляют за счет снижения давления между адсорбером и коллектором и/или повышения температуры в десорбере, и циклы адсорбции/десорбции повторяют. Способ проводят, многократно повторяя циклы адсорбции/десорбции, до достижения требуемой чистоты продукта. Способ может быть проведен в каскаде, состоящем из 2 и более адсорберов. В качестве сорбента могут быть использованы цеолиты с размером пор около 5Å. Изобретение позволяет очищать трифторид азота от инертных примесей методом адсорбции с извлечением целевого продукта из адсорбента созданием разности давления на стадиях адсорбции и десорбции. 3 з.п. ф-лы, 1 табл., 1 ил. |
2350552 патент выдан: опубликован: 27.03.2009 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА
Изобретение относится к процессам получения трифторида азота, который может быть использован в качестве источника фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем в электронной промышленности. Способ получения трифторида азота содержит стадию синтеза трифторида азота фторированием расплава бифторида аммония фтором и стадию очистки синтезированного трифторида азота, включающую абсорбционное извлечение примесей щелочным раствором и удаление влаги из газового потока. Способ дополнительно содержит стадию очистки фтора, включающую термическое разложение фторида кислорода при температуре 300-350°С на никелевой насадке с развитой поверхностью и удаление труднолетучих примесей криогенной конденсацией при температуре минус 170 - минус 180°С с последующей криогенной ректификацией при давлении 0,15-0,17 МПа, а стадия очистки трифторида азота включает термическое разложение побочных фторидов азота и удаление легколетучих примесей криогенной ректификацией при давлении 0,3-0,5 МПа. По результатам аналитического контроля суммарное содержание примесей в целевом продукте не превышало 90 ppm, в том числе содержание тетрафторметана CF4 не превышало 28 ppm. Выход трифторида азота по фтору составил не менее 80%. 4 з.п. ф-лы, 1 ил., 3 табл. |
2317251 патент выдан: опубликован: 20.02.2008 |
|
СПОСОБ ОЧИСТКИ ТРИФТОРИДА АЗОТА
Изобретение относится к способам разделения смесей, получаемых при синтезе трифторида азота и содержащих тетрафторметан, трифторид азота, азот и другие газообразные вещества. Сущность способа состоит в том, что очистку трифторида азота от примесей осуществляют абсорбцией с использованием в качестве абсорбента галоидированных или пергалоидированных соединений с последующей десорбцией. Очистку проводят поочередно от хорошо растворимых и плохо растворимых примесей. При этом абсорбцию проводят под давлением в абсорбере от 5 до 110 ата, температуре от -50 до +100°С с отводом сдувки из абсорбера при очистке от плохо растворимых примесей в количестве от 0,05 до 5,0% от массы газа, подаваемого на очистку, а при очистке от хорошо растворимых примесей с отводом сдувки в количестве 15,0-90,0% от массы газа, подаваемого на очистку. При проведении способа последовательность стадий может изменяться. Обе стадии можно проводить последовательно в одном абсорбере. Способ позволяет очищать трифторид азота от всех примесей, используя одну и ту же технологическую схему, что уменьшает количество оборудования в технологии получения NF3 . 4 з.п. ф-лы, 14 табл., 1 ил. |
2304080 патент выдан: опубликован: 10.08.2007 |
|
СПОСОБ ВЫДЕЛЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Изобретение относится к технологии выделения компонентов газовых смесей ректификацией. Сущность изобретения состоит в том, что разработан способ выделения трифторида азота низкотемпературной ректификацией исходной смеси, отличающийся тем, что эту смесь подают в колонну низкотемпературной ректификации эффективностью не менее 200 теоретических тарелок на уровне восьмидесятой-девяностой от верха теоретической тарелки при температуре от минус 65 до минус 75°С, давлении 1,7-1,9 МПа и флегмовом числе 250-270, отбор смеси тетрафторметана и трифторида азота осуществляют из верхней части колонны выше 6 теоретической тарелки, а смесь низкокипящих компонентов отводят из верхней части дефлегматора. Для осуществления этого способа разработана установка, включающая колонну ректификации, дефлегматор и кипятильник, отличающаяся тем, что колонна заполнена насадкой эффективностью не менее 200 теоретических тарелок с вводом для реакционной смеси, расположенным на уровне 80-90 теоретической тарелки от верха, выводом для смеси тетрафторметана и трифторида азота, расположенным выше 6 теоретической тарелки от верха, выводом для низкокипящих компонентов из верхней части дифлегматора и с выводом трифторида азота из кипятильника. Способ позволяет разделить реакционную смесь, содержащую не более 0,3 мас.% тетрафторметана и не более 2 мас.% низкокипящих примесей с получением двух продуктов: первого - трифторида азота с содержанием основного вещества не менее 99.9 мас.% с примесью тетрафторметана не более 0.05 мас.% и второго, содержащего трифторид азота с содержанием основного вещества не менее 98 мас.% и тетрафторметана не более 1,9 мас.%. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 4 ил. |
2289543 патент выдан: опубликован: 20.12.2006 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА
Изобретение относится к неорганической химии, к способам получения трифторида азота. Сущность способа получения трифторида азота состоит в электролизе фтористоводородных расплавов фтористого аммония в электролизере с угольными или никелевыми анодами и стальными катодами, с анодным колоколом, отличающийся тем, что в электролизере используют жалюзийные катоды, а анодный колокол располагают над электродами, при этом площадь зеркала электролита под анодным колоколом составляет не более 0,2 от общей площади зеркала электролита, глубина погружения колокола в электролит составляет не менее 0,25 от высоты электродов, расстояние катод-колокол составляет не менее 0,025 от высоты электродов (В), расстояние анод-колокол составляет не менее 0,025 от высоты электродов, если анод угольный, и не менее 0,05 от высоты электродов, если анод никелевый, заданный уровень электролита в электролизере поддерживают подачей газообразной фтористоводородной кислоты, а газообразный аммиак подают непрерывно, причем изменяют скорость подачи аммиака в зависимости от содержания NF3 в анодном газе, массовую долю аммиака в электролите поддерживают 24-28 мас.%. Предлагаемый способ позволяет получать NF3 с меньшими колебаниями выхода при длительном электролизе, например, 70-80% на угольном аноде и 70-75% на никелевом при выполнении в обоих случаях условий взрывобезопасности производства. 1 з.п. ф-лы, 2 табл., 1 ил. |
2274601 патент выдан: опубликован: 20.04.2006 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА
Изобретение относится к неорганической химии, а именно - к получению трифторида азота NF3. Трифторид азота применяется во многих отраслях химической и электронной промышленности, а именно в химической промышленности в качестве фторирующих агентов; в качестве окислителей высококалорийных топлив в ракетной технике; в электронной промышленности: для очистки камер химического и парофазного осаждения, для сухого травления больших интегральных схем и т.д. Способ получения трифторида азота из элементного фтора и аммиака в среде расплава кислых фторидов солей аммония общей формулы NH4H1-xFx, где х=2,0-3,0 при температуре 120-160°С и давлении 0,1-0,55 МПа, отличается тем, что синтез трифторида азота проводят в две последовательные стадии - аминирование расплава кислого бифторида аммония до полного связывания газообразного аммиака, а затем фторирование расплава кислого бифторида аммония, причем стадии проводят в конструктивно разделенных зонах. Технический результат состоит в повышении удельной производительности реакционного объема и безопасности процесса. 3 табл., 3 ил.
|
2256605 патент выдан: опубликован: 20.07.2005 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА
Изобретение относится к области получения неорганических фторидов, а именно к способу получения трифторида азота (ТФА), который применяется в химической промышленности как фторирующий агент и как фторсодержащее сырье. ТФА может применяться как окислитель для высококалорийных топлив, как компонент рабочих сред в лазерах с высокой энергией излучения и др. Способ получения трифторида азота электролизом фтористоводородных расплавов фторида аммония в электролизере с использованием угольных анодов, включающих дегидратирующий и основной электролизы и восполнение расхода исходных веществ при электролизе, при этом дегидратирующий электролиз начинают при напряжении 3,0 В на электролизере и проводят его, снижая анодную плотность тока до 0,005 А/см2, получают анодный газ с объемной долей трифторида азота не более 3% и обезвоженный электролит с содержанием влаги не более 0,05%, после чего проводят основной электролиз, повышая анодную плотность тока до 0,1 А/см 2. Изобретение позволяет сократить образование тетрафторметана при основном электролизе и снизить энергоемкость процесса электрохимического синтеза ТФА. 1 з.п. ф-лы, 1 табл. |
2255040 патент выдан: опубликован: 27.06.2005 |
|
СПОСОБ ОЧИСТКИ ТРИФТОРИДА АЗОТА ОТ ТЕТРАФТОРМЕТАНА
Изобретение относится к разделению смесей фторсодержащих продуктов, в частности смесей, содержащих тетрафторметан и трифторид азота. Очистку трифторида азота от тетрафторметана осуществляют путем абсорбции трифторида азота с использованием в качестве абсорбента растворителя, инертного по отношению к трифториду азота и растворяющего трифторид азота в большей степени, чем тетрафторметан, при поддержании расхода абсорбента и давления процесса, обеспечивающих поглощение трифторида азота, с последующей десорбцией трифторида азота. В качестве инертного растворителя используют галоидированные соединения, пергалоидированные соединения, при этом растворитель подают в абсорбционный аппарат под давлением сверху, а стадии абсорбции и последующей десорбции повторяют. Часть очищенного трифторида азота, выделенного на стадии десорбции, возвращают на стадию абсорбции для разбавления исходного продукта, загрязненного тетрафторметаном. В результате использования способа удается получить трифторид азота высокой степени чистоты при минимальных потерях целевого продукта. 5 з.п. ф-лы, 7 табл., 3 ил.
|
2248321 патент выдан: опубликован: 20.03.2005 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА И ПРОДУКТЫ НА ОСНОВЕ ТРИФТОРИДА АЗОТА Изобретение относится к способу получения трифторида азота (NF3), заключающемуся в прямом взаимодействии газообразного фтора (F2) с газообразным аммиаком (NH3) в газовой фазе. Газообразный F2 вводят во взаимодействие с газообразным NH3 в газовой фазе при 80oС или при более низкой температуре в присутствии разбавляющего газа при соотношении молярных концентраций газообразного фтора и газообразного аммиака от 1:1 до 1:2, при этом концентрации фтора составляют 3 мол.% или менее, а концентрация аммиака составляет 6 мол. % или менее. Трифторид азота, полученный заявленным способом, используют в качестве газа для травления или для очистки при изготовлении полупроводниковых приборов. Способ позволяет повысить выход трифторида азота в расчете на F2 при высокой степени безопасности и рентабельности. 4 с. и 6 з.п. ф-лы, 6 табл. | 2221743 патент выдан: опубликован: 20.01.2004 |
|
СПОСОБ ОЧИСТКИ ГАЗООБРАЗНОГО ТРИФТОРИДА АЗОТА Изобретение относится к способу очистки газообразного трифторида азота от примеси CF4. Способ включает избирательную адсорбцию трифторида азота дегидратированным эрионитом при температуре от - 30 до 30oС, вытеснение тетрафторида углерода инертным газом, десорбцию и конденсацию очищенного трифторида азота. В результате очистки получают NF3 с чистотой 99,99% и содержанием СF4 не более 10 ррm. Разработанный способ сорбционный очистки NF3 позволяет проводить процесс при температуре окружающей среды и с большим ресурсом работы сорбента. Способ технологичен, экономичен и легко реализуется в промышленных условиях. 1 з.п. ф-лы, 1 табл. | 2206499 патент выдан: опубликован: 20.06.2003 |
|
СПОСОБ ОЧИСТКИ ПЕРФТОРИРОВАННЫХ ПРОДУКТОВ Изобретение относится к выделению и очистке перфторированных продуктов из исходной смеси, содержащей множество соединений за счет использования процессов азеотропной и экстракционной перегонки с получением продуктов высокой чистоты. Способ отделения тетрафторметана (PFC-14) от трифторида азота (NF3) предусматривает дистилляцию смеси с использованием захватывающих агентов с извлечением тетрафторметана (PFC-14) в виде головного погона дистилляционной колонны, захватывающего агента и трифторида азота (NF3) в виде недогона дистилляционной колонны, при этом захватывающий агент выбран из группы, состоящей из углеводородов, фторуглеводородов, хлорфторуглеводородов, хлоруглеводородов, хлористого водорода и оксидов. Процесс является эффективным для получения любого из этих двух соединений с высокой степенью чистоты и с высокой степенью выделения. 4 с. и 20 з.п. ф-лы, 7 ил., 9 табл. | 2206498 патент выдан: опубликован: 20.06.2003 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА Изобретение относится к новому способу получения трифторида азота, который находит широкое применение в технологиях полупроводниковых материалов, высокоэнергетических лазеров и химического газофазного осаждения. Трифторид азота получают фторированием мочевины или продуктов ее разложения элементным фтором в безводном фтористом водороде при температуре от -20 до 0oС и мольном отношении фтора к исходным соединениям не более 3. Концентрация исходных соединений в безводном фтористом водороде составляет 20-50 мас.%. Разработанный способ взрывобезопасен и позволяет получать продукт с максимальным содержанием трифторида азота и минимальной концентрацией примесей с выходом до 90%. 4 з.п. ф-лы, 1 табл. | 2184698 патент выдан: опубликован: 10.07.2002 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА
Изобретение относится к области неорганической химии, а именно к способам получения трифторида азота. Трифторид азота применяется в химической промышленности как фторирующий агент и как окислитель для горючего. В электронной промышленности он используется в процессах сухого травления как газ, не оставляющий осадка; известно его применение и в аппаратах химического парофазного осаждения. Сущность способа: осуществляют фторирование находящейся в твердой фазе соли полифторида аммония формулы NH4F![]() ![]() |
2182556 патент выдан: опубликован: 20.05.2002 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИФТОРИДА АЗОТА
Изобретение относится к способам получения трифторида азота. Трифторид азота применяется в химической промышленности как стабильный фторирующий агент и как фторсодержащее сырье. В ракетной технике он используется как окислитель для высококалорийных топлив, в электронной промышленности - для чистки кристаллов полупроводников и кремниевых пластин. Он применяется и в лазерах, и в качестве чистящего газа в аппаратах химического парофазного осаждения (СVD). Способ получения трифторида азота заключается в том, что проводят взаимодействие реагентов, находящихся в гетерогенных фазах газ - твердое вещество. В качестве твердой фазы используют фторид аммония формулы NH4F![]() |
2182555 патент выдан: опубликован: 20.05.2002 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФТОРИДОВ АЗОТА Изобретение относится к неорганической химии, к области получения фторидов азота, а именно к получению трифторида азота NF3, тетрафторгидразина N2F4, дифтордиазина N2F2, дифтордиамина NF2H. Сущность способа состоит в том, что проводят фторирование расплава кислых фторидов аммония общей формулы NH4H(x-1)Fx, где х = 2,5-3 газообразным фтором при атмосферном давлении, температуре 80-153oС и перемешивании, обеспечивающем циркуляцию реагентов, при удельном расходе фтора 0,1-0,5 см3/мин на единицу объема расплава. При этом в зависимости от температуры в реакторе получают смесь фторидов азота с повышенным содержанием одного из указанных выше соединений. Если необходимо, для увеличения выхода трифторида азота проводят дополнительное газофазное фторирование в отдельном реакторе. Для этого в реактор газофазного фторирования подают продукты взаимодействия из первого реактора или их часть и дополнительный фтор и проводят взаимодействие при 200 - 400oС. Способ позволяет варьировать состав получаемых фторидов азота с преимущественным выходом одного из соединений. 6 з. п. ф-лы, 1 ил. , 2 табл. | 2178384 патент выдан: опубликован: 20.01.2002 |
|