Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП): ..осаждение соединений, смесей или твердых растворов, например боридов, карбидов, нитридов – C23C 16/30

Изобретение относится к элементу для резания, покрытому твердым материалом и имеющему несколько слоев, нанесенных методом химического парофазного осаждения. Внешний слой содержит Ti _1-xAl_xN, Ti_1-xAl_xC и/или Ti_1-xAl_xCN, где 0,65 x 0,9, предпочтительно 0,7 x 0,9. Упомянутый слой имеет сжимающие напряжения в диапазоне от 100 до 1100 МПа, предпочтительно от 400 до 800 МПа. Под внешним слоем расположен слой TiCN или Аl₂О₃. Элемент для резания имеет улучшенное тепловое сопротивление и прочность при циклических нагрузках. 6 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к элементу для резания, имеющему несколько слоев, нанесенных методом химического парофазного осаждения. На упомянутый элемент нанесен слой Ti_1-xAl_x N и/или Ti_1-xAl_xC, и/или Ti_1-x Al_xCN, где x находится в диапазоне от 0,65 до 0,95, на который нанесен слой Al₂O₃ в виде внешнего слоя. Получается элемент, обладающий покрытием с лучшим термоизоляционным эффектом в отношении теплопереноса. 7 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к области упрочнения режущего твердосплавного инструмента и может быть использовано в машиностроении, в частности в технологии металлообработки. Первоначально поверхность упомянутого инструмента подвергают модифицированию ионами хрома и методом ионно-плазменного вакуумно-дугового осаждения наносят барьерный слой из хрома, затем методом химического осаждения из парогазовой фазы наносят слои, состоящие из карбида титана, карбонитрида титана и нитрида титана, проводят модифицирующую обработку ионами титана и методом ионно-плазменного вакуумно-дугового осаждения наносят финишный слой из нитрида титана при подаче на осаждаемую поверхность отрицательного потенциала 150-160 В с формированием в нем наноструктуры за счет изменения кристаллографических направлений роста зерен нитрида титана. Повышается надежность и стойкость режущего инструмента при проведении операций непрерывного и прерывистого резания. 2 ил., 3 табл., 4 пр.

Изобретение относится к области полупроводниковой нанотехнологии, к области тонкопленочного материаловедения, а именно к устройствам для нанесения тонких пленок и диэлектриков. Устройство содержит камеру с рабочей частью внутреннего пространства в форме цилиндра, внутри которой расположены основание, подложка для нанесения пленок, система напуска реагентов и буферных газов, нагревательные элементы и двигатель с валом. При этом основание и подложка выполнены с плоскими и гладкими рабочими поверхностями и установлены с возможностью образования регулируемого зазора между ними за счет изменения в нем давления буферного газа, противодействующего весу груза, размещенного на подложке для регулирования величины зазора между подложкой и основанием. Вал двигателя закреплен нежестко и на нем установлена подвижная муфта для передачи вращения подложке относительно неподвижного основания. В рабочей поверхности основания выполнены углубления, длина которых не превышает радиуса рабочей поверхности основания и в которых расположены отверстия для напуска реагентов в зазор. Технический результат состоит в существенном увеличении скорости наращивания тонких пленок. 4 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области металлургии, а именно к электротехническим текстурованным листовым сталям. Предложена электротехническая текстурованная листовая сталь с электроизоляционным покрытием из аморфного углерод-водородного материала с сетчатой структурой и способ ее получения. Сталь с электроизоляционным покрытием имеет в качестве материала покрытия аморфный углерод-водородный материал с сетчатой структурой, при этом создаваемое электроизоляционным покрытием на листовой подложке растягивающее напряжение составляет не менее 8 МПа. Способ включает непрерывное нанесение электроизоляционного покрытия на ленточную подложку. Технический результат - получение электротехнической текстурованной стали с высокой магнитной проницаемостью, которая была бы пригодна для применения в качестве материала сердечника в особо малошумных трансформаторах с малыми потерями. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 1 табл., 2 ил.