Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП): ..способами в псевдоожиженном слое – C23C 16/442

Изобретение предназначено для химической промышленности. В реакционный сосуд 10а, окруженный средством обогрева 30а, подают предшественник нитридного покрытия при помощи инертного газа - азота. В качестве предшественника используют металлоорганические нитриды, содержащие алюминий, галлий или олово. Предшественник подают по трубопроводу 32, открытому по всей длине. Сореагент, например безводный аммиак, подают из нижней части сосуда 10а через пористый стеклянный диск 12а. Сосуд 10а заполнен электролюминесцентным фосфором (ZuS·Cu). При нагреве сосуда 10а до 150-225°С происходит осаждение нитридного покрытия на частицы фосфора, находящиеся в псевдоожиженном состоянии. Фосфор, имеющий неоксидное покрытие, имеет высокую яркость через 100 ч использования при высокой влажности. Изобретение обеспечивает получение таких фосфоров в коммерческом количестве. 3 н.п. ф-лы, 2 ил.